电阻真空变送器检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种电阻真空变送器检测装置，包括依次连接的氮气源、校准室、被校电阻真空变送器；所述校准室分别与监测电阻真空计、标准薄膜真空计组、分子泵、机械泵连接；所述被校电阻真空变送器分别与电源、电压表连接。本发明专利技术对电阻真空变送器进行校准，并通过电阻真空变送器的输出电压与对应的真空度之间的关系，对不确定度进行了评定。结果表明，该装置可以很好地完成对电阻真空变送器的校准。很好地完成对电阻真空变送器的校准。很好地完成对电阻真空变送器的校准。

【技术实现步骤摘要】
电阻真空变送器检测装置及方法


[0001]本专利技术涉及一种电阻真空变送器检测装置及方法，属于电阻真空变送器校准


技术介绍

[0002]真空变送器是指将压力变量转换为可传送的标准化输出信号的仪表。电阻真空变送器原理基于待测气体的压力与气体电阻产生的电流呈正比关系，输出信号一般为电压信号，主要应用于高真空和超高真空测量。变送器可通过与显示器连接来显示真空压力，也可通过输出电压信号至PLC系统实现自动化控制，克服了传统的真空规管必须和显示器连接才能读取真空压力的缺陷，有效地降低了安装，设置和集成的复杂性。广泛用于半导体、电子元件、真空炉、冷冻干燥、真空冶炼、真空镀膜等各种制造设备的高真空系统的压力测量和控制。
[0003]目前电阻真空变送器都是和真空仪表配套进行校准，单独的电阻真空变送器还无法进行量值溯源，而很多真空系统的仪表都是无法拆卸的，导致电阻真空变送器的校准工作很不方便。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是提供一种电阻真空变送器检测装置及方法，无需使用真空仪表，直接获取电阻真空变送器在对应环境参数本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电阻真空变送器检测装置，其特征在于：包括依次连接的氮气源(1)、校准室(3)、被校电阻真空变送器(12)；所述校准室(3)分别与监测电阻真空计(11)、标准薄膜真空计组(10)、分子泵(5)、机械泵(9)连接；所述被校电阻真空变送器(12)分别与电源(13)、电压表连接。2.如权利要求1所述的电阻真空变送器检测装置，其特征在于：所述电压表为数字多用表(14)。3.如权利要求1所述的电阻真空变送器检测装置，其特征在于：所述分子泵(5)、机械泵(9)之间处连接一储气罐(6)。4.如权利要求3所述的电阻真空变送器检测装置，其特征在于：所述氮气源(1)与校准室(3)之间连有针阀(2)；所述校准室(3)与分子泵(5)之间连有第一手动阀门(4)；所述分子泵(5)与机械泵(9)之间连有第二手动阀门(7)；所述校准室(3)与机械泵(9)之间连有第三手动阀门(8)；所述校准室(3)与被校电阻真空变送器(12)之间连有第四手动阀门(15)。5.一种电阻真空变送器检测方法，其特征在于：采用权利要求4所述的电阻真空变送器检测装置，分为三步：第一步：通过控制机械泵、分子泵、氮气源、针阀、第一至第四手动阀门、向被校变送器提供设定压力的真空度；第二步：测量变送器在此真空度下的输出电压；第三步：进行检测值的不确定度分析。6.如权利要求5所述的电阻真空变送器检测方法，其特征在于：所述第一步包括：S1、打开被校真空变送器(12)与校准室(3)间的第四手动阀门(15)，开启机械泵(9)和机械泵与校准室之间的第三手动阀门(8)，对校准室进行粗抽；S2、待校准室压力小于等于10Pa，关闭第三手动阀门(8)，打开第二手动阀门(7)，启动分子泵(5)，待分子泵满转时，打开第一手动阀门(4)；S3、待监测电阻真空计(11)示值小于等于1
×
10
‑2Pa时，对被校电阻真空变送器(12)进行零点调整；S4、关闭第一手动阀门(4)和第四手动阀门(15)，拆下被校真空变送器(12)，对被校真空变送器(12)进行满度调整，然后再将被校真空变送器(12)接入校准室，重复步骤S1和S2；所述第二步包括：S5、待监测电阻真空计(11)示值小于等于1
×
10
‑2Pa时，关闭第一手动阀门(4)，打开氮气源(1)，调节针阀(2)，使校准室(3)压力由低到高逐个建立所需要的校准点，分别记录薄膜真空计(10)示值和数字多用表(14)示值；S6、校准完毕后，关闭针阀(2)，按顺序关闭第一手动阀门(4)，分子泵(5)，第二手动阀门(7)，机械泵(9)，关闭电源。7.如权利要求6所述的电阻真空变送器检测方法，其特征在于：S5...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘贝贝，张忠立，刘燚，周宇仁，金愿，
申请(专利权)人：上海市计量测试技术研究院，
类型：发明
国别省市：