籽晶夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种籽晶夹具，籽晶夹具用于夹持籽晶，籽晶上下延伸，籽晶夹具包括：可拆卸连接的固定件和可拆件，固定件用于固定籽晶的上端，可拆件环绕固定件形成为环形，固定件朝向籽晶下端的一侧端面为第一端面，可拆件朝向籽晶下端的一侧端面为第二端面，第一端面与第二端面配合限定出向上凹入的凹面，凹面用于将位于籽晶下方的辐射热汇聚至籽晶的下端。根据本实用新型专利技术的籽晶夹具，通过固定件与可拆件配合限定出凹面，凹面由固定件的第一端面与可拆件的第二端面配合限定，凹面使得熔汤的辐射热尽可能地聚集在籽晶与熔汤接触的部分，减少籽晶与熔汤之间的温差，减少因热冲击而产生的大量位错，进一步缩小颈部的长度。进一步缩小颈部的长度。进一步缩小颈部的长度。

【技术实现步骤摘要】
籽晶夹具


[0001]本技术涉及半导体
，尤其是涉及一种籽晶夹具。

技术介绍

[0002]相关技术中，单晶硅通常通过CZ工艺制备，在制备过程中，将多晶硅料置于坩埚中熔融成液态硅液形成熔汤，然后降低具有所需单晶原子结构的籽晶与熔汤接触。当从熔汤中缓慢地提取籽晶时，从具有与籽晶相同的原子结构的熔汤中拉出单晶棒。
[0003]CZ法拉制过程中，引晶时因为籽晶与熔汤的温差比较大，使得籽晶与熔汤接触时产生热冲击，在籽晶中产生位错缺陷，如果不抑制的话，该位错缺陷可在晶体中不断传播。消除位错的最常用方法为Dash方法。由于颈部的长度和直径都较小，位错终止于颈部的外表面，使得晶体的主体无位错。但是往往是颈缩的长度较长才可消除该位错。为了及时地消除位错，且同时减少颈部的长度，需要目的降低籽晶与熔汤的温度差。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术在于提出一种籽晶夹具，所述籽晶夹具使得熔汤的辐射热尽可能地聚集在籽晶与熔汤接触的部分。
[0005]根据本技术的籽晶夹具，所述籽晶夹具用于夹持籽晶，所述籽晶上下延伸，所述籽晶夹具包括：可拆卸连接的固定件和可拆件，所述固定件用于固定所述籽晶的上端，所述可拆件环绕所述固定件形成为环形，所述固定件朝向所述籽晶下端的一侧端面为第一端面，所述可拆件朝向所述籽晶下端的一侧端面为第二端面，所述第一端面与所述第二端面配合限定出向上凹入的凹面，所述凹面用于将位于所述籽晶下方的辐射热汇聚至所述籽晶的下端。
[0006]根据本技术的籽晶夹具，通过固定件与可拆件配合限定出凹面，凹面由固定件的第一端面与可拆件的第二端面配合限定，凹面使得熔汤的辐射热尽可能地聚集在籽晶与熔汤接触的部分，减少籽晶与熔汤之间的温差，减少因热冲击而产生的大量位错，进一步缩小颈部的长度。
[0007]在一些实施例中，在水平投影平面内，所述籽晶位于所述凹面的中心位置。
[0008]在一些实施例中，所述凹面为以所述籽晶的中心轴线为轴线和以向上凹入的弧线为目线的回转面，所述弧线的任一点的曲率中心均位于所述籽晶上。
[0009]在一些实施例中，所述凹面为球面，所述球面的球心位于所述籽晶的下端。
[0010]在一些实施例中，所述固定件上形成有第一连接部，所述可拆件上形成有与所述第一连接部可拆卸连接的第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部中的一个形成为滑槽，所述第一连接部和所述第二连接部中的另一个形成为滑块，所述滑块配合于所述滑槽内。
[0011]在一些实施例中，所述滑槽沿所述籽晶的轴线方向延伸，所述滑槽的朝向所述籽
晶上端的一端敞开且朝向所述籽晶下端的另一端封闭，所述滑块与所述滑槽的封闭端端面抵接。
[0012]在一些实施例中，所述第一端面在所述籽晶径向方向上的宽度为a，所述第二端面在所述籽晶径向方向上的宽度为b，所述第一端面和所述第二端面满足：b≥0.3a。
[0013]在一些实施例中，所述可拆件包括多个，多个所述可拆件相互可替换地与所述固定件可拆卸地连接，所述第二壁面为圆弧面，且多个所述可拆件的所述第二壁面的曲率半径不同。
[0014]在一些实施例中，所述籽晶下端面的中心至所述第二端面的外周沿间的连线与所述籽晶中心轴线的夹角为θ，所述第二端面的曲率半径为R，所述曲率半径R与所述夹角θ负相关。
[0015]在一些实施例中，所述第二端面的曲率半径R与所述夹角θ满足：其中，θ在15
°
～45
°
的范围内。
[0016]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0017]图1是根据本技术实施例的籽晶夹具的示意图；
[0018]图2是根据本技术实施例的籽晶夹具的示意图，其中，可拆件的第二端面的曲率半径小于图1中所示的可拆件的第二端面的曲率半径。
[0019]附图标记：
[0020]100、籽晶夹具；
[0021]1、固定件；11、第一连接部；12、第一端面；
[0022]2、可拆件；21、第二连接部；22、第二端面；
[0023]3、法兰；4、提拉机构；5、凹面；
[0024]200、籽晶；
[0025]300、坩埚；400、熔汤。
具体实施方式
[0026]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0027]下面参考图1和图2描述根据本技术实施例的籽晶夹具100。
[0028]如图1和图2所示，根据本技术实施例的籽晶夹具100包括：固定件1和可拆件2。
[0029]具体地，籽晶夹具100用于夹持籽晶200，籽晶200上下延伸，籽晶夹具100包括：可拆卸连接的固定件1和可拆件2，固定件1用于固定籽晶200的上端，可拆件2环绕固定件1形成为环形，固定件1朝向籽晶200下端的一侧端面为第一端面12，可拆件2朝向籽晶200下端
的一侧端面为第二端面22，第一端面12与第二端面22配合限定出向上凹入的凹面5，凹面5用于将位于籽晶200下方的辐射热汇聚至籽晶200的下端。
[0030]也就是说，籽晶200沿上下方向上延伸，籽晶夹具100包括固定件1和可拆件2，可拆件2与固定件1可拆卸连接，固定件1固定籽晶200的上端，可拆件2形成为环形，且可拆件2围绕固定件1设置，固定件1朝向籽晶200下端(如图1所示籽晶200的下端)的一侧端面为第一端面12，可拆件2朝向籽晶200下端(如图1所示籽晶200的下端)的一侧端面为第二端面22，固定件1的第一端面12与可拆件2的第二端面22配合限定出向上凹入的凹面5，凹面5用于将位于籽晶200下方的热源的辐射热汇聚至籽晶200的下端。由此，使得熔汤的辐射热能够尽可能地聚集在籽晶200与熔汤接触的位置，使得籽晶200与熔汤的温差减小。
[0031]参照图1和图2所示，固定件1与籽晶200的上端相连，可拆件2围绕固定件1设置，可拆件2形成为环形与固定件1可拆卸连接，在上下方向上，固定件1的第一端面12与可拆件2的第二端面22配合限定出凹面5朝向籽晶200的上端凹入。
[0032]根据本技术实施例的籽晶夹具100，通过固定件1与可拆件2配合限定出凹面5，凹面5由固定件1的第一端面12与可拆件2的第二端面22配合限定，凹面5使得熔汤的辐射热尽可能地聚集在籽晶200与熔汤接触的部分，减少籽晶200与熔汤之间的温差，也减少因热冲击而产生的大量位错，进一步缩小颈部的长度。
[0033]在本技术的一些实施例中，参照图1所示，为了保证可拆件2能够尽可能地将辐射聚集在籽晶200与熔汤400接触的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种籽晶夹具，所述籽晶夹具(100)用于夹持籽晶(200)，所述籽晶(200)上下延伸，其特征在于，所述籽晶夹具(100)包括：可拆卸连接的固定件(1)和可拆件(2)，所述固定件(1)用于固定所述籽晶(200)的上端，所述可拆件(2)环绕所述固定件(1)形成为环形，所述固定件(1)朝向所述籽晶(200)下端的一侧端面为第一端面(12)，所述可拆件(2)朝向所述籽晶(200)下端的一侧端面为第二端面(22)，所述第一端面(12)与所述第二端面(22)配合限定出向上凹入的凹面(5)，所述凹面(5)用于将位于所述籽晶(200)下方的辐射热汇聚至所述籽晶(200)的下端。2.根据权利要求1所述的籽晶夹具，其特征在于，在水平投影平面内，所述籽晶(200)位于所述凹面(5)的中心位置。3.根据权利要求2所述的籽晶夹具，其特征在于，所述凹面(5)为以所述籽晶(200)的中心轴线为轴线和以向上凹入的弧线为目线的回转面，所述弧线的任一点的曲率中心均位于所述籽晶(200)上。4.根据权利要求2所述的籽晶夹具，其特征在于，所述凹面(5)为球面，所述球面的球心位于所述籽晶(200)的下端。5.根据权利要求1所述的籽晶夹具，其特征在于，所述固定件(1)上形成有第一连接部(11)，所述可拆件(2)上形成有与所述第一连接部(11)可拆卸连接的第二连接部(21)，所述第一连接部(11)和所述第二连接部(21)中的一个形成为滑槽，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈俊宏，高海棠，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：