真空蒸镀装置及显示面板的制备方法制造方法及图纸

本申请实施例提供一种真空蒸镀装置及显示面板的制备方法；该真空蒸镀装置包括冷却板、多个第一磁性构件以及多个测距传感器，冷却板用于对目标基板进行冷却，第一磁性构件用于磁吸目标基板，其中，测距传感器与第一磁性构件电性连接，测距传感器用于获取目标基板与冷却板的间距，使每一个测距传感器与目标基板之间的距离相等；上述真空蒸镀装置根据不同测距传感器与目标基板的距离差异调整多个第一磁性构件产生的磁场强度，以使每一个测距传感器与目标基板之间的距离相等，从而避免目标基板与掩膜板在贴合过程中存在相对位移，进而防止目标基板上残留的蒸镀材料转移到掩膜板上，有效提高了显示面板的产品良率。有效提高了显示面板的产品良率。有效提高了显示面板的产品良率。

Preparation method of vacuum evaporation device and display panel

【技术实现步骤摘要】
真空蒸镀装置及显示面板的制备方法


[0001]本申请涉及显示领域，具体涉及一种真空蒸镀装置及显示面板的制备方法。

技术介绍

[0002]有机发光二极管(Organic Light
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Emitting Diode，简称为OLED)显示器以其主动发光、广视角、响应速度快及色彩绚丽等出众的显示特性，目前成为显示器行业中的重点开发领域。在OLED显示器制造中，蒸镀工艺为必不可少的工艺过程。
[0003]对于全蒸镀的发光器件，蒸镀用于定义图形必须要使用金属掩模版，目标基板设计隔离柱作为支撑，但由于蒸镀层数较多，有机传输层会使用共通掩膜板(Common Mask)进行整面蒸镀，发光材料层通常使用精细掩膜板(Fine Mask)进行蒸镀。然而，当经过共通掩膜板蒸镀时，目标基板上的隔离柱会积累蒸镀材料，再进行精细掩膜板蒸镀时，由于玻璃目标基板的自身重力或者受热膨胀等原因，玻璃目标基板在蒸镀设备内会产生下垂问题，致使目标基板变形(Glassbending)，从而使目标基板与精细掩膜板产生对位误差，使得目标基板与精细掩膜板摩擦接触，进而导致隔离柱上的残留蒸镀材料转移到精细掩膜板上形成瑕点问题，由于精细掩膜板的精度要求很高，所以会使得发光器件产生混色不良现象。
[0004]因此，亟需一种真空蒸镀装置及显示面板的制备方法以解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]本申请实施例提供一种真空蒸镀装置及显示面板的制备方法，可以解决当前的蒸镀工艺因掩膜板残留蒸镀材料导致制备的显示面板混色不良的技术问题。
[0006]本申请实施例提供一种真空蒸镀装置，包括冷却板、多个第一磁性构件以及多个测距传感器，所述冷却板设置在目标基板上，所述第一磁性构件设置于所述冷却板远离所述目标基板的一侧，所述测距传感器设置于所述冷却板内；
[0007]其中，所述冷却板用于对所述目标基板冷却，所述第一磁性构件用于磁吸所述目标基板，所述测距传感器与所述第一磁性构件电性连接，所述测距传感器用于获取所述目标基板与所述冷却板的间距。
[0008]可选的，在本申请的一些实施例中，所述冷却板上设置有多个过孔，所述过孔沿所述冷却板的对角线方向设置；
[0009]其中，所述测距传感器设置于所述过孔内。
[0010]可选的，在本申请的一些实施例中，所述真空蒸镀装置还包括多个第二磁性构件，所述第二磁性构件设置于所述目标基板靠近所述冷却板的一侧，且与所述目标基板固定连接；
[0011]其中，所述第二磁性构件对应于所述目标基板的非显示区设置。
[0012]可选的，在本申请的一些实施例中，所述第二磁性构件包括沿第一方向延伸且沿第二方向排列的多个第一磁性单元、以及沿所述第二方向延伸且沿所述第一方向排列的多个第二磁性单元，所述第一方向与所述第二方向呈夹角设置，相邻两个所述第一磁性单元
与相邻两个所述第二磁性单元构成一交叠区域；
[0013]其中，在所述目标基板的俯视图方向上，所述第一磁性构件在所述目标基板上的正投影位于所述交叠区域内。
[0014]可选的，在本申请的一些实施例中，所述第一磁性构件包括电磁材料，所述第二磁性构件包括永磁性材料。
[0015]可选的，在本申请的一些实施例中，所述真空蒸镀装置还包括磁板，所述磁板设置于所述冷却板的上方；
[0016]其中，所述磁板为永磁板或者电磁板，所述磁板的磁场强度大于多个所述第一磁性构件通电后的磁场强度。
[0017]可选的，在本申请的一些实施例中，所述磁板与所述冷却板的间距范围在5cm至10cm之间。
[0018]相应地，本申请实施例还提供一种显示面板的制备方法，所述方法包括：
[0019]提供如上任一项所述的真空蒸镀装置；
[0020]将目标基板与所述真空蒸镀装置中的所述第二磁性构件贴合，以及与所述冷却板初步对位；
[0021]通过所述第一磁性构件以及所述测距传感器调节所述目标基板与所述冷却板的间距，以使每一个所述测距传感器与所述目标基板之间的距离相等；
[0022]将掩膜板与所述目标基板远离所述冷却板的一侧贴合，以及对所述目标基板进行蒸镀处理，形成有机发光层。
[0023]可选的，在本申请的一些实施例中，所述通过所述第一磁性构件以及所述测距传感器调节所述目标基板与所述冷却板的间距，以使每一个所述测距传感器与所述目标基板之间的距离相等的步骤还包括：
[0024]获取所述目标基板的弯曲应力数据；
[0025]对所述冷却板上的多个所述第一磁性构件进行通电处理，使所述冷却板与所述目标基板贴合；
[0026]获取每一个所述测距传感器与所述目标基板之间的距离差异；
[0027]调节所述第一磁性构件的磁场强度，使每一个所述测距传感器与所述目标基板之间的距离相等。
[0028]可选的，在本申请的一些实施例中，所述将掩膜板与所述目标基板远离所述冷却板的一侧贴合，以及对所述目标基板进行蒸镀处理，形成有机发光层的步骤还包括：
[0029]提供所述磁板，所述磁板设置于所述冷却板的上方；
[0030]对所述磁板进行通电处理，使所述磁板的磁场强度大于所述冷却板的磁场强度；
[0031]通过所述磁板与所述目标基板之间产生的磁力，将掩膜板与所述目标基板远离所述冷却板的一侧贴合。
[0032]本申请实施例提供一种真空蒸镀装置及显示面板的制备方法；该真空蒸镀装置包括冷却板、多个第一磁性构件以及多个测距传感器，所述冷却板用于对所述目标基板进行冷却，所述第一磁性构件用于磁吸所述目标基板，其中，所述测距传感器与所述第一磁性构件电性连接，所述测距传感器用于获取所述目标基板与所述冷却板的间距，使每一个所述测距传感器与所述目标基板之间的距离相等；上述真空蒸镀装置通过在所述冷却板上设置
多个所述第一磁性构件以及多个所述测距传感器，所述第一磁性构件用于磁吸所述目标基板，所述测距传感器用于获取所述目标基板与所述冷却板的间距，所述真空干燥装置根据不同所述测距传感器与所述目标基板的距离差异调整多个所述第一磁性构件产生的磁场强度，以使每一个所述测距传感器与所述目标基板之间的距离相等，从而避免所述目标基板与掩膜板在贴合过程中存在相对位移，进而防止所述目标基板上残留的蒸镀材料转移到掩膜板上，有效提高了所述显示面板的产品良率。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0034]图1为本申请实施例提供的真空蒸镀装置的结构示意图；
[0035]图2为本申请实施例提供的真空蒸镀装置中第二磁性构件的平面结构示意图；
[0036]图3为本申请实施例提供的显示面板的制备方法的流程图；
[0037]图4A
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...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括：冷却板，所述冷却板设置在目标基板上，以对所述目标基板冷却；多个第一磁性构件，设置于所述冷却板远离所述目标基板的一侧，所述第一磁性构件用于磁吸所述目标基板；以及多个测距传感器，设置于所述冷却板内，所述测距传感器与所述第一磁性构件电性连接，所述测距传感器用于获取所述目标基板与所述冷却板的间距。2.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述冷却板上设置有多个过孔，所述过孔沿所述冷却板的对角线方向设置；其中，所述测距传感器设置于所述过孔内。3.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述真空蒸镀装置还包括多个第二磁性构件，所述第二磁性构件设置于所述目标基板靠近所述冷却板的一侧，且与所述目标基板固定连接；其中，所述第二磁性构件对应于所述目标基板的非显示区设置。4.根据权利要求3所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述第二磁性构件包括沿第一方向延伸且沿第二方向排列的多个第一磁性单元、以及沿所述第二方向延伸且沿所述第一方向排列的多个第二磁性单元，所述第一方向与所述第二方向呈夹角设置，相邻两个所述第一磁性单元与相邻两个所述第二磁性单元构成一交叠区域；其中，在所述目标基板的俯视图方向上，所述第一磁性构件在所述目标基板上的正投影位于所述交叠区域内。5.根据权利要求3所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述第一磁性构件包括电磁材料，所述第二磁性构件包括永磁性材料。6.根据权利要求5所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述真空蒸镀装置还包括磁板，所述磁板设置于所述冷却板的上方；其中，所述磁板为永磁板或者电磁板，所述磁板的磁场强度大于多个所述第一磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：张校士，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：