具有快拆式支撑机构的光掩膜盒制造技术

本发明专利技术提供一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，包含一下盖及一支撑机构。下盖具有一承载面及分布于该承载面上的多个固定座。支撑机构具有朝上方延伸并用于支撑光掩膜或光掩膜载具的支撑部及相对于该支撑部的固定部，其中固定部与对应的固定座可拆卸地连接，使支撑机构可选择性地安装于下盖。机构可选择性地安装于下盖。机构可选择性地安装于下盖。

Photomask box with quick release support mechanism

【技术实现步骤摘要】
具有快拆式支撑机构的光掩膜盒


[0001]本专利技术是有关于一种光掩膜盒，尤其是具有快拆式支撑机构的光掩膜盒。

技术介绍

[0002]在半导体产业中，光掩膜于制程中移动的时候，置于光掩膜传送盒内进行传送。当光掩膜置于光掩膜盒内时，用于支撑光掩膜的支撑机构的抵持光掩膜的斜面、球体或支柱由于碰撞而造成抵持面磨损，造成支撑机构的磨损产生微粒，且当磨损严重时仅能更换光掩膜盒，造成资源浪费的情况产生。
[0003]因此，需要一种光掩膜盒，来解决上述支撑机构的磨损产生微粒以及资源浪费和成本的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，以解决抵持光掩膜的抵持面磨损而产生微粒和造成资源浪费的问题。
[0005]本专利技术提供一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒包含下盖及支撑机构。其中，下盖具有一承载面及自该承载面上凸出的多个固定座；支撑机构具有朝上方延伸并用于支撑光掩膜的支撑部及相对于该支撑部的固定部，其中固定部与对应的固定座能拆卸地连接，使支撑机构能选择性地安装于下盖。
[0006]在一实施例中，固定部具有至少一弹性接脚，且该弹性接脚的末端具有至少一卡持部，固定座具有至少一槽，该槽配置成接收并稳固容置弹性接脚的卡持部。
[0007]在一实施例中，固定部配置成与固定座能锁固地连接，其中固定座为自该承载面朝上延伸的一固定柱(螺纹柱)。
[0008]在一实施例中，固定部配置成与固定座公母连接防止支撑机构相对于固定座旋转，其中固定部为一母连接部，固定座为一公连接部。
[0009]在一实施例中，固定部有一螺旋纹路，固定柱上有另一螺旋纹路。
[0010]在一实施例中，支撑部包含至少一第一支撑柱用于接触光掩膜的底面以及至少一第二支撑柱用于限制光掩膜的侧部位移。
[0011]本专利技术提供另一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒包含上盖、下盖、至少一第一支撑机构及至少一第二支撑机构。其中，上盖具有一抵接面及分布于该抵接面上的多个上盖固定座；下盖具有一承载面及分布于该承载面上的多个下盖固定座；第一支撑机构具有朝上方延伸并用于支撑一光掩膜的底部或一光掩膜载具的底部的一支撑部及相对于该支撑部的一固定部，其中该固定部与对应的下盖固定座能拆卸地连接，使该支撑机构能选择性地安装于该下盖；第二支撑机构具有用于抵接一光掩膜的顶部或一光掩膜载具的顶部的一抵接部及衔接于该抵接部的一连接部，其中该连接部与对应的上盖固定座能拆卸地连接，使该第二支撑机构能选择性地安装于该上盖。
[0012]在一实施例中，每一上盖固定座具有多个翼状突出，且与该对应的连接部耦合。
[0013]在一实施例中，第二支撑机构的连接部具有一开口，该开口具有允许上盖固定座进入或离开的一第一通道及允许该上盖固定座相对该开口旋转的一第二通道。
[0014]在一实施例中，开口具有至少一第一凸肋，该上盖固定座具有至少一第二凸肋，该开口的形状配置成允许沿着一第一旋转方向的该第二凸肋滑过该第一凸肋但禁止该第二凸肋沿着一第二旋转方向转动。
[0015]本专利技术提供另一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒包含上盖、下盖及支撑机构。其中，上盖有一抵接面及分布于该抵接面上的多个上盖固定座；下盖具有一承载面及分布于该承载面上的多个下盖固定座；至少一支撑机构，用于支撑一光掩膜的顶部或底部、或一光掩膜载具的顶部或底部，该支撑机构可以与该上盖固定座或该下盖固定座能旋转地拆卸连接(rotatably detachably connected)。
[0016]在一实施例中，每一个上盖固定座具有多个翼状突出。
[0017]在一实施例中，支撑机构具有用于抵接一光掩膜的顶部的一抵接部及衔接于该抵接部的一连接部，该连接部具有一开口，该开口具有允许该上盖固定座进入或离开的一第一通道及允许该上盖固定座相对该开口旋转的一第二通道。
[0018]在一实施例中，开口具有至少一第一凸肋，该上盖固定座具有至少一第二凸肋，该开口形状配置成允许沿着一第一旋转方向的该第二凸肋滑过该第一凸肋但禁止该第二凸肋沿着一第二旋转方向转动。
[0019]在一实施例中，支撑机构具有朝上方延伸并用于支撑一光掩膜的底部的一支撑部及相对于该支撑部的一固定部。
[0020]在一实施例中，每一个下盖固定座具有一开口，该开口具有允许该支撑机构的固定部进入或离开的一第一通道及允许该支撑机构的固定部相对该开口旋转的一第二通道。
[0021]在一实施例中，用于支撑该光掩膜的支撑机构具有一第一倾斜面、一第二倾斜面及一第三倾斜面，该第一倾斜面和该第二倾斜面用于接触该光掩膜，该第三倾斜面连接于该第一倾斜面和该第二倾斜面之间用于排除自该第一倾斜面和该第二倾斜面落下的粒子。
[0022]在一实施例中，第三倾斜面具有至少两个倾斜面。
[0023]本专利技术提供另一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒包含上盖、下盖、至少一第一支撑机构及至少一第二支撑机构。其中，上盖具有一抵接面及分布于该抵接面上的多个上盖固定座；下盖具有一承载面及分布于该承载面上的多个下盖固定座；第一支撑机构具有朝上方延伸并用于支撑一光掩膜或一光掩膜载具的一支撑部及相对于该支撑部的一固定部，其中该固定部与对应的下盖固定座能拆卸地连接，使该第一支撑机构可选择性地安装于该下盖，其中该固定部配置成与该固定座公母连接；第二支撑机构具有用于抵接一光掩膜的顶部的一抵接部及衔接于该抵接部的一连接部，其中该连接部与对应的上盖固定座能拆卸地连接，使该第二支撑机构能选择性地安装于该上盖，其中该固定部配置成与该固定座公母连接。
[0024]在一实施例中，每一个上盖固定座具有多个翼状突出，该第二支撑机构的连接部具有一开口，该开口具有允许该多个翼状突出进入或离开的一第一通道及允许该多个翼状突出相对该开口旋转的一第二通道。
[0025]在一实施例中，第一支撑机构的固定部与下盖固定座的公母连接防止第一支撑机构相对于下盖固定座旋转。
[0026]在一实施例中，第一支撑机构具有一横向延伸部、第一倾斜臂和第二倾斜臂，其中第一倾斜臂和第二倾斜臂分别支撑光掩膜或光掩膜载具。
[0027]本专利技术提供另一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒包含上盖，其中，上盖具有一抵接面及分布于该抵接面上的多个上盖固定座；支撑机构具有用于抵接光掩膜的顶部的抵接部及衔接于该抵接部的连接部，其中连接部与对应的上盖固定座能拆卸地连接，使支撑机构能选择性地安装于上盖。
[0028]在一实施例中，每一个上盖固定座具有多个翼状突出，且与该对应的连接部耦合。
[0029]在一实施例中，支撑机构的连接部具有一开口，该开口具有允许上盖固定座进入或离开的第一通道及允许上盖固定座相对该开口旋转的第二通道。
[0030]在一实施例中，该开口具有至少一第一凸肋，该上盖固定座具有至少一第二凸肋，该开口形状配置成允许沿着第一旋转方向的该第二凸肋滑过该第一凸肋但禁止该第二凸肋沿着第二旋转方向转动。
[0031]与现有技术相比，本专利技术的优本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述具有快拆式支撑机构的光掩膜盒包含：一下盖，具有一承载面及自所述承载面上凸出的多个固定座；及一支撑机构，具有朝上方延伸并用于支撑一光掩膜或一光掩膜载具的一支撑部及相对于所述支撑部的一固定部，其中所述固定部与对应的所述固定座能拆卸地连接，使所述支撑机构能安装于所述下盖。2.根据权利要求1所述的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述固定部具有至少一弹性接脚，且所述弹性接脚的末端具有至少一卡持部，所述固定座具有至少一槽，所述槽配置成接收并稳固容置所述弹性接脚的所述卡持部。3.根据权利要求1所述的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述固定部配置成与所述固定座能锁固地连接，其中所述固定座为自所述承载面朝上延伸的一螺纹柱。4.根据权利要求1所述的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述固定部配置成与所述固定座公母连接防止所述支撑机构相对于所述固定座旋转。5.根据权利要求3所述的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述固定部为一母连接部，所述固定座为一公连接部。6.根据权利要求1所述的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述支撑部包含至少一第一支撑柱用于接触所述光掩膜的底面以及至少一第二支撑柱用于限制所述光掩膜的侧部位移。7.一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述具有快拆式支撑机构的光掩膜盒包含：一上盖，具有一抵接面及分布于所述抵接面上的多个上盖固定座；一下盖，具有一承载面及分布于所述承载面上的多个下盖固定座；至少一第一支撑机构，具有朝上方延伸并用于支撑一光掩膜的底部或一光掩膜载具的底部的一支撑部及相对于所述支撑部的一固定部，其中所述固定部与对应的所述下盖固定座能拆卸地连接，使所述第一支撑机构能安装于所述下盖；以及至少一第二支撑机构，具有用于抵接一所述光掩膜的顶部或一所述光掩膜载具的顶部的一抵接部及衔接于所述抵接部的一连接部，其中所述连接部与对应的所述上盖固定座能拆卸地连接，使所述第二支撑机构能选择性地安装于所述上盖。8.根据权利要求7所述的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述上盖固定座具有多个翼状突出，且与对应的所述连接部耦合。9.根据权利要求8所述的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述第二支撑机构的连接部具有一开口，所述开口具有允许所述上盖固定座进入或离开的一第一通道及允许所述上盖固定座相对所述开口旋转的一第二通道。10.根据权利要求9所述的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述开口具有至少一第一凸肋，所述上盖固定座具有至少一第二凸肋，所述开口的形状配置成允许沿着一第一旋转方向的所述第二凸肋滑过所述第一凸肋但禁止所述第二凸肋沿着一第二旋转方向转动。11.一种具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述具有快拆式支撑机构的光掩膜盒包含：
一上盖，具有一抵接面及分布于所述抵接面上的多个上盖固定座；一下盖，具有一承载面及分布于所述承载面上的多个下盖固定座；至少一支撑机构，用于接触一光掩膜的顶部或底部、或一光掩膜载具的顶部或底部，所述支撑机构与所述上盖固定座或所述下盖固定座能旋转地拆卸连接。12.根据权利要求11所述的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述上盖固定座具有多个翼状突出。13.根据权利要求12所述的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述支撑机构具有用于抵接一所述光掩膜的顶部的一抵接部及衔接于所述抵接部的一连接部，所述连接部具有一开口，所述开口具有允许所述上盖固定座进入或离开的一第一通道及允许所述上盖固定座相对所述开口旋转的一第二通道。14.根据权利要求13所述的具有快拆式支撑机构的光掩膜盒，其特征在于，所述开口具有至少一第一凸肋，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄家和，林书弘，李国华，邱铭乾，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：