半导体结构的检测方法、装置、电子设备及可读存储介质制造方法及图纸

本申请提供了一种半导体结构的检测方法、装置、电子设备及可读存储介质。其中，检测方法包括：将半导体结构的图像从RGB颜色空间映射至HSV颜色空间；确定半导体的图像在HSV颜色空间中的颜色分布；以及根据半导体结构的图像的颜色分布确定半导体结构的状态。本申请通过将半导体结构的图像从RGB颜色空间映射至HSV颜色空间，能够用更加直观的数据描述半导体结构的视觉颜色，从而采用技术手段确定半导体结构的状态，提高对半导体结构的状态识别的效率和准确率。准确率。准确率。

【技术实现步骤摘要】
半导体结构的检测方法、装置、电子设备及可读存储介质


[0001]本申请实施方式涉及半导体
，更具体地，涉及一种半导体结构的检测方法、装置、电子设备及可读存储介质。

技术介绍

[0002]随着科学技术的发展，对于半导体技术的研究逐渐成熟，半导体器件得到越来越广泛的应用。
[0003]在半导体器件的生产过程中，需要对一些工艺制程后的半导体结构进行状态分析，以提高半导体器件的良率。
[0004]目前常用的方式是通过识别半导体结构图像中的颜色确定其状态为无不良状态(good die)或者不良状态(bad die)。
[0005]然而，上述方案需要操作人员人为地观察光学显微镜下半导体结构的图像，不仅工作效率不高，而且操作人员观察时的个体差异较大，准确性也不高。

技术实现思路

[0006]本申请提供了一种可至少部分解决相关技术中存在的上述问题或其他技术问题的半导体结构的检测方法、装置、电子设备及可读存储介质。
[0007]本申请一方面提供了一种半导体结构的检测方法，包括：将半导体结构的图像从RGB颜色空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体结构的检测方法，其特征在于，包括：将半导体结构的图像从RGB颜色空间映射至HSV颜色空间；确定所述图像在所述HSV颜色空间中的颜色分布；以及根据所述图像的颜色分布确定所述半导体结构的状态。2.根据权利要求1所述的检测方法，其中，将所述半导体结构的图像从RGB颜色空间映射至HSV颜色空间，包括：将所述图像划分为多个样本图像，确定所述样本图像中的多个采样像素点；确定多个采样像素点的RGB值，并将所确定的RGB值聚类为多组RGB值；将所述多组RGB值中的、采样像素点数大于预设数量的RGB值确定为目标RGB值；以及将每组目标RGB值转化为HSV值。3.根据权利要求2所述的检测方法，其中，将所确定的RGB值聚类为多组RGB值，包括：将所确定的RGB值按照预设分组数量聚类为多个组，每个组中包括至少两个采样像素点的RGB值；以及将每个组中的至少两个采样像素点的RGB值加权平均后获得该组的RGB值。4.根据权利要求1所述的检测方法，其中，将所述半导体结构的图像从RGB颜色空间映射至HSV颜色空间，包括：将所述图像划分为多个样本图像，确定所述样本图像中的多个采样像素点；确定多个采样像素点的RGB值；将多个采样像素点的RGB值转化为HSV值，并将所转化的HSV值聚类为多组HSV值；以及将所述多组HSV值中的、采样像素点数大于预设数量的HSV值确定为目标HSV值。5.根据权利要求4所述的检测方法，其中，将所转化的HSV值聚类为多组HSV值，包括：将所转化的HSV值按照预设分组数量聚类为多个组，每个组中包括至少两个采样像素点的HSV值；以及将每个组中的至少两个采样像素点的HSV值加权平均后获得该组的HSV值。6.根据权利要求2
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5任一所述的检测方法，其中，确定所述图像在所述HSV颜色空间中的颜色分布，包括：基于阈值分割方式确定每组所述HSV值对应的视觉颜色；以及根据每组视觉颜色确定所述样本图像的颜色分布，其中，多个所述样本图像的颜色分布构成所述图像的颜色分布。7.根据权利要求6所述的检测方法，其中，基于阈值分割方式确定每组HSV值对应的视觉颜色，包括：根据HSV颜色取值范围表设定每一种视觉颜色对应的HSV取值范围；以及根据每一组的HSV值落入的范围，确定每组HSV值对应的视觉颜色。8.根据权利要求6所述的检测方法，其中，根据所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文琪，韩烽，陈金星，汪严莉，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：