一种精准度高的旋转靶材喷涂设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种精准度高的旋转靶材喷涂设备，包括外箱体，所述外箱体的上端固定安装有驱动电机，所述外箱体左端的上方固定活动安装有第一支架，所述第一支架延伸至外箱体的内部，所述第一支架的下方活动安装有第二支架，所述第一支架的中部固定设置有凹槽，所述驱动电机传动端的下端固定安装有传动轴。该精准度高的旋转靶材喷涂设备，通过安装驱动电机，可以带动喷嘴绕着第一连接轴和第二连接轴全方位的转动，由此可以对靶材进行全方位无死角的喷涂，使喷涂的质量更高，效率更高，通过设置凹槽，可以使传动轴穿过凹槽而不影响第一支架的抽出，由此实现一个驱动电机同时带动多个喷嘴运动，对多个支架上的靶材进行喷涂的目的。的。的。

【技术实现步骤摘要】
一种精准度高的旋转靶材喷涂设备


[0001]本技术涉及靶材
，具体为一种精准度高的旋转靶材喷涂设备。

技术介绍

[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应，例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等，更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
[0003]一般的靶材在出品之前都需要对其喷砂以进行打磨，但是一般的喷涂设备在喷涂时不能进行多角度全方位喷涂，影响了靶材喷涂的效率和质量。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种精准度高的旋转靶材喷涂设备，以解决上述
技术介绍
中提出一般的靶材在出品之前都需要对其喷砂以进行打磨，但是一般的喷涂设备在喷涂时不能进行多角度全方位喷涂，影响了靶材喷涂的效率和质量的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种精准度高的旋转靶材喷涂设备，包括外箱体，所述外箱体的上端固定安装有驱动电机，所述外箱体左端的上方固定活动安装有第一支架，所述第一支架延伸至外箱体的内部，所述第一支架的下方活动安装有第二支架，所述第一支架的中部固定设置有凹槽，所述驱动电机传动端的下端固定安装有传动轴，所述传动轴外端的上方固定安装有第一连接杆，所述外箱体的内部位于第一支架的上方固定安装有第一连接轴，所述第一连接轴外端的中部活动安装有喷涂料箱，所述喷涂料箱的前后两端活动安装有连接板，所述连接板的上端固定安装有底板，所述底板的上端固定安装有喷嘴，所述喷嘴的外端固定安装有套环，所述套环与第一连接杆固定连接，所述喷涂料箱的上端固定连通有进料软管，所述进料软管贯穿底板并与喷嘴固定连通。
[0006]优选的，所述凹槽与传动轴相适配，所述传动轴贯穿凹槽并延伸至第二支架的上方，通过安装驱动电机，可以带动传动轴转动，从而带动第一连接杆和第二连接杆转动，由此可以带动与之固定连接的套环以及喷嘴运动。
[0007]优选的，所述传动轴外端的下方固定安装有第二连接杆，所述第一连接杆与第二连接杆为同种结构，由于喷涂料箱与第一连接轴的中部活动连接，因而第一连接杆和第二连接杆的转动会带动喷涂料箱沿着第一连接轴和第二连接轴的中部转动，并且连接板也会绕着喷涂料箱的左右两端运动。
[0008]优选的，所述第二支架的上方固定安装有第二连接轴，所述第一连接轴与第二连接轴的外端为同种结构，通过安装底板，可以带动喷嘴绕着第一连接轴和第二连接轴全方位的转动，由此可以对靶材进行全方位无死角的喷涂，使喷涂的质量更高，效率更高。
[0009]优选的，所述第一支架上端的左右两侧固定设置有第一靶材槽，所述第二支架上端的左右两侧固定设置有第二靶材槽，通过设置凹槽，可以使传动轴轻松地穿过凹槽而不会影响第一支架的抽出，由此实现一个驱动电机同时带动两个甚至是多个喷嘴运动，对多个支架上的靶材进行喷涂的目的。
[0010]优选的，所述外箱体的后端活动安装有箱门，所述箱门的后端固定安装有观察窗，通过安装进料软管，可以在喷嘴运动时，不会损坏进料软管，适用性较高。
[0011]优选的，所述箱门后端的左侧固定安装有握把，所述第一支架与第二支架的大小相同，通过安装观察窗，可以使工作人员对外箱体内部的喷涂情况进行观察把控和调整。
[0012]优选的，所述第一支架的左端固定安装有第一把手，所述第二支架的左端固定安装有第二把手，通过安装第一把手和第二把手，可以在喷涂结束之后，拉动两个把手将外箱体内部的两个支架抽出，将靶材取出，同时更换上新的靶材。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1、该精准度高的旋转靶材喷涂设备，通过安装驱动电机，可以带动喷嘴绕着第一连接轴和第二连接轴全方位的转动，由此可以对靶材进行全方位无死角的喷涂，使喷涂的质量更高，效率更高；
[0015]2、该精准度高的旋转靶材喷涂设备，通过设置凹槽，可以使传动轴轻松地穿过凹槽而不会影响第一支架的抽出，由此实现一个驱动电机同时带动两个甚至是多个喷嘴运动，对多个支架上的靶材进行喷涂的目的；
[0016]3、该精准度高的旋转靶材喷涂设备通过安装观察窗，可以使工作人员对外箱体内部的喷涂情况进行观察把控和调整。
附图说明
[0017]图1为本技术立体结构示意图；
[0018]图2为本技术内部立体结构示意图；
[0019]图3为本技术传动轴立体结构示意图；
[0020]图4为本技术喷嘴立体结构示意图；
[0021]图5为本技术第一支架立体结构示意图；
[0022]图6为本技术第二支架立体结构示意图。
[0023]图中：1、外箱体；2、驱动电机；3、第一支架；4、第二支架；5、凹槽； 6、传动轴；7、第一连接杆；8、第一连接轴；9、喷涂料箱；10、连接板； 11、底板；12、喷嘴；13、套环；14、进料软管；15、第二连接杆；16、第二连接轴；17、第一靶材槽；18、第二靶材槽；19、箱门；20、观察窗；21、握把；22、第一把手；23、第二把手。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
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6，本技术提供一种技术方案：一种精准度高的旋转靶材喷涂设
备，包括外箱体1，外箱体1的上端固定安装有驱动电机2，外箱体1 左端的上方固定活动安装有第一支架3，第一支架3延伸至外箱体1的内部，第一支架3的下方活动安装有第二支架4，第一支架3的中部固定设置有凹槽 5，驱动电机2传动端的下端固定安装有传动轴6，传动轴6外端的上方固定安装有第一连接杆7，外箱体1的内部位于第一支架3的上方固定安装有第一连接轴8，第一连接轴8外端的中部活动安装有喷涂料箱9，喷涂料箱9的前后两端活动安装有连接板10，连接板10的上端固定安装有底板11，底板11 的上端固定安装有喷嘴12，喷嘴12的外端固定安装有套环13，套环13与第一连接杆7固定连接，喷涂料箱9的上端固定连通有进料软管14，进料软管 14贯穿底板11并与喷嘴12固定连通。
[0026]进一步的，凹槽5与传动轴6相适配，传动轴6贯穿凹槽5并延伸至第二支架4的上方，通过安装驱动电机2，可以带动传动轴6转动，从而带动第一连接杆7和第二连接杆15转动，由此可以带动与之固定连接的套环13以及喷嘴12运动。
[0027]进一步的，传动轴6外端的下方固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精准度高的旋转靶材喷涂设备，包括外箱体(1)，其特征在于：所述外箱体(1)的上端固定安装有驱动电机(2)，所述外箱体(1)左端的上方固定活动安装有第一支架(3)，所述第一支架(3)延伸至外箱体(1)的内部，所述第一支架(3)的下方活动安装有第二支架(4)，所述第一支架(3)的中部固定设置有凹槽(5)，所述驱动电机(2)传动端的下端固定安装有传动轴(6)，所述传动轴(6)外端的上方固定安装有第一连接杆(7)，所述外箱体(1)的内部位于第一支架(3)的上方固定安装有第一连接轴(8)，所述第一连接轴(8)外端的中部活动安装有喷涂料箱(9)，所述喷涂料箱(9)的前后两端活动安装有连接板(10)，所述连接板(10)的上端固定安装有底板(11)，所述底板(11)的上端固定安装有喷嘴(12)，所述喷嘴(12)的外端固定安装有套环(13)，所述套环(13)与第一连接杆(7)固定连接，所述喷涂料箱(9)的上端固定连通有进料软管(14)，所述进料软管(14)贯穿底板(11)并与喷嘴(12)固定连通。2.根据权利要求1所述的一种精准度高的旋转靶材喷涂设备，其特征在于：所述凹槽(5)与传动轴(6)相适配，所述传动轴(6)贯穿凹槽(5)并延伸至第二支架(4)的上方...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙洪梅，陈方波，
申请(专利权)人：上海振卡新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：