一种靶材与背板的连接结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种靶材与背板的连接结构，包括背板，所述背板的上端固定安装有靶材本体，所述背板的上端固定设置有连接槽，所述背板上端左端的前后两端固定设置有限位槽，所述连接槽内部的左端固定安装有固定板，所述固定板的前后两端固定安装有限位块，所述限位块的左端固定设置有固定螺孔一，所述背板左端的前后两端固定安装有固定螺丝一，所述连接槽内部的前后两端固定安装有滑轨。该靶材与背板的连接结构，在焊接的过程中，溅射的焊渣被焊接槽进行阻挡使其掉落在焊接槽的内部，不会对背板与靶材本体的外表溅射沾附，降低了焊渣清理难度，同时控制背板与靶材本体焊接范围，使其焊接时更加的便捷，有效地提高了工作效率。有效地提高了工作效率。有效地提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材与背板的连接结构


[0001]本技术涉及靶材
，具体为一种靶材与背板的连接结构。

技术介绍

[0002]众所周知，靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化。
[0003]靶材与背板在进行焊接时，焊接过程中的焊渣会溅射在靶材与背板的表面，使得在对焊渣进行清理时，往往会对其表面造成损伤，且靶材与背板焊接的过程中，由于其连接紧合度无法掌握，导致在焊接时容易出现虚焊漏焊等现象。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种靶材与背板的连接结构，以解决上述
技术介绍
中提出焊接过程中的焊渣会溅射在靶材与背板的表面，使得在对焊渣进行清理时，往往会对其表面造成损伤，且靶材与背板焊接的过程中，由于其连接紧合度无法掌握，导致在焊接时容易出现虚焊漏焊等现象的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种靶材与背板的连接结构，包括背板本体，所述背板本体的上端固定安装有靶材本体，所述背板本体的上端固定设置有连接槽，所述背板本体上端左端的前后两端固定设置有限位槽，所述连接槽内部的左端固定安装有固定板，所述固定板的前后两端固定安装有限位块，所述限位块的左端固定设置有固定螺孔一，所述背板本体左端的前后两端固定安装有固定螺丝一，所述连接槽内部的前后两端固定安装有滑轨，所述滑轨的上端固定设置有滑槽，所述连接槽内部右端的中部固定设置有固定孔，所述靶材本体的右端固定安装有固定块，所述固定块的上端固定设置有固定螺孔二，所述背板本体上端的右端固定安装有固定螺丝二，所述靶材本体前后两端的下端固定安装有连接板，所述靶材本体前后两端的下端位于连接板的下方固定安装有滑动板，所述连接板与滑轨的上端位于背板本体与靶材本体之间固定设置有焊接槽，所述靶材本体的左右两端固定安装有焊接板。
[0006]优选的，所述靶材本体位于连接槽的内部，所述限位块与限位槽相适配，通过背板本体与靶材本体设置的焊接槽，在焊接槽的内部对背板本体与靶材本体进行焊接，溅射的焊渣被焊接槽进行阻挡使其掉落在焊接槽的内部，不会对背板本体与靶材本体的外表溅射沾附。
[0007]优选的，所述固定螺丝一的右端延伸至限位槽的内部，所述固定螺丝一与固定螺孔一螺纹连接，通过安装固定螺丝一，可通过拧动固定螺丝一将固定板进行固定，使其不会出现脱落的现象发生。
[0008]优选的，所述固定块与固定孔相适配，所述连接板的下端与滑槽相适配，通过安装固定块，在将靶材本体安装进连接槽内部后，将其进行固定。
[0009]优选的，所述固定螺丝二的下端穿过背板本体并延伸至固定孔的内部，所述固定
螺丝二与固定螺孔二螺纹连接，通过安装固定螺丝二，可在固定块插入固定孔内部后，对固定块进行固定限位。
[0010]优选的，所述滑动板与背板本体固定连接，所述焊接板与背板本体固定连接，通过安装焊接板，在焊接时，可使得靶材本体的左右两端与固定板和背板本体之间连接得更加的紧密，增加焊接强度。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、该靶材与背板的连接结构，在焊接的过程中，溅射的焊渣被焊接槽进行阻挡使其掉落在焊接槽的内部，不会对背板与靶材本体的外表溅射沾附，降低了焊渣清理难度，同时控制背板与靶材本体焊接范围，使其焊接时更加的便捷，有效地提高了工作效率；
[0013]2、该靶材与背板的连接结构，利用滑轨与连接板对接，可将靶材本体平行的固定在背板的内部，且不会出现松动，使其在焊接时稳定性更高，避免了虚焊漏焊的情况发生，有效地提高了焊接质量；
[0014]3、该靶材与背板的连接结构，利用固定板将背板的左端进行封闭，使得在对靶材本体进行安装后，将其的左端进行密封，避免了在后续焊接的过程中导致焊液流失，对焊接的强度造成影响，进一步地提高了焊接质量。
附图说明
[0015]图1为本技术立体结构示意图一；
[0016]图2为本技术立体结构示意图二；
[0017]图3为本技术靶材本体立体结构示意图；
[0018]图4为本技术背板本体立体结构示意图。
[0019]图中：1、背板本体；2、靶材本体；3、连接槽；4、限位槽；5、固定板；6、限位块；7、固定螺孔一；8、固定螺丝一；9、滑轨；10、滑槽；11、固定孔；12、固定块；13、固定螺孔二；14、固定螺丝二；15、连接板；16、滑动板；17、焊接槽；18、焊接板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：一种靶材与背板的连接结构，包括背板本体1，背板本体1的上端固定安装有靶材本体2，背板本体1的上端固定设置有连接槽3，背板本体1上端左端的前后两端固定设置有限位槽4，连接槽3内部的左端固定安装有固定板5，固定板5的前后两端固定安装有限位块6，限位块6的左端固定设置有固定螺孔一7，背板本体1左端的前后两端固定安装有固定螺丝一8，连接槽3内部的前后两端固定安装有滑轨9，滑轨9的上端固定设置有滑槽10，连接槽3内部右端的中部固定设置有固定孔11，靶材本体2的右端固定安装有固定块12，固定块12的上端固定设置有固定螺孔二13，背板本体1上端的右端固定安装有固定螺丝二14，靶材本体2前后两端的下端固定安装有连接板15，靶材本体2前后两端的下端位于连接板15的下方固定安装有滑动板16，连接板15与滑轨9的
上端位于背板本体1与靶材本体2之间固定设置有焊接槽17，靶材本体2的左右两端固定安装有焊接板18。
[0022]进一步的，靶材本体2位于连接槽3的内部，限位块6与限位槽4相适配，首先将靶材本体2前后两端的连接板15与滑轨9上端的滑槽10进行对接，然后将靶材本体2向连接槽3的内部推动，当靶材本体2的右端推动至连接槽3右端时，将靶材本体2右端的固定块12插入固定孔11内部，当固定块12插入固定孔11内部后，拧动固定螺丝二14，将其拧入固定螺孔二13的内部将靶材本体2固定在连接槽3的内部，与此同时将固定板5两端的限位块6插入限位槽4的内部将其安装在背板本体1的左端，同时与靶材本体2左端的焊接板18进行贴合，然后拧动固定螺丝一8，将其拧入固定螺孔一7的内部将固定板5进行固定，当安装结束后，通过背板本体1与靶材本体2设置的焊接槽17，在焊接槽17的内部对背板本体1与靶材本体2进行焊接，在焊接的过程中，溅射的焊渣被焊接槽17进行阻挡使其掉落在焊接槽17的内部，不会对背板本体1与靶材本体2的外表溅射沾附，降低了焊渣清理难度。
[0023]进一步的，固定螺丝一8的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材与背板的连接结构，包括背板本体(1)，其特征在于：所述背板本体(1)的上端固定安装有靶材本体(2)，所述背板本体(1)的上端固定设置有连接槽(3)，所述背板本体(1)上端左端的前后两端固定设置有限位槽(4)，所述连接槽(3)内部的左端固定安装有固定板(5)，所述固定板(5)的前后两端固定安装有限位块(6)，所述限位块(6)的左端固定设置有固定螺孔一(7)，所述背板本体(1)左端的前后两端固定安装有固定螺丝一(8)，所述连接槽(3)内部的前后两端固定安装有滑轨(9)，所述滑轨(9)的上端固定设置有滑槽(10)，所述连接槽(3)内部右端的中部固定设置有固定孔(11)，所述靶材本体(2)的右端固定安装有固定块(12)，所述固定块(12)的上端固定设置有固定螺孔二(13)，所述背板本体(1)上端的右端固定安装有固定螺丝二(14)，所述靶材本体(2)前后两端的下端固定安装有连接板(15)，所述靶材本体(2)前后两端的下端位于连接板(15)的下方固定安装有滑动板(16)，所述连接板(15)与滑轨(9)的上端位...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙洪梅，陈方波，
申请(专利权)人：上海振卡新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：