一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，包括安装台，所述安装台上端的左侧活动安装有第一固定座，所述第一固定座上端的后侧固定设置有凹槽，所述凹槽的内部活动安装有丝杠，所述丝杠的外端螺纹安装有丝母，所述丝母的上端固定安装有第一夹具，所述第一固定座上端的前侧固定安装有第二夹具，所述第二夹具的后端固定安装有第一弹簧，所述第一夹具与第二夹具通过第一弹簧活动连接。该贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，通过安装电动推杆及丝杠丝母，既可以对不同长度的靶材进行夹紧固定，也可以对不同宽度的靶材进行夹紧固定，并且通过安装微调机构，可以对第二固定座与第一固定座之间的间距进行微调，以让夹具与靶材之间更加紧密。间更加紧密。间更加紧密。

【技术实现步骤摘要】
一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装


[0001]本技术涉及贵金属靶材
，具体为一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装。

技术介绍

[0002]采用精炼、熔化锻造、压延加工或粉未冶金工艺制造的半导体器件、记录媒体显示器件等的配线和薄膜的贵金属及其合金的溅射靶材。
[0003]一般的贵金属溅射靶材在加工时由于质量太大，通常直接放在操作台上，这样会使靶材因为震动而发生偏移，在加工途中会由于偏移而产生崩角，损坏靶材。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，以解决上述
技术介绍
中提出一般的贵金属溅射靶材在加工时由于质量太大，通常直接放在操作台上，这样会使靶材因为震动而发生偏移，在加工途中会由于偏移而产生崩角，损坏靶材的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，包括安装台，所述安装台上端的左侧活动安装有第一固定座，所述第一固定座上端的后侧固定设置有凹槽，所述凹槽的内部活动安装有丝杠，所述丝杠的外端螺纹安装有丝母，所述丝母的上端固定安装有第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，包括安装台(1)，其特征在于：所述安装台(1)上端的左侧活动安装有第一固定座(2)，所述第一固定座(2)上端的后侧固定设置有凹槽(3)，所述凹槽(3)的内部活动安装有丝杠(4)，所述丝杠(4)的外端螺纹安装有丝母(5)，所述丝母(5)的上端固定安装有第一夹具(6)，所述第一固定座(2)上端的前侧固定安装有第二夹具(7)，所述第二夹具(7)的后端固定安装有第一弹簧(8)，所述第一夹具(6)与第二夹具(7)通过第一弹簧(8)活动连接，所述安装台(1)上端的右侧活动安装有第二固定座(9)，所述第一固定座(2)右端的前后两侧固定安装有滑杆(10)，所述滑杆(10)的左端固定安装有安装板(11)，所述安装板(11)的左端固定安装有电动推杆(12)，所述电动推杆(12)的右端与第一固定座(2)固定连接，所述第二固定座(9)的右端固定安装有微调机构(13)。2.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，其特征在于：所述微调机构(13)的右端固定安装有支撑柱(14)，所述支撑柱(14)左端的前后两侧固定安装有伸缩杆(15)。3.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙洪梅，陈方波，
申请(专利权)人：上海振卡新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：