一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，包括安装台，所述安装台上端的左侧活动安装有第一固定座，所述第一固定座上端的后侧固定设置有凹槽，所述凹槽的内部活动安装有丝杠，所述丝杠的外端螺纹安装有丝母，所述丝母的上端固定安装有第一夹具，所述第一固定座上端的前侧固定安装有第二夹具，所述第二夹具的后端固定安装有第一弹簧，所述第一夹具与第二夹具通过第一弹簧活动连接。该贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，通过安装电动推杆及丝杠丝母，既可以对不同长度的靶材进行夹紧固定，也可以对不同宽度的靶材进行夹紧固定，并且通过安装微调机构，可以对第二固定座与第一固定座之间的间距进行微调，以让夹具与靶材之间更加紧密。间更加紧密。间更加紧密。

【技术实现步骤摘要】
一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装


[0001]本技术涉及贵金属靶材
，具体为一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装。

技术介绍

[0002]采用精炼、熔化锻造、压延加工或粉未冶金工艺制造的半导体器件、记录媒体显示器件等的配线和薄膜的贵金属及其合金的溅射靶材。
[0003]一般的贵金属溅射靶材在加工时由于质量太大，通常直接放在操作台上，这样会使靶材因为震动而发生偏移，在加工途中会由于偏移而产生崩角，损坏靶材。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，以解决上述
技术介绍
中提出一般的贵金属溅射靶材在加工时由于质量太大，通常直接放在操作台上，这样会使靶材因为震动而发生偏移，在加工途中会由于偏移而产生崩角，损坏靶材的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，包括安装台，所述安装台上端的左侧活动安装有第一固定座，所述第一固定座上端的后侧固定设置有凹槽，所述凹槽的内部活动安装有丝杠，所述丝杠的外端螺纹安装有丝母，所述丝母的上端固定安装有第一夹具，所述第一固定座上端的前侧固定安装有第二夹具，所述第二夹具的后端固定安装有第一弹簧，所述第一夹具与第二夹具通过第一弹簧活动连接，所述安装台上端的右侧活动安装有第二固定座，所述第一固定座右端的前后两侧固定安装有滑杆，所述滑杆的左端固定安装有安装板，所述安装板的左端固定安装有电动推杆，所述电动推杆的右端与第一固定座固定连接，所述第二固定座的右端固定安装有微调机构。
[0006]优选的，所述微调机构的右端固定安装有支撑柱，所述支撑柱左端的前后两侧固定安装有伸缩杆，通过安装电动推杆，可以使电动推杆推动第一固定座沿着滑杆左右移动，由此调整两个固定座之间的间距，以对不同长度的靶材进行夹紧固定。
[0007]优选的，所述第二固定座的右端固定安装有支撑板，所述支撑板的上端活动安装有凸轮，通过安装丝杠和丝母，转动转动柄，带动丝杠在凹槽内部转动，由于丝母与丝杠螺纹连接，因而丝杠的转动会带动丝母沿着丝杠前后移动，由此带动第一夹具沿着丝杠前后移动，最终调整第一夹具与第二夹具之间的间距，以对不同宽度的靶材进行夹紧固定。
[0008]优选的，所述凸轮的下端固定安装有手柄，所述手柄贯穿支撑板并延伸至支撑板的下端，由于第二夹具为固定安装，因此其位置相对于第一固定座和第二固定座是不变的，第一夹具前后移动，并且两者之间通过第一弹簧连接，因而不容易使夹具产生偏移，使装置更加稳定。
[0009]优选的，所述第一固定座的前端固定安装有第一连接柱，所述第二固定座的前端固定安装有第二连接柱，通过安装微调机构，可以对第二固定座与第一固定座之间的间距
进行微调，以让夹具与靶材之间更加紧密。
[0010]优选的，所述第一连接柱的前端固定安装有第二弹簧，所述第一连接柱与第二连接柱通过第二弹簧活动连接，通过安装凸轮，转动手柄，可以带动凸轮在支撑板的上端转动，使得凸轮的两个突出端分别与第二固定座以及支撑柱相接触。
[0011]优选的，所述滑杆贯穿第一固定座并延伸至第一固定座的左侧，所述滑杆的右端延伸至第二固定座的内部，由于支撑柱与第二固定座在一般情况下其间距是小于凸轮两突出端的间距的，因而此时凸轮会带动伸缩杆向左运动，并带动第二固定座微微的向左运动。
[0012]优选的，所述第一固定座与第二固定座为同种结构，所述丝杠的后端固定安装有转动柄，由于滑杆延伸至第二固定座的内部，且其末端安装有限位装置，因而第二固定座会沿着滑杆向左运动，但运动的范围较小，且不会偏离轨道，细微的调整使得本装置与靶材之间的固定更加紧密。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1、该贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，通过安装电动推杆，可以使电动推杆推动第一固定座沿着滑杆左右移动，由此调整两个固定座之间的间距，以对不同长度的靶材进行夹紧固定，并且固定座不易偏离既定位置，稳定性较高；
[0015]2、该贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，通过安装丝杠和丝母，可以最终调整第一夹具与第二夹具之间的间距，以对不同宽度的靶材进行夹紧固定；
[0016]3、该贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，通过安装微调机构，可以对第二固定座与第一固定座之间的间距进行微调，以让夹具与靶材之间更加紧密。
附图说明
[0017]图1为本技术立体结构示意图；
[0018]图2为本技术第一夹具立体结构示意图；
[0019]图3为本技术电动推杆立体结构示意图；
[0020]图4为本技术第一固定座结构示意图；
[0021]图5为本技术微调结构立体结构示意图；
[0022]图6为本技术第一弹簧立体结构示意图。
[0023]图中：1、安装台；2、第一固定座；3、凹槽；4、丝杠；5、丝母；6、第一夹具；7、第二夹具；8、第一弹簧；9、第二固定座；10、滑杆；11、安装板；12、电动推杆；13、微调机构；14、支撑柱；15、伸缩杆；16、支撑板；17、凸轮；18、手柄；19、第一连接柱；20、第二连接柱；21、第二弹簧；22、转动柄。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
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6，本技术提供一种技术方案：一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，包括安装台1，安装台1上端的左侧活动安装有第一固定座2，第一固定座2上端的后侧固
定设置有凹槽3，凹槽3的内部活动安装有丝杠4，丝杠4的外端螺纹安装有丝母5，丝母5的上端固定安装有第一夹具6，第一固定座2上端的前侧固定安装有第二夹具7，第二夹具7的后端固定安装有第一弹簧8，第一夹具6与第二夹具7通过第一弹簧8活动连接，安装台1上端的右侧活动安装有第二固定座9，第一固定座2右端的前后两侧固定安装有滑杆10，滑杆10的左端固定安装有安装板11，安装板11的左端固定安装有电动推杆12，电动推杆12的右端与第一固定座2固定连接，第二固定座9的右端固定安装有微调机构13。
[0026]进一步的，微调机构13的右端固定安装有支撑柱14，支撑柱14左端的前后两侧固定安装有伸缩杆15，通过安装电动推杆12，可以使电动推杆12 推动第一固定座2沿着滑杆10左右移动，由此调整两个固定座之间的间距，以对不同长度的靶材进行夹紧固定。
[0027]进一步的，第二固定座9的右端固定安装有支撑板16，支撑板16的上端活动安装有凸轮17，通过安装丝杠4和丝母5，转动转动柄22，带动丝杠4 在凹槽3内部转动，由于丝母5与丝杠4螺纹连接，因而丝杠4的转动会带动丝母5沿着丝杠4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，包括安装台(1)，其特征在于：所述安装台(1)上端的左侧活动安装有第一固定座(2)，所述第一固定座(2)上端的后侧固定设置有凹槽(3)，所述凹槽(3)的内部活动安装有丝杠(4)，所述丝杠(4)的外端螺纹安装有丝母(5)，所述丝母(5)的上端固定安装有第一夹具(6)，所述第一固定座(2)上端的前侧固定安装有第二夹具(7)，所述第二夹具(7)的后端固定安装有第一弹簧(8)，所述第一夹具(6)与第二夹具(7)通过第一弹簧(8)活动连接，所述安装台(1)上端的右侧活动安装有第二固定座(9)，所述第一固定座(2)右端的前后两侧固定安装有滑杆(10)，所述滑杆(10)的左端固定安装有安装板(11)，所述安装板(11)的左端固定安装有电动推杆(12)，所述电动推杆(12)的右端与第一固定座(2)固定连接，所述第二固定座(9)的右端固定安装有微调机构(13)。2.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，其特征在于：所述微调机构(13)的右端固定安装有支撑柱(14)，所述支撑柱(14)左端的前后两侧固定安装有伸缩杆(15)。3.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙洪梅，陈方波，
申请(专利权)人：上海振卡新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：