本发明专利技术涉及蚀刻技术领域，尤其是指一种金属散热片的双面蚀刻装置及应用于该双面时刻装置的蚀刻工艺，双面蚀刻装置包括喷洒机构和翻面机构，翻面机构包括机体、均设置于机体的第一夹持机构、第一翻转机构、第二夹持机构和第二翻转机构，第一夹持机构和第二夹持机构分别用于夹住金属散热片的两侧，第一翻转机构用于驱动第一夹持机构翻转，第二翻转机构用于驱动第二夹持机构翻转。本发明专利技术通过第一夹持机构和第二夹持机构分别夹住金属散热片的两端，当金属散热片的一面完成蚀刻后，通过第一翻转机构、第二翻转机构分别驱动第一夹持机构、第二夹持机构同时翻转，即可让金属散热片进行翻转，以实现对于金属散热片另一面进行蚀刻。以实现对于金属散热片另一面进行蚀刻。以实现对于金属散热片另一面进行蚀刻。
【技术实现步骤摘要】
一种金属散热片的双面蚀刻装置及蚀刻工艺
[0001]本专利技术涉及蚀刻
，尤其是指一种金属散热片的双面蚀刻装置及蚀刻工艺。
技术介绍
[0002]金属散热片广泛应用于高功率密度和集成度电子器件以减少发热元器件热量积累，能够延长器件的工作寿命。目前金属散热片可作为相变传热器件壳体，内部封装高润湿性能吸液芯，密封抽真空灌注工质后，成为高效相变传热器件，具有良好的导热性。金属散热片也可作为普通散热翅片，在其上下表面分别蚀刻微阵列柱，以增大金属散热片的比表面积，从而提高金属散热片散热效率。
[0003]但目前在金属正、反两面蚀刻微阵列图案工艺尚不成熟。市面上常见金属散热片蚀刻工艺为一次蚀刻工序蚀刻一面，即当需要对金属片的两面分别进行蚀刻时，则需进行两次蚀刻：第一次先蚀刻一面，然后对金属散热片的另一面进行曝光、显影、蚀刻。这样才能完成金属散热片正、反两面的蚀刻。这种方式显然具有以下不足：当前金属散热片双面蚀刻工艺存在效率较低、部分中间工艺重复繁杂以及增加生产成本等；同时，金属散热片两面蚀刻过程中存在对于金属散热片的移送，此间容易造成重复定位误差，导致蚀刻的图案发生错位。
技术实现思路
[0004]本专利技术针对现有技术的问题提供一种金属散热片的双面蚀刻装置及蚀刻工艺，能够实现金属散热片不移送且发生翻转的效果。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：
[0006]本专利技术提供的一种金属散热片的双面蚀刻装置，包括喷洒机构和翻面机构，喷洒机构用于对金属散热片喷洒蚀刻液，翻面机构包括机体、均设置于机体的第一夹持机构、第一翻转机构、第二夹持机构和第二翻转机构，所述第一夹持机构和第二夹持机构分别用于夹住金属散热片的两侧，第一翻转机构用于驱动第一夹持机构翻转，第二翻转机构用于驱动第二夹持机构翻转。
[0007]进一步的，所述第一夹持机构包括第一夹持驱动件、第一夹持底座以及第一夹持组件，第一夹持底座转动设置于机体，第一夹持底座设有第一竖板，第一夹持组件可升降设置于第一竖板，第一夹持驱动件用于驱动第一夹持组件升降以使得第一夹持组件靠近或远离第一夹持底座；第一夹持组件与第一夹持底座配合用于夹住金属散热片的一侧。
[0008]更进一步的，所述第一夹持组件包括第一加载板以及多个安装于第一加载板底部的第一导向柱，第一竖板设置有第一导向件，第一导向件具有多个第一导向孔，多个第一导向柱与多个第一导向柱一一对应滑动安装；第一导向柱靠近第一夹持底座的一端设置有由软质材料支撑的第一抵触件，第一抵触件用于与金属散热片抵触。
[0009]进一步的，所述第一翻转机构包括第一电机、第一传动组件、第一主动齿轮以及第
一传动齿轮，第一电机安装于机体，第一电机经第一传动组件驱动第一主动齿轮转动，第一主动齿轮与第一传动齿轮啮合，第一传动齿轮与第一夹持机构同步转动。
[0010]更进一步的，所述第一传动组件包括第一联轴器和第一支撑轴，第一电机的转轴经第一联轴器与第一支撑轴连接，第一主动齿轮安装于第一支撑轴；第一传动齿轮具有第一导向轴，第一传动齿轮经第一导向轴固定于第一夹持机构。
[0011]进一步的，所述机体设置有分隔板，第一翻转机构和第一夹持机构分别设置于分隔板的两侧；分隔板设置有联动孔，第一翻转机构经联动孔驱动连接第一夹持机构。
[0012]进一步的，所述机体还设置有滑动座以及滑动模组，第二夹持机构和第二翻转机构均装设于滑动座，滑动模组装设于机体，滑动座沿着滑动模组滑动以使得第二夹持机构靠近或远离第一夹持机构。
[0013]更进一步的，所述滑动模组的数量为至少两个，滑动模组包括导轨、滑块以及两个限位销，导轨安装于机体，滑块滑动设置于导轨，滑动座装设于滑块；沿着导轨的长度方向，导轨间隔设置有多个限位孔，两个限位销可拆卸安装于其中两个限位孔内，滑动座位于两个限位销之间，两个限位销配合用于对滑动座进行限位。
[0014]本专利技术提供了一种蚀刻工艺，包括以下步骤：
[0015]A.在金属散热片的两个端面分别进行感光材料的涂布；
[0016]B.对金属散热片的两个端面的感光材料进行曝光显影；
[0017]C.通过第一夹持机构和第二夹持机构分别夹住金属散热片的两侧；
[0018]D.对金属散热片的朝上的端面喷洒蚀刻液以进行蚀刻处理；
[0019]E.第一翻转机构和第二翻转机构分别控制第一夹持机构和第二夹持机构翻转，使得金属散热片的另一端面朝上；
[0020]F.对金属散热片上述的另一端面喷洒蚀刻液以进行蚀刻处理；
[0021]G.对金属散热片的两端面分别进行清洗。
[0022]进一步的，在步骤C中，具体包括：
[0023]C1.拔出限位销，然后控制滑动座往远离第一夹持机构的方向移动；
[0024]C2.通过第一夹持机构夹住金属散热片的一侧；
[0025]C3.控制滑动座往靠近第一夹持机构的方向滑动，直至金属散热片的另一侧被第二夹持机构夹住；
[0026]C4.通过第二夹持机构夹住金属散热片的另一侧；
[0027]C5.往导轨插入限位销，使得滑动座的两侧分别与两个限位销抵触。
[0028]本专利技术的有益效果：本专利技术通过第一夹持机构和第二夹持机构分别夹住金属散热片的两端，当金属散热片的一面完成蚀刻后，通过第一翻转机构、第二翻转机构分别驱动第一夹持机构、第二夹持机构同时翻转，即可让金属散热片不发生移位地进行翻转，以实现对于金属散热片另一面进行蚀刻。
附图说明
[0029]图1为本专利技术的翻面机构的示意图。
[0030]图2为本专利技术的第一夹持机构的示意图。
[0031]图3为本专利技术的第一翻转机构的示意图。
[0032]图4为本专利技术的滑动座一侧的示意图。
[0033]图5为本专利技术的滑动座的另一侧的示意图。
[0034]图6为本专利技术的滑动模组的示意图。
[0035]图7为应用有本专利技术的蚀刻工艺的流程图。
[0036]附图标记：1—机体，2—第一夹持机构，3—第一翻转机构，4—第二夹持机构，5—第二翻转机构，6—滑动座，7—滑动模组，11—分隔板，12—联动孔，22—第一夹持底座，23—第一夹持组件，24—第一竖板，25—第一加载板，26—第一导向柱，27—第一导向件，28—第一抵触件，31—第一电机，32—第一传动组件，33—第一主动齿轮，34—第一传动齿轮，35—第一联轴器，36—第一支撑轴，37—第一导向轴，38—第一轴承，42—第二夹持底座，43—第二夹持组件，44—第二竖板，45—第二加载板，46—第二导向柱，47—第二导向件，48—第二抵触件，51—第二电机，52—第二传动组件，53—第二主动齿轮，54—第二传动齿轮，55—第二联轴器，56—第二支撑轴，57—第二导向轴，58—第二轴承，71—导轨，72—滑块，73—限位销，74—限位孔。
具体实施方式
[0037]为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种金属散热片的双面蚀刻装置，其特征在于：包括喷洒机构和翻面机构，喷洒机构用于对金属散热片喷洒蚀刻液，翻面机构包括机体、均设置于机体的第一夹持机构、第一翻转机构、第二夹持机构和第二翻转机构，所述第一夹持机构和第二夹持机构分别用于夹住金属散热片的两侧，第一翻转机构用于驱动第一夹持机构翻转，第二翻转机构用于驱动第二夹持机构翻转。2.根据权利要求1所述的金属散热片的双面蚀刻装置，其特征在于：所述第一夹持机构包括第一夹持驱动件、第一夹持底座以及第一夹持组件，第一夹持底座转动设置于机体，第一夹持底座设有第一竖板，第一夹持组件可升降设置于第一竖板，第一夹持驱动件用于驱动第一夹持组件升降以使得第一夹持组件靠近或远离第一夹持底座；第一夹持组件与第一夹持底座配合用于夹住金属散热片的一侧。3.根据权利要求2所述的金属散热片的双面蚀刻装置，其特征在于：所述第一夹持组件包括第一加载板以及多个安装于第一加载板底部的第一导向柱，第一竖板设置有第一导向件，第一导向件具有多个第一导向孔，多个第一导向柱与多个第一导向柱一一对应滑动安装；第一导向柱靠近第一夹持底座的一端设置有由软质材料支撑的第一抵触件，第一抵触件用于与金属散热片抵触。4.根据权利要求1所述的金属散热片的双面蚀刻装置，其特征在于：所述第一翻转机构包括第一电机、第一传动组件、第一主动齿轮以及第一传动齿轮，第一电机安装于机体，第一电机经第一传动组件驱动第一主动齿轮转动，第一主动齿轮与第一传动齿轮啮合，第一传动齿轮与第一夹持机构同步转动。5.根据权利要求4所述的金属散热片的双面蚀刻装置，其特征在于：所述第一传动组件包括第一联轴器和第一支撑轴，第一电机的转轴经第一联轴器与第一支撑轴连接，第一主动齿轮安装于第一支撑轴；第一传动齿轮具有第一导向轴，第一传动齿轮经第一导向轴固定于第一夹持机构。6.根据权利要求1所述的金属散热...
【专利技术属性】
技术研发人员：王文涛，张亮旗，王世权，张帆，
申请(专利权)人：扬州赛诺高德电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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