一种精密防侧蚀的蚀刻区域控制方法技术

本发明专利技术公开一种精密防侧蚀的蚀刻区域控制方法，采用分段处理的方法，设置了第一次丝网印刷、第一次蚀刻、第二次丝网印刷和第二次蚀刻，第一次丝网印刷时暴露边沿线区域并由第一次蚀刻构建边沿蚀刻槽，并在第二次丝网印刷时填充边沿蚀刻槽，使得第二次蚀刻时边沿蚀刻槽收到油墨料的填充保护，本发明专利技术的优点在于在蚀刻区域的边沿通过设置边沿蚀刻槽并对其进行填充，使得在蚀刻加工金属表面图样时边沿蚀刻槽内的油墨料起到隔断蚀刻液的作用，有效避免发生侧蚀，规避了突沿结构的产生，极大的提高了蚀刻作业的精密度。高了蚀刻作业的精密度。

【技术实现步骤摘要】
一种精密防侧蚀的蚀刻区域控制方法


[0001]本专利技术涉及蚀刻加工领域，具体地说，是一种精密防侧蚀的蚀刻区域控制方法。

技术介绍

[0002]金属蚀刻也称光化学金属蚀刻(photochemical etching)，其是指通过曝光制版、显影后，将要金属蚀刻区域的保护膜去除，在金属蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果。该工艺最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密金属蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，金属蚀刻更是不可或缺的技术。
[0003]但是，现有的金属蚀刻工艺加工出来产品往往具有精度不高的问题，不能满足某些高精度场合的应用，且有的金属蚀刻工艺流程较为复杂。
[0004]在目前现有的蚀刻技术中，最为常见稳定为蚀刻时发生侧蚀现象，侧蚀会在金属板面表面产生突沿，通常印制板在蚀刻液中的时间越长，或者使用老式的左右摇摆蚀刻机，侧蚀越严重。侧蚀严重影响印本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精密防侧蚀的蚀刻区域控制方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、蚀刻前处理，对金属表面进行前处理，前处理包括除油、水洗、干燥；S2、第一次丝网印刷，对进行过蚀刻前处理的金属表面以水溶性涂料数码喷绘蚀刻区域边沿，以边沿线的线宽作为第一次蚀刻区域进行丝网印刷，丝网印刷结束后进行干燥；S3、第一次蚀刻，对边沿线的线宽区域进行第一次蚀刻并沿着边沿线形成边沿蚀刻槽；S4、第一次清洗备板，对边沿蚀刻槽进行射流酸洗清理后对第一次丝网印刷的金属表面进行碱洗、水洗和高压空气射流清洗；S5、第二次丝网印刷，对S4处理好的带有蚀刻槽的金属表面以蚀刻区域和边沿线区域进行第二次丝网印刷，印刷丝网的油料填充满蚀刻槽并暴露朝向待蚀刻区域的边沿；S6、第二次蚀刻，对S5中第二次丝网印刷形成的图案进行二次蚀刻；S7、第二次清洗备板，对第二次蚀刻完成后的金属表面进行碱洗、抛光和烘干。2.根据权利要求1所述的一种精密防侧蚀的蚀刻区域控制方法，其特征在于：S2中第一次丝网印刷时对边沿线进行饱和印刷，使边沿线区域形成突起的油墨料填充区。3.根据权利要求2所述的一种精密防侧蚀的蚀刻区域控制方法，其特征在于：所述油墨料填充区的高度为0.01～0.0...

【专利技术属性】
技术研发人员：马文勇，
申请(专利权)人：苏州运宏电子有限公司，
类型：发明
国别省市：