下载一种精密防侧蚀的蚀刻区域控制方法的技术资料

文档序号:33996730

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本发明公开一种精密防侧蚀的蚀刻区域控制方法,采用分段处理的方法,设置了第一次丝网印刷、第一次蚀刻、第二次丝网印刷和第二次蚀刻,第一次丝网印刷时暴露边沿线区域并由第一次蚀刻构建边沿蚀刻槽,并在第二次丝网印刷时填充边沿蚀刻槽,使得第二次蚀刻时边...
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