一种可调光学滤波器件制造技术

一种可调光学滤波器件，器件包括设置有第一反射结构(106)的第一衬底(101)和设置有第二反射结构(107)的薄膜(103)，第一衬底(101)和薄膜(103)具有反射结构的表面的外围通过键合物(102)相互键合以在反射结构之间形成腔体，薄膜(103)在腔体一侧的表面设置有压电薄膜结构(108)。可调光学滤波器件，可避免由电容驱动导致的吸合效应，从而提高薄膜(103)的可动范围，使法伯腔的光谱可调范围相应扩大，并可将其应用于尺寸受限的器件上，如微型光谱仪、小型甚至迷你高光谱相机或手机上。小型甚至迷你高光谱相机或手机上。小型甚至迷你高光谱相机或手机上。小型甚至迷你高光谱相机或手机上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭斌，
申请(专利权)人：深圳市海谱纳米光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：