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一种可调光学滤波器件，器件包括设置有第一反射结构(106)的第一衬底(101)和设置有第二反射结构(107)的薄膜(103)，第一衬底(101)和薄膜(103)具有反射结构的表面的外围通过键合物(102)相互键合以在反射结构之间形成腔体，薄...该专利属于深圳市海谱纳米光学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市海谱纳米光学科技有限公司授权不得商用。
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