晶片抛光剂防聚集过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种晶片抛光剂防聚集过滤装置。它解决了现有技术中抛光剂过滤时容易聚集凝结产生结晶的问题。它包括进液滤筒，进液滤筒一端设有装配筒体，另一端连接有分流结构，进液滤筒周向内侧设有转动式过滤结构，且转动式过滤结构连接有设置装配筒体上且能够驱动转动式过滤结构在进液滤筒内进行周向转动的转动联动机构，进液滤筒内设有液体顶压组件，且液体顶压组件周向两侧与进液滤筒之间设有滑动导向机构，液体顶压组件通过设置在装配筒体内的顶压驱动组件驱动。本实用新型专利技术的优点在于：能够有效防止抛光剂在过滤的情况下产生聚集结晶的情况，使用效果好。使用效果好。使用效果好。

Anti aggregation filtering device for wafer polishing agent

【技术实现步骤摘要】
晶片抛光剂防聚集过滤装置


[0001]本技术涉及过滤设备
，具体涉及一种晶片抛光剂防聚集过滤装置。

技术介绍

[0002]蓝宝石是一种氧化铝单晶材料，具有非常高的硬度，是目前 LED行业的普遍采用的衬底材料，用作氮化镓等外延生产的基质以制造蓝光等发光二极管。在进行蓝宝石加工过程中需要利用抛光剂进行抛光处理，以确保蓝宝石晶片的规整性。传统抛光剂分流装置，是通过单一管路的将抛光剂供给至抛光布，抛光剂在抛光布上分布性以及控制性差，影响加工质量，且抛光剂在生产过程中会含有一些杂质，从而导致蓝宝石晶片厚度一致性、平整度、表面质量都比较差；除此之外，在抛光剂进行过滤的过程中，容易产生聚集凝结形成晶体，在进行抛光时容易造成晶片表面粗糙的情况，使用效果不佳。
[0003]为了解决现有技术存在的不足，人们进行了长期的探索，提出了各式各样的解决方案。例如，中国专利文献公开了一种抛光液分流装置[CN201920106425.9]，它包括过滤箱体、进液管、拉环、盖板、第一固定板、第二固定板、滤筒、滤孔、电机、转轴、分流管、控制阀、分流板和喷孔；过滤箱体的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶片抛光剂防聚集过滤装置，包括进液滤筒(1)，所述的进液滤筒(1)一端设有装配筒体(11)，另一端连接有分流结构(2)，其特征在于，所述的进液滤筒(1)周向内侧设有转动式过滤结构(3)，且转动式过滤结构(3)连接有设置装配筒体(11)上且能够驱动转动式过滤结构(3)在进液滤筒(1)内进行周向转动的转动联动机构(4)，所述的进液滤筒(1)内设有液体顶压组件(5)，且液体顶压组件(5)周向两侧与进液滤筒(1)之间设有滑动导向机构(6)，所述的液体顶压组件(5)通过设置在装配筒体(11)内的顶压驱动组件(7)驱动。2.根据权利要求1所述的晶片抛光剂防聚集过滤装置，其特征在于，所述的进液滤筒(1)包括防护外筒体(12)，所述的防护外筒体(12)周向内侧设有过滤内筒体(13)，且过滤内筒体(13)与防护外筒体(12)之间形成导向间隙(14)，所述的过滤内筒体(13)周向内侧形成过滤腔(15)，且防护外筒体(12)设有与过滤腔(15)相互连通的进液管体(16)，所述的进液管体(16)外壁且位于导向间隙(14)内设有第一接近开关(17)，且导向间隙(14)远离进液管体(16)的一端设有第二接近开关(18)。3.根据权利要求2所述的晶片抛光剂防聚集过滤装置，其特征在于，所述的转动式过滤结构(3)包括转动搅拌盘体(31)，所述的转动搅拌盘体(31)一侧设有若干呈垂直设置的搅拌管体(32)，且搅拌管体(32)周向设有若干进液口(33)，所述的转动搅拌盘体(31)内腔中设有滤网(34)，且转动搅拌盘体(31)远离滤网(34)的一侧设有若干等距设置的分流漏斗(35)。4.根据权利要求3所述的晶片抛光剂防聚集过滤装置，其特征在于，所述的过滤内筒体(13)周向内壁设有环形定位凹槽(36)，所述的转动搅拌盘体(31)周向转动定位于环形定位凹槽(36)内从而将过滤腔(15)分割为增压腔(151)和滤液腔(152)。5.根据权利要求4所述的晶片抛光剂防聚集过滤装置，其特征在于，所述的转动联动机构(4)包括固定设置装配筒体(11)周向内侧的转动驱动电机(41)，所述的转动驱动电机(41)通过联动杆体(42)与转动搅拌盘体(31)连接，且进液滤筒(1)一端具有密封定位盖体(19)，所述的密封定位盖体(19)中设有可供联动杆体(42)穿过的穿入孔(191)，且穿入孔(191)一侧且位于联动杆体(42)周向外侧设有密封盘体(192)。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶翔，申博元，庄英贤，
申请(专利权)人：浙江琨澄科技有限公司，
类型：新型
国别省市：