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本实用新型涉及一种晶片抛光剂防聚集过滤装置。它解决了现有技术中抛光剂过滤时容易聚集凝结产生结晶的问题。它包括进液滤筒，进液滤筒一端设有装配筒体，另一端连接有分流结构，进液滤筒周向内侧设有转动式过滤结构，且转动式过滤结构连接有设置装配筒体上且...
该专利属于浙江琨澄科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江琨澄科技有限公司授权不得商用。

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