一种硅片抛光液生产检测系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种硅片抛光液生产检测系统，它解决了抛光液品控效果差等问题，其包括采样筒体，采样筒体连接有抽液组件，采样筒体配备有循环流动组件，采样筒体和循环流动组件分别配备有传感组件，采样筒体连接有排液组件且内部设置有清理组件。本实用新型专利技术具有检测效果好、结构稳定等优点。结构稳定等优点。结构稳定等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片抛光液生产检测系统


[0001]本技术属于抛光液检测
，具体涉及一种硅片抛光液生产检测系统。

技术介绍

[0002]抛光是硅片的最终加工工序，要求抛光表面具有晶格完整性、高的平面度及洁净性。使用械化学抛光法可以获得无加工变质层的表面。为了提高抛光效率，要进行两次抛光。硅片的化学机械抛光过程是以化学反应为主的机械抛光过程，要获得质量好的抛光片，必须使抛光过程中的化学腐蚀作用与机械磨削作用达到一种平衡。如果化学腐蚀作用大于机械抛光作用，则抛光片表面产生腐蚀坑、桔皮状波纹。如果机械磨削作用大于化学腐蚀作用，则表面产生高损伤层。现有的硅片抛光液生成过程中对于抛光液品控存在一些问题。除此之外，抛光液生产过程中存在颗粒杂质，常规的过滤装置过滤效果较差。
[0003]为了解决现有技术存在的不足，人们进行了长期的探索，提出了各式各样的解决方案。例如，中国专利文献公开了一种抛光液过滤装置[201410366212.1]，其本专利技术揭示了一种抛光液过滤装置，包括储液桶、第一阀门、泵、过滤器、颗粒检测器及第三阀门。储液桶储存抛光液原液或回收的抛光液。第一阀门的进液端与储液桶连接。泵的进液端与第一阀门的出液端连接。过滤器的进液端与泵的出液端连接。颗粒检测器的进液端与过滤器的出液端连接。第三阀门的进液端与颗粒检测器的出液端连接，第三阀门的出液端与储液桶连接。
[0004]上述方案在一定程度上解决了抛光液过滤的问题，但是该方案依然存在着诸多不足，例如抛光液品控效果较差等问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是针对上述问题，提供一种设计合理，品控效果好的硅片抛光液生产检测系统。
[0006]为达到上述目的，本技术采用了下列技术方案：一种硅片抛光液生产检测系统，包括采样筒体，采样筒体连接有抽液组件，采样筒体配备有循环流动组件，采样筒体和循环流动组件分别配备有传感组件，采样筒体连接有排液组件且内部设置有清理组件。采样筒体利用传感组件对循环流动组件内部流动的抛光液进行感应，保证采样筒体内部抛光液进行均匀检测，提高了抛光液的品控效果。
[0007]在上述的一种硅片抛光液生产检测系统中，采样筒体内径由上向下逐渐减小，采样筒体上端由盖体封闭且之间设置有密封锁紧组件，盖体上开有透明材质的观察窗。通过观察窗可直接观察采样筒体内部状态，判断抛光液加工状态。
[0008]在上述的一种硅片抛光液生产检测系统中，密封锁紧组件包括设置在采样筒体上端的密封边，盖体下端设置有与密封边外侧贴合压紧的密封凸起，密封边和密封凸起之间设置有密封环，采样筒体上端与盖体之间设置有若干锁扣。密封锁紧组件实现采样筒体完全密封，确保其内部气密性。
[0009]在上述的一种硅片抛光液生产检测系统中，循环流动组件包括与采样筒体连接的循环管路，循环管路具有若干并联的分管路，循环管路连接有循环泵。循环流动组件使得抛光液处于流动状态，与相应的传感组件配合实现抛光液均匀检测。
[0010]在上述的一种硅片抛光液生产检测系统中，传感组件包括设置在分管路内部的黏度传感器，采样筒体内部设置有温度传感器以及光谱分析仪，采样筒体配备有抽样组件。根据需要增设相应的传感器，也可通过抽样组件取样进一步检测，从而提高了抛光液生产良品率。
[0011]在上述的一种硅片抛光液生产检测系统中，抽样组件包括设置在采样筒体上端的抽样口，抽样口内插接有可上下滑动的抽样立柱，抽样立柱下端连接有抽样盘，抽样立柱上端连接有将抽样口封闭的抽样盖。抽样组件在取样过程中仍可以保持采样筒体具有较好的密封性，避免外物侵入。
[0012]在上述的一种硅片抛光液生产检测系统中，抽样口内设置有限制抽样立柱上下滑动的限位架，抽样立柱直径小于抽样口直径，抽样口与抽样盖之间设置有封闭组件。限位架保持抽样立柱沿轴向滑动，其封闭组件将抽样立柱上端与抽样口完全封闭。
[0013]在上述的一种硅片抛光液生产检测系统中，封闭组件包括转动安装在抽样盖外侧的封闭套且封闭套外侧与抽样口内侧贴合，封闭套外侧与抽样口内侧之间设置有滑动插接的限位条和限位槽，抽样盖上端与抽样口上端螺纹连接。封闭组件的抽样盖与封闭套配合实现双重锁紧，保证其接缝处的密封性。
[0014]在上述的一种硅片抛光液生产检测系统中，抽液组件包括与采样筒体连通的单向阀，单向阀连接有抽液管，抽液管与抽压泵连通。抽液组件单向抽液，避免抛光液回流。
[0015]在上述的一种硅片抛光液生产检测系统中，排液组件包括设置在采样筒体下端的排液口，采样筒体连接有气泵，清理组件包括与气泵连通的注液管路。采样筒体内部可增压，将抛光液从下端的排液口排出，配合清理组件将抛光液完全导出。
[0016]与现有的技术相比，本技术的优点在于：抛光液在循环流动的过程中由传感组件进行检测，均匀检测抛光液各参数，提高其品控效果；可对采样筒体内部的抛光液进行抽样检测，进一步提高检测精确度；采样筒体具有较好的密封性，有效阻止外部污染；通过抛光液生产检测，提升了产品良品率，进而提高了抛光液的使用寿命。
附图说明
[0017]图1是本技术的结构示意图；
[0018]图2是本技术的采样筒体的结构示意图；
[0019]图3是本技术的盖体的结构示意图；
[0020]图4是本技术的抽样立柱的结构示意图；
[0021]图5是本技术的局部剖视图；
[0022]图中，采样筒体1、盖体11、观察窗12、抽液组件2、单向阀21、抽液管22、循环流动组件3、循环管路31、分管路32、循环泵33、传感组件4、排液组件5、排液口51、气泵52、注液管路53、清理组件6、密封锁紧组件7、密封边71、密封凸起72、密封环73、锁扣74、抽样组件8、抽样口81、抽样立柱82、抽样盘83、抽样盖84、限位架85、封闭组件9、封闭套91、限位条92、限位槽93。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和具体实施方式对本技术做进一步详细的说明。
[0024]如图1
‑
5所示，本硅片抛光液生产检测系统，包括采样筒体1，采样筒体1连接有抽液组件2，采样筒体1配备有循环流动组件3，采样筒体1和循环流动组件3分别配备有传感组件4，采样筒体1连接有排液组件5且内部设置有清理组件6。采样筒体1与抛光液生成线连接，抛光液导入采样筒体1内后，循环流动组件3带动其内部抛光液进行循环流动，在流动过程中传感组件4采集抛光液粘稠度等参数，在检测过程中采样筒体1始终保持密封状态。
[0025]具体地，采样筒体1内径由上向下逐渐减小，采样筒体1上端由盖体11封闭且之间设置有密封锁紧组件7，盖体11上开有透明材质的观察窗12。操作人员通过观察窗12观察采样筒体1内部状态，盖体11通过密封锁紧组件7将采样筒体1上端开口完全封闭。
[0026]深入地，密封锁紧组件7包括设置在采样筒体1上端的密封边71，盖体11下端设置有与密封边71外侧贴合压紧的密封凸起72，密封边71和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片抛光液生产检测系统，包括采样筒体(1)，所述的采样筒体(1)连接有抽液组件(2)，其特征在于，所述的采样筒体(1)配备有循环流动组件(3)，所述的采样筒体(1)和循环流动组件(3)分别配备有传感组件(4)，所述的采样筒体(1)连接有排液组件(5)且内部设置有清理组件(6)。2.根据权利要求1所述的一种硅片抛光液生产检测系统，其特征在于，所述的采样筒体(1)内径由上向下逐渐减小，所述的采样筒体(1)上端由盖体(11)封闭且之间设置有密封锁紧组件(7)，所述的盖体(11)上开有透明材质的观察窗(12)。3.根据权利要求2所述的一种硅片抛光液生产检测系统，其特征在于，所述的密封锁紧组件(7)包括设置在采样筒体(1)上端的密封边(71)，所述的盖体(11)下端设置有与密封边(71)外侧贴合压紧的密封凸起(72)，所述的密封边(71)和密封凸起(72)之间设置有密封环(73)，所述的采样筒体(1)上端与盖体(11)之间设置有若干锁扣(74)。4.根据权利要求1所述的一种硅片抛光液生产检测系统，其特征在于，所述的循环流动组件(3)包括与采样筒体(1)连接的循环管路(31)，所述的循环管路(31)具有若干并联的分管路(32)，所述的循环管路(31)连接有循环泵(33)。5.根据权利要求4所述的一种硅片抛光液生产检测系统，其特征在于，所述的传感组件(4)包括设置在分管路(32)内部的黏度传感器，所述的采样筒体(1)内部设置有温度传感器以及光谱分析仪，所述的采样筒体(1)配备有抽样组件(8)。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶翔，申博元，陈苏兰，
申请(专利权)人：浙江琨澄科技有限公司，
类型：新型
国别省市：