边缘夹持的晶圆翻转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种边缘夹持的晶圆翻转装置，包括载台、支撑柱、转动组件、旋转元件以及两个第一夹持元件。支撑柱设置于载台上且包括第一柱及第二柱。转动组件组设于第一柱上且包括转轮。旋转元件枢接于转轮与第二柱，其中旋转元件包括第一基座及第二基座。两个第一夹持元件设置于旋转元件上，且包括第一上夹持片及第一下夹持片，第一上夹持片与第一下夹持片对应设置且是以电动控制。因此，本实用新型专利技术的边缘夹持的晶圆翻转装置在晶圆存在变形或翘曲下依旧可稳固、安全的夹持晶圆并进行翻转。转。转。

Wafer turnover device with edge clamping

【技术实现步骤摘要】
边缘夹持的晶圆翻转装置


[0001]本技术是关于边缘夹持的晶圆翻转装置，特别是一种适用于变形晶圆的边缘夹持的晶圆翻转装置。

技术介绍

[0002]在半导体制程中，需要对晶圆进行多道制程处理。依据不同的制程需要，晶圆可能需配合进行180度翻转。现有的晶圆翻转装置是以传统吸盘式或夹持式装置翻转晶圆。然而，由于晶圆经多道制程处理后可能产生变形或翘曲，在晶圆存在微量变形或翘曲(小于2mm)的情况下，现有的传统吸盘式或夹持式装置无法稳固、安全的夹持、传输晶圆，更无法对晶圆进行翻转。
[0003]因此，需要一种可以解决上述问题的晶圆的边缘夹持的晶圆翻转装置，经过研究实验完成本技术。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的是在提供一种边缘夹持的晶圆翻转装置，其可稳固、安全的夹持、传输晶圆，并对晶圆进行翻转，即使在晶圆存在严重变形或翘曲(小于10mm)的情况下，依旧能够对晶圆进行翻转。
[0005]为达成上述目的，本技术的边缘夹持的晶圆翻转装置包括载台、支撑柱、转动组件、旋转元件以及两个第一夹持元件。其中支撑柱设置于载台上且包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种边缘夹持的晶圆翻转装置，其特征在于，包括：载台；支撑柱，设置于该载台上且包括第一柱及第二柱，其中该第一柱与该第二柱对应设置；转动组件，组设于该第一柱上且包括转轮；旋转元件，枢接于该转轮与该第二柱，其中该旋转元件包括第一基座及第二基座；以及两个第一夹持元件，分别设置于该第一基座的第一表面与该第二基座的第二表面上，其中该第一夹持元件包括第一上夹持片及第一下夹持片，该第一上夹持片与该第一下夹持片对应设置且是以电动控制。2.如权利要求1所述的边缘夹持的晶圆翻转装置，其特征在于，还包括两个第二夹持元件，分别设置于该第一基座的第三表面与该第二基座的第四表面上...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄宗闵，吴俊贤，彭成斌，柯宏坤，
申请(专利权)人：台湾富创得工程股份有限公司，
类型：新型
国别省市：