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本实用新型公开了一种边缘夹持的晶圆翻转装置，包括载台、支撑柱、转动组件、旋转元件以及两个第一夹持元件。支撑柱设置于载台上且包括第一柱及第二柱。转动组件组设于第一柱上且包括转轮。旋转元件枢接于转轮与第二柱，其中旋转元件包括第一基座及第二基座。...
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