一种巨量转移装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种巨量转移装置，涉及巨量转移技术领域。巨量转移装置包括：暂存基板；转移件，转移件包括条形基座和转移凸块，转移凸块为多个，多个转移凸块间隔设置在条形基座上，用于转移待转移件，转移件为多个，各转移件的转移凸块的数量和设置位置均不同；转移件通过条形基座与暂存基板可拆卸地连接。本实用新型专利技术解决了现有技术中巨量转移效率较低的问题。型解决了现有技术中巨量转移效率较低的问题。型解决了现有技术中巨量转移效率较低的问题。

A massive transfer device

【技术实现步骤摘要】
一种巨量转移装置


[0001]本技术涉及巨量转移
，尤其涉及一种巨量转移装置。

技术介绍

[0002]Micro
‑
LED作为新一代显示技术，相比于LCD、OLED技术，其亮度更高、发光效率更好、同时具有低功耗和长寿命的性能。
[0003]在Micro
‑
LED制备工艺流程过程中，巨量转移是技术突破关键点之一。但是，现有的众多巨量转移技术均缺乏选择性，无法有针对性地进行巨量转移，当出现坏点芯片时，无法在巨量转移时或者之前有针对性地避开坏点芯片，只能在巨量转移之后进行坏点芯片的剔除和修补，大大增加了巨量转移的制程，同时增加了成本，影响了巨量转移效率。
[0004]因此，如何提高巨量转移效率是亟需解决的问题。

技术实现思路

[0005]鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种巨量转移装置，旨在解决现有技术中巨量转移效率较低的问题。
[0006]一种巨量转移装置，包括：暂存基板；转移件，转移件包括条形基座和转移凸块，转移凸块为多个，多个转移凸块间隔设置在条形基座上，用于转移待转移件，转移件为多个，各转移件的转移凸块的数量和设置位置均不同；转移件通过条形基座与暂存基板可拆卸地连接。
[0007]上述通过设置暂存基板和转移件，转移件与暂存基板可拆卸地连接，转移件包括条形基座和转移凸块，转移凸块为多个，多个转移凸块间隔设置在条形基座上，用于转移待转移件，转移件为多个，各转移件的转移凸块的数量和设置位置均不同，这样能够根据待转移件的坏点位置和数量有针对性地选择具有相应的设置位置和数量的转移凸块的转移件，来对待转移件进行巨量转移，从而避免对坏点进行拾取和转移，此外，在巨量转移修补工艺中，根据所需修补的位置和数量有针对性地选择具有相应的设置位置和数量的转移凸块的转移件，从而有选择性地快速完成修补，简化了巨量转移和修补制程，同时减少了转移成本，大大提高了巨量转移效率，解决了现有技术中巨量转移效率较低的问题。
[0008]可选地，暂存基板开设有条形凹槽，条形基座的至少一部分容置在条形凹槽内。通过设置条形凹槽并使条形基座的至少一部分容置在条形凹槽内，使得转移件与暂存基板的连接形式简单，且易于更换，从而减少更换转移件所需要的时间，符合要求的转移件能够被快速地选择和安装，从而提高巨量转移效率。
[0009]可选地，条形凹槽为多个，多个条形凹槽间隔设置。通过上述设置，暂存基板能够对更多的待转移件同时进行巨量转移，从而提高巨量转移效率。
[0010]可选地，条形基座的高度与条形凹槽的深度相同。通过上述设置，使得转移件嵌入条形凹槽内后，条形基座的上表面与暂存基板的上表面平齐，转移凸块恰好突出于条形凹槽之上，从而保证对待转移件的正常拾取和转移。
[0011]可选地，条形基座的宽度与条形凹槽的宽度相同。通过上述设置，使得转移件能够恰好地嵌入条形凹槽并稳定地固定在条形凹槽内，从而提高转移件与暂存基板之间的连接稳定性，更稳定地对待转移件进行拾取和转移。
[0012]可选地，转移凸块的顶面形状与待转移件的形状相适配。通过上述设置，转移凸块能够顺利地对待转移件进行拾取，避免待转移件脱落，从而保证巨量转移的正常进行。
[0013]可选地，巨量转移装置还包括检测组件，用于对待转移件进行坏点检测。通过设置检测组件，能够检测出待转移件中的坏点，根据待转移件的坏点位置和数量有针对性地选择具有相应的设置位置和数量的转移凸块的转移件，来对待转移件进行巨量转移，从而避免对坏点进行拾取和转移，此外，在巨量转移修补工艺中，根据所需修补的位置和数量有针对性地选择具有相应的设置位置和数量的转移凸块的转移件，从而有选择性地快速完成修补，简化巨量转移和修补制程，同时减少转移成本，进而提高巨量转移效率。
[0014]可选地，巨量转移装置还包括加热组件，用于对待转移件进行加热。通过设置加热组件对待转移件进行加热，加速待转移件转移至背板后以及修补工艺中与背板的键合，从而顺利完成巨量转移。
[0015]可选地，转移件由胶材制成。通过上述设置，使得转移件具有一定的粘性和弹性，便于对待转移件进行拾取同时避免对待转移件造成损伤，从而保证巨量转移的正常进行。
[0016]可选地，暂存基板由蓝宝石或石英玻璃制成。通过上述设置，使得暂存基板具有较高的硬度以防止发生形变，使得转移件嵌入条形凹槽后具有较好的稳定性，从而提高转移件与暂存基板之间的连接稳定性，更稳定地对待转移件进行拾取和转移。
附图说明
[0017]图1为根据本技术一种实施例中的转移件的结构示意图；
[0018]图2为根据本技术一种实施例中的暂存基板的一个角度的结构示意图；
[0019]图3为根据本技术一种实施例中的暂存基板的另一个角度的结构示意图；
[0020]图4为根据本技术一种实施例中的巨量转移装置的结构示意图；
[0021]图5为根据本技术一种实施例中的剥离待转移件的示意图；
[0022]图6为根据本技术一种实施例中的选择性巨量转移的示意图；
[0023]图7为根据本技术一种实施例中的修补工艺的示意图。
[0024]附图标记说明：
[0025]10
‑
暂存基板；11
‑
条形凹槽；20
‑
转移件；21
‑
条形基座；22
‑
转移凸块；30
‑
待转移件；40
‑
生长基板；50
‑
胶层；60
‑
载板；70
‑
背板。
具体实施方式
[0026]为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施方式。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更加透彻全面。
[0027]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具
体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。
[0028]正如
技术介绍
部分所描述的，现有技术中存在巨量转移效率较低的问题。
[0029]基于此，本申请希望提供一种能够解决上述技术问题的方案，其详细内容将在后续实施例中得以阐述。如图1至图4所示，巨量转移装置包括暂存基板10和转移件20。转移件20与暂存基板10可拆卸地连接，转移件20包括条形基座21和转移凸块22，转移凸块22为多个，多个转移凸块22间隔设置在条形基座21上，用于转移待转移件30，转移件20为多个，各转移件20的转移凸块22的数量和设置位置均不同。
[0030]上述通过设置暂存基板10和转移件20，转移件20与暂存基板10可拆卸地连接，转移件20包括条形基座21和转移凸块2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种巨量转移装置，其特征在于，包括：暂存基板(10)；转移件(20)，所述转移件(20)包括条形基座(21)和转移凸块(22)，所述转移凸块(22)为多个，多个所述转移凸块(22)间隔设置在所述条形基座(21)上，用于转移待转移件(30)，所述转移件(20)为多个，各所述转移件(20)的所述转移凸块(22)的数量和设置位置均不同；所述转移件(20)通过所述条形基座(21)与所述暂存基板(10)可拆卸地连接。2.如权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述暂存基板(10)开设有条形凹槽(11)，所述条形基座(21)的至少一部分容置在所述条形凹槽(11)内。3.如权利要求2所述的巨量转移装置，其特征在于，所述条形凹槽(11)为多个，多个所述条形凹槽(11)间隔设置。4.如权利要求2所述的巨量转移装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪庆，萧俊龙，王斌，范春林，詹蕊绮，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：