制造显示装置的方法制造方法及图纸

根据本发明专利技术的实施方式的用于制造显示装置的方法包括：将上面形成有多个第一LED、多个对准键和基准构件的第一晶圆与供给基板对准的步骤；将第一晶圆上的多个第一LED和基准构件转移到供给基板上的步骤；以及基于基准构件将上面形成有多个第二LED的第二晶圆与供给基板对准的步骤。因此，基于与多个第一LED保持恒定距离的基准构件，能够精确对准第二晶圆上的多个第二LED和供给基板上的多个第一LED之间的相对位置。的相对位置。的相对位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】制造显示装置的方法


[0001]本公开涉及显示装置的制造方法，更具体地，涉及提高了多个LED的对准精度的显示装置的制造方法。

技术介绍

[0002]用于计算机监视器、TV、移动电话等的显示装置包括自身发光的有机发光显示(OLED)装置、需要单独光源的液晶显示(LCD)装置等。
[0003]随着显示装置已经越来越多地应用于诸如计算机监视器、TV和个人移动装置之类的各种领域，已经研究显示面积大且体积和重量减小的显示装置。
[0004]此外，近年来，包括LED的显示装置作为下一代显示装置已经备受关注。LED可以包括无机材料而不包括有机材料，因此可以比液晶显示装置或有机发光显示装置具有优异的可靠性和更长的寿命。此外，LED可以具有快速的发光速度以及优异的发光效率、优异的抗冲击性、优异的稳定性以及显示高亮度图像的能力。

技术实现思路

[0005]技术问题
[0006]本公开旨在提供显示装置的制造方法，其在将多个LED从晶圆转移到供给基板的一次转移工序和将多个LED从供给基板转移到显示面板的二次转移工序中提高了多个LED的对准精度。
[0007]此外，本公开旨在提供在不限于多个LED的尺寸的情况下提高多个LED的对准精度的显示装置的制造方法。
[0008]此外，本公开旨在提供具有高分辨率的显示装置的制造方法。
[0009]此外，本公开旨在提供通过在一次转移工序期间简化对准键的转移工序而减少工序时间和成本的显示装置的制造方法。
[0010]此外，本公开旨在提供显示装置的制造方法，该方法通过缩短其中分别对应于多个子像素的红LED、绿LED和蓝LED一次转移到显示面板的二次转移工序来减少工序时间和成本。
[0011]此外，本公开旨在提供通过简化一次转移工序和二次转移工序以及精确地对准多个LED来提高生产率和产量的显示装置的制造方法。
[0012]本公开的目的不限于以上提及的目的，本领域技术人员通过以下描述可以清楚地理解以上未提及的其它目的。
[0013]技术方案
[0014]本公开的一个方面提供了一种显示装置的制造方法，其包括：将上面设置有多个第一LED、多个对准键和基准构件的第一晶圆与供给基板对准的工序；将第一晶圆上的多个第一LED和基准构件转移到供给基板的工序；以及基于基准构件将上面设置有多个第二LED的第二晶圆与供给基板对准的工序。因此，可以基于与多个第一LED保持预定间隔的基准构
件精确对准第二晶圆的多个第二LED和供给基板的多个第一LED之间的相对位置。
[0015]本公开的另一方面提供了一种显示装置的制造方法，其包括：将上面设置有基准构件和多个第一LED的第一晶圆与供给基板对准的工序；将第一晶圆的多个第一LED和基准构件转移到供给基板的工序；基于转移到供给基板上的基准构件，将上面设置有多个第二LED的第二晶圆与供给基板对准的工序；将第二晶圆的多个第二LED转移到供给基板的工序；基于转移到供给基板上的基准构件，将上面设置有多个第三LED的第三晶圆与供给基板对准的工序；以及将第三晶圆的多个第三LED转移到供给基板的工序。因此，通过基于首先转移到供给基板上的基准构件对准第二晶圆和第三晶圆，可以最小化由工序中的对准误差引起的多个LED的对准精度降低。
[0016]示例性实施方式的其它详细内容包括在详细描述和附图中。
[0017]技术效果
[0018]根据本公开，在第一次转移期间对准多个LED的相对位置。因此，能够精确地对准多个LED之间的间隔，使得多个LED分别对应于多个子像素。
[0019]根据本公开，能够容易地对准多个微型LED。
[0020]根据本公开，能够最小化在转移多个LED期间由工序中的对准误差引起的产量降低。
[0021]根据本公开，能够容易地制造具有高分辨率的显示装置。
[0022]根据本公开，缩短了一次转移工序和二次转移工序。因此，能够减少制造显示装置的工序时间和成本并且能够提高生产率。
[0023]根据本公开的效果不限于以上例示的内容，并且本说明书中包括更多的各种效果。
附图说明
[0024]图1是根据本公开的示例性实施方式的显示装置的平面图。
[0025]图2是根据本公开的示例性实施方式的显示装置的多个像素的示意性平面图。
[0026]图3是根据本公开的示例性实施方式的显示装置的多个子像素的示意性截面图。
[0027]图4是用于说明根据本公开的示例性实施方式的显示装置的制造方法的工序流程图。
[0028]图5a至图5l是用于说明根据本公开的示例性实施方式的显示装置的制造方法的示意性工序图。
[0029]图6是用于说明根据本公开的示例性实施方式的显示装置的制造方法的工序流程图。
[0030]图7是用于说明根据本公开的示例性实施方式的显示装置的制造方法的示意性工序图。
[0031]图8和图9是用于说明根据对照实施方式的显示装置的制造方法中的对准误差范围的图。
[0032]图10和图11是用于说明根据示例性实施方式的显示装置的制造方法中的对准误差范围的图。
[0033]图12a至图12e是用于说明根据本公开的另一示例性实施方式的显示装置的制造
方法的工序流程图。
[0034]图13是用于说明根据本公开的另一示例性实施方式的显示装置的制造方法的工序流程图。
具体实施方式
[0035]本公开的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法将通过参考以下结合附图详细描述的示例性实施方式而变得清楚。然而，本公开不限于本文公开的示例性实施方式，而是将以各种形式实施。这些示例性实施方式仅以示例的方式提供，以便本领域技术人员能够充分理解本公开的公开内容和本公开的范围。因此，本公开将仅由所附权利要求的范围限定。
[0036]在附图中例示的用于描述本公开的示例性实施方式的形状、尺寸、比率、角度、数量等仅仅是示例，并且本公开不限于此。贯穿说明书，相似的附图标记通常指代相似的元件。此外，在本公开的以下描述中，可以省略对已知相关技术的详细解释以避免不必要地掩盖本公开的主题。本文使用的诸如“包括”、“具有”和“由
…
组成”之类的术语通常旨在允许添加其它部件，除非这些术语与术语“仅”一起使用。除非另有明确提及，否则对单数的任何引用可以包括复数。
[0037]即使没有明确提及，组件也被解释为包括普通误差范围。
[0038]当使用诸如“上”、“上方”、“下”和“挨着”之类的术语来描述两个部件之间的位置关系时，除非这些术语与术语“紧接着”或“直接”一起使用，否则一个或更多个部件可以位于两个部件之间。
[0039]当元件或层设置在另一元件或层“上”时，另一层或另一元件可以直接插置于其它元件上或它们之间。
[0040]尽管术语“第一”、“第二”等用于描述各种组件，但这些组件不受这些术语的约束。这些术语仅用于将一个组件与其它组件区分开来。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种显示装置的制造方法，该显示装置的制造方法包括以下步骤：将其上设置有多个第一LED、多个对准键和基准构件的第一晶圆与供给基板对准的工序；将所述第一晶圆上的所述多个第一LED和所述基准构件转移到所述供给基板的工序；以及基于所述基准构件将其上设置有多个第二LED的第二晶圆与所述供给基板对准的工序。2.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，在将所述第一晶圆与所述供给基板对准的工序中，基于所述第一晶圆的所述多个对准键当中的第一对准键和所述供给基板的第一对准突出部，将所述第一晶圆与所述供给基板对准。3.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，该显示装置的制造方法还包括以下步骤：将所述第二晶圆上的所述多个第二LED转移到其上设置有所述多个第一LED的所述供给基板的工序；基于所述基准构件将其上设置有多个第三LED的第三晶圆与所述供给基板对准的工序；以及将所述第三晶圆上的所述多个第三LED转移到其上设置有所述多个第一LED和所述多个第二LED的所述供给基板的工序。4.根据权利要求3所述的显示装置的制造方法，该显示装置的制造方法还包括以下步骤：在将所述多个第二LED转移到所述供给基板的工序之前，将基于所述基准构件与所述供给基板对准的所述第二晶圆平移的工序；以及在将所述多个第三LED转移到所述供给基板的工序之前，将基于所述基准构件与所述供给基板对准的所述第三晶圆平移的工序。5.根据权利要求4所述的显示装置的制造方法，其中，设置在所述供给基板上的所述多个第一LED、所述多个第二LED和所述多个第三LED以第一间隔设置。6.根据权利要求4所述的显示装置的制造方法，其中，所述第二晶圆平移第一间隔并且所述第三晶圆在与所述第二晶圆的平移方向相同的方向上平移第二间隔，所述第二间隔大于所述第一间隔，并且在所述供给基板上，所述多个第二LED分别被转移到所述多个第一LED的一侧，并且所述多个第三LED分别转移到所述多个第二LED的一侧。7.根据权利要求4所述的显示装置的制造方法，其中，所述第二晶圆被平移第一间隔，并且所述第三晶圆在与所述第二晶圆的平移方向相反的方向上平移所述第一间隔，并且在所述供给基板上，所述多个第二LED分别转移到所述多个第一LED的一侧，并且所述多个第三LED分别转移到所述多个第一LED的另一侧。8.根据权利要求3所述的显示装置的制造方法，该显示装置的制造方法还包括以下步骤：基于所述基准构件将其上设置有所述多个第一LED、所述多个第二LED和所述多个第三LED的所述供给基板与显示面板对准的工序；以及
将设置在所述供给基板上的所述多个第一LED、所述多个第二LED和所述多个第三LED转移到所述显示面板的工序。9.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，所述基准构件是被转移到所述供给基板上的所述多个第一LED中的至少一个。10.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，所述基准构件是设置在所述第一晶圆上的所述多个对准键当中的、与所述多个第一LED一起转移到所述供给基板的第二对准键。11.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：安忠焕，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：