本实用新型专利技术涉及PVT法晶体生长技术领域，具体涉及一种新型长晶炉电磁发生装置，包括导磁体模块以及缠绕在导磁体模块上的电磁线圈，所述导磁体模块包括第一导磁体模块、第二导磁体模块、第三导磁体模块，所述电磁线圈包括线圈A、线圈B、线圈C，所述线圈A缠绕于第一导磁体模块，所述线圈B缠绕于第二导磁体模块，所述线圈C缠绕于第三导磁体模块，所述第一导磁体模块、第二导磁体模块、第三导磁体模块之间设有绝缘层，所述第一导磁体模块、第二导磁体模块、第三导磁体模块尾部设有隔热耐热层，本实用新型专利技术更加精准的控制热场径向温度梯度，和改善轴向温度梯度。向温度梯度。向温度梯度。
【技术实现步骤摘要】
一种新型长晶炉电磁发生装置
[0001]本技术涉及PVT法晶体生长
，具体涉及一种新型长晶炉电磁发生装置。
技术介绍
[0002]PVT法晶体生长技术是针对某些高熔点，低溶解度等特殊性质，使得以液相法生长难以实现，因此以气相为母相或传输介质，实现晶体的生长方法；目前长晶技术感应加热方式为主流加热方式，感应加热为感应线圈加热。即通过铜管旋绕的方式形成电磁发生装置，通过设定线圈间距，线圈直径，调节通过线圈电流，设定通过电流频率来控制加热功率，加热温度，轴向温度梯度以及径向温度梯度；当前长晶炉包含真空腔体，真空腔体等冷却系统，电磁加热系统，气压控制系统，物料传送系统等组成。通过对感应线圈通过电流，在线圈区域根据法拉第电磁感应定律产生高频磁力线，高频磁力线穿过在磁力线内部的导体激发自由电子，自由电子受磁力线作用形成涡流运动，导体材料被加热到指定的温度。
[0003]当前线圈产生磁力线激发磁力线区域自由电子的方式可控制因素过少，在设备成型之后唯一可调整的参数即为电流电压等参数。对长晶过程中影响较大的轴向温度梯度和径向温度梯度的改变几乎没有办法可调整，因磁力线密度以及强度对加热效果的影响，产品效果对电磁线圈的一致性，精确度要求非常高。在加热过程中，线圈位置的调整能够决定晶体生长的好坏。
技术实现思路
[0004]为解决上述问题，本技术提出一种新型长晶炉电磁发生装置。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0006]本技术提供了一种新型长晶炉电磁发生装置，包括导磁体模块以及缠绕在导磁体模块上的电磁线圈，所述导磁体模块包括第一导磁体模块、第二导磁体模块、第三导磁体模块，所述电磁线圈包括线圈A、线圈B、线圈C，所述线圈A缠绕于第一导磁体模块，所述线圈B缠绕于第二导磁体模块，所述线圈C缠绕于第三导磁体模块，所述第一导磁体模块、第二导磁体模块、第三导磁体模块之间设有绝缘层，所述第一导磁体模块、第二导磁体模块、第三导磁体模块尾部设有隔热耐热层。
[0007]优选的，所述第二导磁体模块设置上下两层，所述第一导磁体模块设于上下两层第二导磁体模块之间，所述第三导磁体模块设置上下两层，且位于上层第二导磁体模块和下层第二导磁体模块的外侧。
[0008]优选的，所述第一导磁体模块、第二导磁体模块、第三导磁体模块均采用铁氧体导磁。
[0009]本技术的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
[0010]本技术更加精准的控制热场径向温度梯度，和改善轴向温度梯度。
附图说明
[0011]图1为本技术结构示意图。
具体实施方式
[0012]为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和附图，进一步阐述本技术，但下述实施例仅仅为本技术的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本技术的保护范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。
[0013]参考图1。
[0014]本技术提供了一种新型长晶炉电磁发生装置，包括导磁体模块以及缠绕在导磁体模块上的电磁线圈，所述导磁体模块包括第一导磁体模块11、第二导磁体模块12、第三导磁体模块13，所述电磁线圈包括线圈A21、线圈B22、线圈C23，所述线圈A21缠绕于第一导磁体模块11，所述线圈B22缠绕于第二导磁体模块12，所述线圈C23缠绕于第三导磁体模块13，所述第一导磁体模块11、第二导磁体模块12、第三导磁体模块13之间设有绝缘层4，所述第一导磁体模块11、第二导磁体模块12、第三导磁体模块13尾部设有隔热耐热层3。所述第二导磁体模块12设置上下两层，所述第一导磁体模块11设于上下两层第二导磁体模块12之间，所述第三导磁体模块13设置上下两层，且位于上层第二导磁体模块和下层第二导磁体模块的外侧。
[0015]改变电磁加热方式，通过被加热单元上下部分导磁材料固定成型的方式，使电磁线按照预想的方向集中发射。根据导磁材料(即第一导磁体模块11、第二导磁体模块12、第三导磁体模块13)受到电磁环绕电流的大小，调整电磁磁力线(即电磁线圈)的密度，设定不同层数的导磁体模块，根据调整电磁磁力线密度方式调整热场径向温度梯度，不需要设计热场结构即可完成径向温度梯度的调整。
[0016]对加热体上下两层都加以导磁体模块，通过调整上下部分产生电磁线圈电流调节上下导磁体模块电磁线密度差，可以调整轴向温度梯度。
[0017]具体的，所述第一导磁体模块11、第二导磁体模块12、第三导磁体模块13均采用铁氧体导磁。铁氧体导磁尾部使用隔热材料进行保护，电磁发射机构对应热场距离可调节，电磁线圈通过功率发生器调节通过电磁线圈的电流，频率。根据热场径向温度需求，对各个电磁线圈的电流进行调节，调整被加热坩埚的径向温度梯度。
[0018]以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本技术的优选例，并不用来限制本技术，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型长晶炉电磁发生装置，其特征在于，包括导磁体模块以及缠绕在导磁体模块上的电磁线圈，所述导磁体模块包括第一导磁体模块(11)、第二导磁体模块(12)、第三导磁体模块(13)，所述电磁线圈包括线圈A(21)、线圈B(22)、线圈C(23)，所述线圈A(21)缠绕于第一导磁体模块(11)，所述线圈B(22)缠绕于第二导磁体模块(12)，所述线圈C(23)缠绕于第三导磁体模块(13)，所述第一导磁体模块(11)、第二导磁体模块(12)、第三导磁体模块(13)之间设有绝缘层(4)，所述第一导磁体模块(11...
【专利技术属性】
技术研发人员：于文明，张小刚，王胜亚，何小三，王保生，
申请(专利权)人：江苏芯恒惟业电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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