【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅制造设备,具体是涉及一种长晶炉坩埚的支撑装置。
技术介绍
1、长晶炉在使用过程中需要经受长时间的高温,这种情况下多次使用后长晶炉的立柱会容易产生变形等情况,当出现这类情况的时候坩埚就很容易发生翻倒,长晶炉内部的钨托盘有时会需要旋转,通常的坩埚与钨托盘连接方式不够牢固,在钨托盘旋转时可能发生松动,影响产品质量。
2、长晶炉多次长晶后,因为高温热场内部会发生少量热变形,一旦出现热变形,容易出现长晶炉坩埚倾斜的现象,所以会对长晶炉坩埚的稳定性造成一定的影响的缺点,难以得到推广应用,因此,需要提供一种长晶炉坩埚的支撑装置,旨在解决上述问题。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足,本技术实施例的目的在于提供一种长晶炉坩埚的支撑装置,以解决上述
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
3、一种长晶炉坩埚的支撑装置,包括:
4、底座,所述底座上安装有长晶炉坩埚本体,且长晶炉坩埚本体表面安装有加热件;
5、支撑单元,安装在底座上,和长晶炉坩埚本体连接,用于对长晶炉坩埚本体进行支撑;
6、旋转单元,转动连接在底座上,和长晶炉坩埚本体连接,用于带动长晶炉坩埚本体在支撑单元上进行旋转;
7、调节单元,滑动连接在底座上,和旋转单元连接,用于带动旋转单元进行旋转。
8、本技术实施例与现有技术相比具有以下有益效果:
9、本技术通过设置支撑单元,安装在底座上,和
10、在对长晶炉坩埚本体进行安装时,通过将长晶炉坩埚本体放置在底座上,使得长晶炉坩埚本体和底座可以在支撑单元的作用下进行固定。当长晶炉坩埚本体在长时间使用后发生倾斜时,向外拉动调节单元,所述调节单元可以推动旋转单元进行旋转,进而使得旋转单元可以带动长晶炉坩埚本体的放置角度进行微调,防止了长晶炉坩埚本体在长时间使用后发生倾斜现象,提高了长晶炉坩埚本体在长时间中使用时的稳定性。
11、为更清楚地阐述本技术的结构特征和功效,下面结合附图与具体实施例来对本技术进行详细说明。
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1.一种长晶炉坩埚的支撑装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的长晶炉坩埚的支撑装置,其特征在于,所述支撑单元包括:
3.根据权利要求2所述的长晶炉坩埚的支撑装置,其特征在于,所述旋转单元包括:
4.根据权利要求3所述的长晶炉坩埚的支撑装置,其特征在于,所述调节单元包括:
5.根据权利要求4所述的长晶炉坩埚的支撑装置,其特征在于,所述凹孔的两端分别开设有第一斜槽和第二斜槽。
【技术特征摘要】
1.一种长晶炉坩埚的支撑装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的长晶炉坩埚的支撑装置,其特征在于,所述支撑单元包括:
3.根据权利要求2所述的长晶炉坩埚的支撑装置,其特征在于,所述旋转...
【专利技术属性】
技术研发人员:张小刚,王胜亚,于文明,何小三,王保生,
申请(专利权)人:江苏芯恒惟业电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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