一种长晶炉坩埚的支撑装置制造方法及图纸

本技术公开了一种长晶炉坩埚的支撑装置，属于碳化硅制造设备技术领域，其技术要点是：包括支撑单元，安装在底座上，和长晶炉坩埚本体连接；旋转单元，转动连接在底座上，和长晶炉坩埚本体连接；调节单元，滑动连接在底座上，和旋转单元连接。在对长晶炉坩埚本体进行安装时，通过将长晶炉坩埚本体放置在底座上，使得长晶炉坩埚本体和底座可以在支撑单元的作用下进行固定。当长晶炉坩埚本体在长时间使用后发生倾斜时，向外拉动调节单元，调节单元可以推动旋转单元进行旋转，进而使得旋转单元可以带动长晶炉坩埚本体的放置角度进行微调，防止了长晶炉坩埚本体在长时间使用后发生倾斜现象，提高了长晶炉坩埚本体在长时间中使用时的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及碳化硅制造设备，具体是涉及一种长晶炉坩埚的支撑装置。

技术介绍

1、长晶炉在使用过程中需要经受长时间的高温，这种情况下多次使用后长晶炉的立柱会容易产生变形等情况，当出现这类情况的时候坩埚就很容易发生翻倒，长晶炉内部的钨托盘有时会需要旋转，通常的坩埚与钨托盘连接方式不够牢固，在钨托盘旋转时可能发生松动，影响产品质量。

2、长晶炉多次长晶后，因为高温热场内部会发生少量热变形，一旦出现热变形，容易出现长晶炉坩埚倾斜的现象，所以会对长晶炉坩埚的稳定性造成一定的影响的缺点，难以得到推广应用，因此，需要提供一种长晶炉坩埚的支撑装置，旨在解决上述问题。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本技术实施例的目的在于提供一种长晶炉坩埚的支撑装置，以解决上述
技术介绍
中的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种长晶炉坩埚的支撑装置，包括：

4、底座，所述底座上安装有长晶炉坩埚本体，且长晶炉坩埚本体表面安装有加热件；

5、支撑单元，安装在本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种长晶炉坩埚的支撑装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的长晶炉坩埚的支撑装置，其特征在于，所述支撑单元包括：

3.根据权利要求2所述的长晶炉坩埚的支撑装置，其特征在于，所述旋转单元包括：

4.根据权利要求3所述的长晶炉坩埚的支撑装置，其特征在于，所述调节单元包括：

5.根据权利要求4所述的长晶炉坩埚的支撑装置，其特征在于，所述凹孔的两端分别开设有第一斜槽和第二斜槽。

【技术特征摘要】

1.一种长晶炉坩埚的支撑装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的长晶炉坩埚的支撑装置，其特征在于，所述支撑单元包括：

3.根据权利要求2所述的长晶炉坩埚的支撑装置，其特征在于，所述旋转...

【专利技术属性】
技术研发人员：张小刚，王胜亚，于文明，何小三，王保生，
申请(专利权)人：江苏芯恒惟业电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：