【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅晶体炉，具体为一种晶体生长炉的保温装置。
技术介绍
1、物理气相输送法(pvt法)，即在高温区将材料升华，然后输送到冷凝区使其成为饱和蒸气，经过冷凝成核而长成晶体。碳化硅晶体生长炉采用pvt法生产晶体时，通过感应线圈对生长坩埚加热实现热传递，并通过坩埚外部的保温系统实现生长系统的温度保持。
2、现有技术中的碳化硅生长炉，一般是通过保温垫对生长坩埚进行保温，其保温效果较差，且生长坩埚的温度较高，对保温垫的热冲击和热腐蚀较大，导致保温垫的使用寿命较低，故而提出一种晶体生长炉的保温装置来解决上述问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶体生长炉的保温装置，具备热量不易传导到内炉体外侧，保证炉体内部温度对保温垫的损伤降低到最小等优点，解决了现有晶体生长炉内部保温垫在长时间使用时，由于高温的传导导致保温垫使用寿命降低的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶体生长炉的保温装置，包括炉体，所述炉体的内部固定连接有承载座，所述承载座的内部放置有内炉体，所述内炉体的顶部密封连接有炉盖，所述承载座的顶部活动连接有隔离板，所述隔离板的外表面固定连接有放置盒，所述放置盒的内部放置有隔热垫，所述隔离板的顶部固定连接有数量为两个的连接板，所述炉盖的顶部固定连接有数量为两个盒体，两个所述盒体的内部均固定连接有弹簧，两个所述弹簧相对一侧均固定连接有滑动块，两个所述滑动块相对一侧均固定连接有活动杆，两个所述滑动块相离一侧均固定连接有插
3、进一步，所述炉体的内壁固定连接有加热板，所述加热板的内部固定连接有若干个电加热丝本体。
4、进一步，所述炉体顶部开设有入料口，所述承载座的内部开设有定位槽，所述内炉体通过定位槽位于承载座的顶部。
5、进一步，所述隔离板的形状为环形板，所述炉盖的内部开设有连接板孔，两个所述连接板均通过连接板孔贯穿炉盖的内部。
6、进一步，所述放置盒的内部开设有放置空腔，所述隔热垫通过放置空腔位于放置盒的内部，两个所述盒体的内部均开设有活动杆孔，两个所述活动杆均通过活动杆孔与两个盒体滑动连接
7、进一步，所述两个所述盒体的内部均开设有插销杆孔，两个所述插销杆孔均贯穿并延伸至两个连接板的内部，两个所述插销杆均通过插销杆孔与两个连接板的内部，两个滑动块在两个盒体的内部相对移动。
8、与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
9、1、该晶体生长炉的保温装置，当碳化硅晶体在内炉体的内部加热生长时，在加热前先将隔热垫放置到放置盒的内部，然后隔离板通过连接板位于炉盖的底部，然后拉动两个活动杆带动两个滑动块相对移动，两个插销杆孔与插销杆对齐处于同一水平时，松动两个活动杆使得两个插销杆在弹簧的作用下将其卡接到两个连接板的内部，再将需要加热的内炉体放置到承载座的顶部进行加热生长，在加热过程中隔离板配合放置盒的存在，使得隔热垫受到的温度传导进一步降低，进而延长隔热垫的使用寿命。
10、2、该晶体生长炉的保温装置，通过在放置盒的内部开设放置空腔，使得隔热垫在安装时可以便捷的放置到放置盒内壁，降低隔热垫在安装时所需要的时间。通过设置隔离板且隔离板的内表面喷涂有耐高温涂料，使得隔离板在进行隔离高温热量时效果更好，保证内炉体内部的温度尽量避免传递到外侧。
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1.一种晶体生长炉的保温装置，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的内部固定连接有承载座(2)，所述承载座(2)的内部放置有内炉体(3)，所述内炉体(3)的顶部密封连接有炉盖(4)，所述承载座(2)的顶部活动连接有隔离板(6)，所述隔离板(6)的外表面固定连接有放置盒(14)，所述放置盒(14)的内部放置有隔热垫(7)，所述隔离板(6)的顶部固定连接有数量为两个的连接板(8)，所述炉盖(4)的顶部固定连接有数量为两个盒体(9)，两个所述盒体(9)的内部均固定连接有弹簧(10)，两个所述弹簧(10)相对一侧均固定连接有滑动块(11)，两个所述滑动块(11)相对一侧均固定连接有活动杆(12)，两个所述滑动块(11)相离一侧均固定连接有插销杆(13)。
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的保温装置，其特征在于：所述炉体(1)的内壁固定连接有加热板，所述加热板的内部固定连接有若干个电加热丝本体。
3.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的保温装置，其特征在于：所述炉体(1)顶部开设有入料口，所述承载座(2)的内部开设有定位槽，所述内炉体(3)通过定位槽位于
4.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的保温装置，其特征在于：所述隔离板(6)的形状为环形板，所述炉盖(4)的内部开设有连接板孔(5)，两个所述连接板(8)均通过连接板孔(5)贯穿炉盖(4)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的保温装置，其特征在于：所述放置盒(14)的内部开设有放置空腔，所述隔热垫(7)通过放置空腔位于放置盒(14)的内部，两个所述盒体(9)的内部均开设有活动杆孔，两个所述活动杆(12)均通过活动杆孔与两个盒体(9)滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的保温装置，其特征在于：所述两个所述盒体(9)的内部均开设有插销杆孔，两个所述插销杆孔均贯穿并延伸至两个连接板(8)的内部，两个所述插销杆(13)均通过插销杆孔与两个连接板(8)的内部，两个滑动块(11)在两个盒体(9)的内部相对移动。
...【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉的保温装置，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的内部固定连接有承载座(2)，所述承载座(2)的内部放置有内炉体(3)，所述内炉体(3)的顶部密封连接有炉盖(4)，所述承载座(2)的顶部活动连接有隔离板(6)，所述隔离板(6)的外表面固定连接有放置盒(14)，所述放置盒(14)的内部放置有隔热垫(7)，所述隔离板(6)的顶部固定连接有数量为两个的连接板(8)，所述炉盖(4)的顶部固定连接有数量为两个盒体(9)，两个所述盒体(9)的内部均固定连接有弹簧(10)，两个所述弹簧(10)相对一侧均固定连接有滑动块(11)，两个所述滑动块(11)相对一侧均固定连接有活动杆(12)，两个所述滑动块(11)相离一侧均固定连接有插销杆(13)。
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的保温装置，其特征在于：所述炉体(1)的内壁固定连接有加热板，所述加热板的内部固定连接有若干个电加热丝本体。
3.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的保温装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：翟海峰，
申请(专利权)人：福州克雷斯试验设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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