一种碳化硅籽晶粘贴设备制造技术

本发明专利技术属于碳化硅生产领域，具体是指一种碳化硅籽晶粘贴设备，包括底盘、均匀逐级排气机构、均匀自调节烘干机构和均匀自动涂胶机构，所述底盘上设有支撑框架，所述均匀自调节烘干机构设于底盘上，所述均匀自动涂胶机构设于底盘上，所述均匀逐级排气机构固定设于支撑框架上，所述均匀逐级排气机构设于均匀自调节烘干机构的正上方；本发明专利技术解决了现有技术直接对整个坩埚盖进行加压，难以使碳化硅籽晶与坩埚盖完贴合，导致籽晶与粘接胶水间的气体难以完全排出，以及手工粘胶难以保证胶层厚度均匀一致的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于碳化硅生产，具体是指一种碳化硅籽晶粘贴设备。

技术介绍

1、在碳化硅晶体制备过程中，通常会用到籽晶，其作为晶体的载体，为生成的碳化硅晶体提供附着点，其一般通过人工将粘接胶水涂在坩埚盖上，再用刮板通过手工将粘接胶水涂覆在坩埚盖上，然后放上碳化硅籽晶，再对整个坩埚盖进行加压加热，将碳化硅籽晶与坩埚盖粘接在一起；但籽晶表面不平整，直接对整个坩埚盖进行加压难以使碳化硅籽晶与坩埚盖完贴合，从而导致籽晶与粘接胶水间的气体难以完全排出，加热后容易产生气泡，影响粘接质量；且手工粘胶不仅耗费人力，难以保证胶层厚度均匀一致，容易出现粘接不均匀、不牢固的问题。

技术实现思路

1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提供了一种碳化硅籽晶粘贴设备，不仅能够使籽晶平衡受压，将籽晶与粘结胶水间的气体由中心向四周逐渐排出，从而保证籽晶与粘接胶水间的气体完全排出，且能够自动对坩埚盖表面进行均匀涂胶，解决了现有技术直接对整个坩埚盖进行加压难以使碳化硅籽晶与坩埚盖完贴合，导致籽晶与粘接胶水间的气体难以完全排出，以及手工粘胶本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳化硅籽晶粘贴设备，其特征在于：包括底盘（1）、均匀逐级排气机构（2）、均匀自调节烘干机构（3）和均匀自动涂胶机构（4），所述底盘（1）上设有支撑框架（5），所述均匀自调节烘干机构（3）设于底盘（1）上，所述均匀自动涂胶机构（4）设于底盘（1）上，所述均匀逐级排气机构（2）固定设于支撑框架（5）上，所述均匀逐级排气机构（2）设于均匀自调节烘干机构（3）的正上方，所述均匀自调节烘干机构（3）包括可调式支撑夹持装置（6）和自调节烘干装置（7），所述自调节烘干装置（7）设于可调式支撑夹持装置（6）内，所述均匀自动涂胶机构（4）包括均匀涂胶装置（8）和涂胶范围调节装置（9），所述涂胶范围...

【技术特征摘要】

1.一种碳化硅籽晶粘贴设备，其特征在于：包括底盘（1）、均匀逐级排气机构（2）、均匀自调节烘干机构（3）和均匀自动涂胶机构（4），所述底盘（1）上设有支撑框架（5），所述均匀自调节烘干机构（3）设于底盘（1）上，所述均匀自动涂胶机构（4）设于底盘（1）上，所述均匀逐级排气机构（2）固定设于支撑框架（5）上，所述均匀逐级排气机构（2）设于均匀自调节烘干机构（3）的正上方，所述均匀自调节烘干机构（3）包括可调式支撑夹持装置（6）和自调节烘干装置（7），所述自调节烘干装置（7）设于可调式支撑夹持装置（6）内，所述均匀自动涂胶机构（4）包括均匀涂胶装置（8）和涂胶范围调节装置（9），所述涂胶范围调节装置（9）设于均匀涂胶装置（8）上，所述均匀逐级排气机构（2）包括多级挤压装置（10）、空气逐级流通装置（11）和自动供气装置（12），所述空气逐级流通装置（11）设于自动供气装置（12）的底部，所述多级挤压装置（10）设于空气逐级流通装置（11）内。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶粘贴设备，其特征在于：所述支撑框架（5）的顶部内壁上设有电动伸缩杆（13），所述电动伸缩杆（13）的活动端上设有连接板（14），所述自动供气装置（12）包括连通盒（15）、矩形盒（16）、连接管（17）、进气管（18）、出气管（19）、限位环（20）、限位球（21）、弹簧一（22）、活塞（23）、弧形环（24）、连接杆（25）、转把（26）和电机一（27），所述连通盒（15）设于连接板（14）的底部，所述连接管（17）设于连通盒（15）上，所述矩形盒（16）设于连接管（17）上，所述进气管（18）设于连通盒（15）上，所述出气管（19）设于连通盒（15）的底部。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅籽晶粘贴设备，其特征在于：所述进气管（18）和出气管（19）内均设有限位环（20），所述弹簧一（22）设于进气管（18）和出气管（19）内，所述限位球（21）设于进气管（18）和出气管（19）内，所述限位球（21）与弹簧一（22）相连，所述电机一（27）设于矩形盒（16）的内壁上，所述转把（26）设于电机一（27）的传动端上，所述活塞（23）活动设于连接管（17）内，所述连接杆（25）设于活塞（23）上，所述弧形环（24）设于连接杆（25）的端面上，所述弧形环（24）与转把（26）相连。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅籽晶粘贴设备，其特征在于：所述空气逐级流通装置（11）包括圆柱（28）、矩形导通口（29）、柱状腔体（30）和圆盘腔体（31），所述圆柱（28）设于出气管（19）的底部，所述柱状腔体（30）呈阶梯状阵列设于圆柱（28）内，相邻的所述柱状腔体（30）之间设有矩形导通口（29），所述圆盘腔体（31）呈阶梯状设于柱状腔体（30）的底部。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅籽晶粘贴设备，其特征在于：所述多级挤压装置（10）包括圆形块（32）、伸缩杆（33）、弹簧二（34）、固定环（35）、挤压柱（36）、挤压环一（37）、挤压环二（38）和软胶垫（39），所述固定环（35）固定设于柱状腔体（30）内，所述弹簧二（34）设于固定环（35）上方与固定环（35）相连，所述圆形块（32）设于弹簧二（34）上方与弹簧二（34）相连，所述伸缩杆（33）贯穿固定环（35）设于圆形块（32）的底部，所述挤压柱（36）设于圆柱（28）的内部中心，所述挤压柱（36）与伸缩杆（33...

【专利技术属性】
技术研发人员：于文明，张小刚，王胜亚，何小三，王保生，
申请(专利权)人：江苏芯恒惟业电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：