下载一种碳化硅籽晶粘贴设备的技术资料

文档序号:42509163

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于碳化硅生产领域,具体是指一种碳化硅籽晶粘贴设备,包括底盘、均匀逐级排气机构、均匀自调节烘干机构和均匀自动涂胶机构,所述底盘上设有支撑框架,所述均匀自调节烘干机构设于底盘上,所述均匀自动涂胶机构设于底盘上,所述均匀逐级排气机构固定设...
该专利属于江苏芯恒惟业电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏芯恒惟业电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。