一种半导体激光器管芯功率及光斑检测系统技术方案

技术编号:34260036 阅读:10 留言:0更新日期:2022-07-24 13:37
本发明专利技术公开一种半导体激光器管芯功率及光斑检测系统,包括:机械臂、管芯功率检测系统。所述机械臂上具有第一抓手、第二抓手、第一反射器。所述第一抓手、第二抓手固定在机械臂端部旋转轴上。所述第一反射器连接在第一抓手的下部。所述管芯功率检测系统包括工作台、升降机构、通电元件、热敏功率计。所述升降机构设置在工作台上方,所述通电元件、热敏功率计均固定在升降机构上,热敏功率计位于通电元件上方,升降机构驱动通电元件下降后与工作台上的待检管芯接触使其发光,光线被第一反射器导入热敏功率计后检测管芯的发光功率是否合格。该系统不仅能够提高流水线效率,减少管芯成品故障率,而且采用自动化检测,具有效率高、出错率低的特点。低的特点。低的特点。

A semiconductor laser core power and spot detection system

【技术实现步骤摘要】
一种半导体激光器管芯功率及光斑检测系统


[0001]本专利技术涉及激光器管芯检测
,具体涉及一种半导体激光器管芯功率及光斑检测系统。

技术介绍

[0002]本专利技术
技术介绍
中公开的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的理解,而不必然被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已经成为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
[0003]半导体激光器因体积小巧、输出功率范围广、波长种类多功耗小和可靠性高等优点被广泛应用在光通信、光存储、材料加工和医疗美容等行业。管芯作为半导体激光器中的发光器件,在激光器的封装中尤为重要,封装和使用过程中会伴随着管芯发生各种各样的故障。然而,目前还没有专门的用于管芯封装过程中质量检测的装置,给管芯的质量监控带来了极大不便。

技术实现思路

[0004]为了筛选、检测和分析半导体激光器封装过程中管芯是否合格,避免有问题的产品流出,造成后续的损失的。本专利技术提供一种半导体激光器管芯功率及光斑检测系统,该系统不仅能够提高流水线效率,减少管芯成品故障率,而且采用自动化检测,具有效率高、出错率低的特点。为实现上述目的,本专利技术公开如下所示的技术方案。
[0005]首先,本专利技术公开一种半导体激光器管芯功率自动检测系统,包括:机械臂、管芯功率检测系统。其中:所述机械臂上具有第一抓手、第二抓手、第一反射器。所述第一抓手、第二抓手均固定在机械臂端部旋转轴上。所述第一反射器连接在第一抓手的下部。所述管芯功率检测系统包括:工作台、升降机构、通电元件、热敏功率计。其中:所述升降机构设置在工作台上方,所述通电元件、热敏功率计均固定在升降机构上,且热敏功率计位于通电元件上方,升降机构驱动通电元件下降后与工作台上的待检管芯接触,为管芯通电使其发射光线,光线被第一反射器导入热敏功率计后检测管芯的发光功率是否合格。
[0006]进一步地,所述第一抓手、第二抓手之间的夹角不小于30
°
,以便于避免检测过程中相互干扰。
[0007]进一步地,所述第一反射器为直角反射镜,且该直角反射镜的两个直面分别为底面和侧面,从而在管芯发射的光线水平入射在该直角反射镜的斜面反射面上后被垂直反射进入上方的热敏功率计中或者伸出的反射镜的斜面反射面上。
[0008]进一步地,所述工作台上具有吸附机构,以便于吸附固定放置在工作台中的管壳。
[0009]进一步地,所述工作台中还具有冷却散热装置,以便于为通电发光的管芯进行散热。
[0010]进一步地,所述升降机构包括第一横向导轨、纵向导轨、第二横向导轨。其中,所述第一横向导轨水平滑动连接在工作台上方的支架上,所述纵向导轨竖向滑动连接在第一横
向导轨上。所述第二横向导轨水平滑动连接在纵向导轨上。所述通电元件固定在纵向导轨的下端,所述热敏功率计固定在第二横向导轨上,从而方便地调节通电元件、热敏功率计的位置。
[0011]进一步地,所述管芯功率检测系统还包括CCD图像采集装置和环形光源,所述CCD图像采集装置和环形光源均固定在支架上且位于第一横向导轨的一侧,所述CCD图像采集装置的镜头朝下设置,所述环形光源位于该镜头正下方。
[0012]其次,本专利技术公开一种半导体激光器管芯光斑自动检测系统,包括:上述的半导体激光器管芯功率自动检测系统、驱动器、第二反射器、管芯光斑检测系统。其中:所述驱动器固定在第一抓手的上部,所述第二反射器固定在驱动器上,所述第二反射器在未伸出前位于不阻挡第一反射器的反射光路的位置处,所述驱动器使第二反射器伸出后与第一反射器构成潜望镜结构,所述管芯光斑检测系统位于第二反射器的反射光路上,管芯发射的光线入射在第一反射器上被竖向反射在第二反射器上后再被水平反射出去进入所述管芯光斑检测系统中,以检测管芯发出的光斑是否合格。
[0013]进一步地,所述第二反射器包括反射镜和镜筒,所述反射镜固定在镜筒的一端,且该反射镜的反射面与所述第一反射器的反射面构成潜望镜结构,经过反射镜反射后的光线通过镜筒后进入管芯光斑检测系统中。所述驱动器与镜筒连接,以便于驱动镜筒进行伸缩。可选地,所述反射镜为直角反射镜。
[0014]进一步地,所述管芯光斑检测系统包括CCD相机及其连接的工控机,所述工控机中具有用于识别CCD相机拍摄的光斑形状的图像处理系统和判断该光斑是否合格的数据库。
[0015]进一步地,所述管芯光斑检测系统的光线入口前方还设置有聚焦镜,以对进入管芯光斑检测系统的准直光线进行聚焦。
[0016]进一步地,还包括产品定位盘,其用于初步放置待检测的管芯,以便于机械臂进行抓取。
[0017]进一步地,所述定位盘上设置有光电传感器,该光电传感器与工控机连接。
[0018]进一步地,所述定位盘的一端具有除静电离子风释放口。
[0019]进一步地,所述第一反射器被吸附在第一抓手下端的吸盘上,以便于根据需要方便地更换不同的第一反射器。
[0020]与现有技术相比,本专利技术具有以下有益效果:本专利技术的半导体激光器管芯功率及光斑检测系统通过设计管芯功率检测系统、管芯光斑检测系统,并巧妙地结合第一反射器和第二反射器构成的潜望镜结构,可以方便地实现对管芯功率和光斑的连续性检测,从而能够提前识别和筛选有故障的管芯,加快合格品的流转速度,可以有效提高流水线效率;同时也避免了有问题的产品流出,造成后续的损失。此系统不仅可以在封装过程中将产品自动筛选分类,也可作为不合格品的辅助分析工具。
附图说明
[0021]构成本专利技术的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解,本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术,并不构成对本专利技术的不当限定。
[0022]图1是本专利技术实施例中半导体激光器管芯功率和光斑自动检测系统的结构示意图。
[0023]图2是本专利技术实施例中半导体激光器管芯功率和光斑自动检测系统的俯视图。
[0024]图3是本专利技术实施例中机械臂端部的结构示意图。
[0025]图4是本专利技术实施例中第一抓手的侧视图。
[0026]图5是本专利技术实施例中管芯功率检测系统的主视图。
[0027]图6是本专利技术实施例中管芯功率检测系统的局部侧视图。
[0028]图7是本专利技术实施例中工作台的俯视图。
[0029]上述附图中标记分别代表:1

机械臂、1.1

第一抓手、1.2

第二抓手、1.3

第一反射器、1.4

驱动器、1.5

第二反射器、1.5.1

反射镜、1.5.2

镜筒;2

管芯功率检测系统、2.1

工作台、2.2

升降机构、2.2.1

第一横向导轨、2.2.2

纵向导轨、2.2.3

第二横向导轨、2.3

通电元件、2.4

热敏功率本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,包括:机械臂,所述机械臂上具有第一抓手、第二抓手、第一反射器;其中:所述第一抓手、第二抓手均固定在机械臂端部旋转轴上;所述第一反射器连接在第一抓手的下部;管芯功率检测系统,其包括:工作台、升降机构、通电元件、热敏功率计;其中:所述升降机构设置在工作台上方,所述通电元件、热敏功率计均固定在升降机构上,且热敏功率计位于通电元件上方。2.根据权利要求1所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,所述第一抓手、第二抓手之间的夹角不小于30
°
;优选地,所述第一反射器为直角反射镜,且该直角反射镜的两个直面分别为底面和侧面。3.根据权利要求1所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,所述工作台上具有吸附机构;优选地,所述工作台中还具有冷却散热装置。4.根据权利要求1所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,所述升降机构包括第一横向导轨、纵向导轨、第二横向导轨;其中,所述第一横向导轨水平滑动连接在工作台上方的支架上,所述纵向导轨竖向滑动连接在第一横向导轨上;所述第二横向导轨水平滑动连接在纵向导轨上;所述通电元件固定在纵向导轨的下端,所述热敏功率计固定在第二横向导轨上。5.根据权利要求1

4任一项所述的半导体激光器管芯功率自动检测系统,其特征在于,所述管芯功率检测系统还包括CCD图像采集装置和环形光源,所述CCD图像采集装置和环形光源均固定在支架上且位于第一横向导轨的一侧,所述CCD图像采集装置的镜头朝下设置,所述环形光源位于该镜头正下方。6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:宋雅文秦华兵汤庆敏史呈琳邓达超
申请(专利权)人:潍坊华光光电子有限公司
类型:发明
国别省市:

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