弹性波装置制造方法及图纸

提供一种即使在使用了具有各向异性的压电体的情况下也能充分抑制杂散的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电体(2)；第1电极(3)，设置在压电体(2)的第1主面(2a)；第2电极(4)，设置在第2主面(2b)；声反射部，具有气隙(G)；及质量附加膜(6)，设置在第1电极(3)以及第2电极(4)上和所述第1电极(3)或所述第2电极(4)的外侧中的至少一者，在俯视时，所述第1电极以及质量附加膜中的至少一者与所述第2电极相互重叠的区域具有第1区域和包围第1区域的第2区域，关于质量附加膜(6)，在第2区域中，压电体(2)的平面内的第1方向(A)两侧的质量附加膜部分(6b、6d)的结构和第2方向(B)两侧的质量附加膜部分(6a、6c)的结构不同。6c)的结构不同。6c)的结构不同。

Elastic wave device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置


[0001]本专利技术涉及具有在压电体的两主面层叠了电极的构造的弹性波装置。

技术介绍

[0002]以往，已知有各种利用了在压电体传播的体波(bulk wave)的弹性波装置。例如，在下述的专利文献1记载的弹性波装置中，公开了在气隙、声反射器上层叠了包含下部电极、压电体以及上部电极的层叠体的构造。在专利文献1中，公开了如下结构，即，为了抑制杂散，使中央的产生主谐振的第1区域上的上部电极的厚度比第1区域的周围的第2区域中的上部电极的厚度薄，或者相反，使中央的产生主谐振的第1区域上的上部电极的厚度比第1区域的周围的第2区域中的上部电极的厚度厚。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2005
‑
159402号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]在像专利文献1记载的那样的弹性波装置中，在作为压电体而使用了在与压电体主面平行的方向上具有各向异性的压电体的情况下，有时不能充分地抑制杂散。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种即使在使用了在与第1主面以及第2主面平行的平面内具有各向异性的压电体的情况下也能够充分抑制杂散的弹性波装置。
[0009]用于解决问题的技术方案
[0010]本申请的第1专利技术涉及的弹性波装置具备：压电体，具有相互对置的第1主面以及第2主面，在与所述第1主面以及所述第2主面平行的平面内具有各向异性；第1电极，设置在所述压电体的所述第1主面；第2电极，设置在所述压电体的所述第2主面，隔着所述压电体与所述第1电极对置；声反射部，配置在所述第2电极的与所述压电体相反侧的面；以及质量附加膜，在所述第1电极以及所述第2电极中的至少一者中，设置在所述第1电极或所述第2电极上和所述第1电极或所述第2电极的外侧中的至少一者，在俯视时，所述第1电极以及质量附加膜中的至少一者与所述第2电极相互重叠的区域包含第1区域和包围所述第1区域的第2区域，关于所述质量附加膜，在所述第2区域中，所述压电体的平面内的第1方向两侧的质量附加膜部分的结构与所述压电体的所述平面内的第2方向两侧的质量附加膜部分的结构不同，所述第2方向与所述第1方向不同。
[0011]本申请的第2专利技术涉及的弹性波装置具备：压电体，具有相互对置的第1主面以及第2主面，在与所述第1主面以及所述第2主面平行的平面内具有各向异性；第1电极，设置在所述压电体的所述第1主面；第2电极，设置在所述压电体的所述第2主面，隔着所述压电体与所述第1电极对置；以及声反射部，配置在所述第2电极的与所述压电体相反侧的面，所述第1电极和所述第2电极对置的激励区域具有第1区域和包围所述第1区域的第2区域，在所
述第2区域中，所述第1电极以及所述第2电极中的至少一者的厚度比所述第1区域中的所述第1电极以及所述第2电极中的至少一者薄，并且，在所述第2区域中，所述压电体的平面内的第1方向两侧的所述第1电极以及所述第2电极的结构与所述压电体的所述平面内的所述第2方向两侧的所述第1电极以及所述第2电极的结构不同，所述第2方向与所述第1方向不同。
[0012]以下，将第1专利技术以及第2专利技术适当地统称为本专利技术。
[0013]专利技术效果
[0014]根据本申请的第1专利技术、第2专利技术，即使在作为压电体而使用了在与第1主面以及第2主面平行的平面内具有各向异性的压电体的情况下，也能够充分抑制杂散。
附图说明
[0015]图1的(a)是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的俯视图，图1的(b)以及图1的(c)分别是沿着图1的(a)中的I
‑
I线以及II
‑
II线的剖视图。
[0016]图2是用于说明不具有质量附加膜的弹性波装置的二维模型的构造的示意性主视剖视图。
[0017]图3的(a)是示出在图2所示的弹性波装置中未设置质量附加膜的弹性波装置的关于第1方向A的谐振特性的图，图3的(b)是示出不具有框状部的弹性波装置的关于第2方向B的谐振特性的图。
[0018]图4是示出设置有框状部的弹性波装置的二维模型的构造的示意性主视剖视图。
[0019]图5的(a)是示出在图4所示的弹性波装置的二维模型的构造中在第1方向A上设置了最佳的框状部的构造的谐振特性的图，图5的(b)是示出在第1方向A上设置了第2方向B的最佳框状部的构造的谐振特性的图。
[0020]图6的(a)是示出在图4所示的弹性波装置的二维模型的构造中在第2方向B上设置了第1方向A的最佳框状部的构造的谐振特性的图，图6的(b)是示出在第2方向B上设置了最佳的框状部的构造的谐振特性的图。
[0021]图7是用于说明未设置框状部的弹性波装置的三维模型的构造的立体图。
[0022]图8是示出使用了图7所示的三维模型的情况下的未设置框状部的构造的谐振特性的图。
[0023]图9的(a)是用于说明设置有框状部的弹性波装置的三维构造的模型的立体图，图9的(b)是示出使用了设置有该框状部的三维模型的情况下的谐振特性的图。
[0024]图10的(a)是用于说明与130
°
方向垂直的框状部的宽度为1.6μm且与40
°
方向垂直的框状部的宽度为3.1μm的构造的弹性波装置的示意性俯视图，图10的(b)是示出在第1方向A上设置了第2方向B的最佳框状部且在第2方向B上设置了第1方向A的最佳框状部的构造的弹性波装置的谐振特性的图。
[0025]图11的(a)示出在图7所示的弹性波装置的三维模型的构造中在第1方向A上设置了最佳的框状部且在第2方向B上设置了最佳的框状部的构造的谐振特性的图，图11的(b)是示出在第1方向A以及第2方向B上均设置了第2方向B的最佳框状部的构造的弹性波装置的谐振特性的图。
[0026]图12的(a)是本专利技术的第2实施方式涉及的弹性波装置的俯视图，图12的(b)是该
弹性波装置的主视剖视图，图12的(c)是右视剖视图。
[0027]图13的(a)是本专利技术的第3实施方式涉及的弹性波装置的俯视图，图13的(b)是沿着图13的(a)中的V
‑
V线的剖视图。
[0028]图14的(a)以及图14的(b)是本专利技术的第4实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图以及右视剖视图。
[0029]图15的(a)以及图15的(b)是本专利技术的第5实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图以及右视剖视图。
[0030]图16的(a)～图16的(c)是用于说明在构成第2区域的框状的凹部设置有绝缘膜的各变形例的部分切割主视剖视图。
[0031]图17的(a)以及图17的(b)是用于说明第6实施方式涉及的弹性波装置的俯视图以及主视剖视图。
[0032]图18是用于说明本专利技术的第7实施方式涉及的弹性波装置的部分切割主视剖视图。
[0033]图19的(a)以及图19的(b)是用于说明框状部的变形例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：压电体，具有相互对置的第1主面以及第2主面，在与所述第1主面以及所述第2主面平行的平面内具有各向异性；第1电极，设置在所述压电体的所述第1主面；第2电极，设置在所述压电体的所述第2主面，隔着所述压电体与所述第1电极对置；声反射部，配置在所述第2电极的与所述压电体相反侧的面；以及质量附加膜，在所述第1电极以及所述第2电极中的至少一者中，设置在所述第1电极或所述第2电极上、以及所述第1电极或所述第2电极的外侧的至少一者，在俯视时，所述第1电极以及质量附加膜中的至少一者与所述第2电极相互重叠的区域包含第1区域和包围所述第1区域的第2区域，关于所述质量附加膜，在所述第2区域中，所述压电体的平面内的第1方向两侧的质量附加膜部分的结构与所述压电体的所述平面内的第2方向两侧的质量附加膜部分的结构不同，所述第2方向与所述第1方向不同。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述质量附加膜设置在所述第2区域，构成框状突出部。3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，在所述第1方向两侧的质量附加膜部分和所述第2方向两侧的质量附加膜部分，所述框状突出部的宽度、厚度以及材质中的至少一种不同。4.根据权利要求2或3所述的弹性波装置，其中，所述第2区域为所述框状突出部，所述框状突出部的角部的所述质量附加膜的厚度大于所述第2区域内的其它质量附加膜部分的厚度。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述质量附加膜与所述第1电极以及所述第2电极中的至少一者由相同的材料构成为一体。6.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述质量附加膜由与所述第1电极以及所述第2电极不同的材料构成。7.一种弹性波装置，具备：压电体，具有相互对置的第1主面以及第2主面，在与所述第1主面以及所述第2主面平行的平面内具有各向异性；第1电极，设置在所述压电体的所述第1主面；第2电极，设置在所述压电体的...

【专利技术属性】
技术研发人员：大村正志，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：