一种横向激励体声波谐振器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种横向激励体声波谐振器，涉及谐振器技术领域，本实用新型专利技术的横向激励体声波谐振器，包括衬底以及设置于衬底上表面的压电层，衬底上表面设置有凹槽，凹槽与压电层形成腔体，压电层上设置有叉指电极结构，叉指电极结构包括多个平行间隔的条形正电极和条形负电极，条形正电极和/或条形负电极在腔体内投影位置处设置有支撑件，支撑件的一端与腔体的底面抵持、另一端与压电层抵持。本实用新型专利技术提供的横向激励体声波谐振器，能够支撑压电层，避免压电层断裂或破损，从而提高器件稳定性。件稳定性。件稳定性。

A transversely excited bulk acoustic resonator

【技术实现步骤摘要】
一种横向激励体声波谐振器


[0001]本申请涉及谐振器
，具体而言，涉及一种横向激励体声波谐振器。

技术介绍

[0002]薄膜体声波谐振器因其高Q值、体积小、可集成化等特点而引起了很多研究关注，并且随着移动通信技术的飞速发展，薄膜体声波谐振器不仅在射频前端中得到大量应用，也在传感器检测应用中表现出很大的潜力。薄膜体声波器件的激励方式主要分为两种，一种是采用厚度场激励模式，两个电极分别在压电基片的两面，电场沿着基片的厚度方向；另一种是采用横向场激励模式，两个电极在压电基片的同一面。在实际应用中，这两种激励模式都会引起压电基片体内的质点产生厚度剪切振动，它产生的声波在基片内传播，属于体声波。相较于厚度场激励模式的体声波器件，横向场激励模式的体声波器件具有以下优点：晶体振动活力最强的部分设有电极，使老化效率降低；应用于液体环境中，可获得更高Q值；电极在同一主表面，制作相对容易。
[0003]现有的横向激励体声波谐振器存在面积太大时，悬空压电薄膜容易破裂，器件稳定性差的问题。现有技术中有采用在横向激励体声波谐振器的压电薄膜下方用高低声阻抗本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种横向激励体声波谐振器，其特征在于，包括衬底以及设置于所述衬底上表面的压电层，所述衬底上表面设置有凹槽，所述凹槽与所述压电层形成腔体，所述压电层上设置有叉指电极结构，所述叉指电极结构包括多个平行间隔的条形正电极和条形负电极，所述条形正电极和/或所述条形负电极在所述腔体内投影位置处设置有支撑件，所述支撑件的一端与所述腔体的底面抵持、另一端与所述压电层抵持。2.根据权利要求1所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于，所述支撑件包括至少两个，至少两个所述支撑件间隔分布于所述腔体内。3.根据权利要求1所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于，所述支撑件的宽度小于等于所述支撑件对应的所述条形正电极或所述条形负电极的宽度。4.根据权利要求1所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于，所述支撑件的长度小于等于所述支撑件对应的所述条形正电极或所述条形负电极的长度。5.根据权利要求1所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于，所述支撑件为长方体结构。6.根据权利要求5所述的横向激励体声波谐振器，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢英，刘文娟，刘炎，蔡耀，孙成亮，孙博文，
申请(专利权)人：武汉敏声新技术有限公司，
类型：新型
国别省市：