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武汉敏声新技术有限公司
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一种横向激励体声波谐振器制造技术
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下载一种横向激励体声波谐振器的技术资料
文档序号:34172630
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本实用新型公开了一种横向激励体声波谐振器,涉及谐振器技术领域,本实用新型的横向激励体声波谐振器,包括衬底以及设置于衬底上表面的压电层,衬底上表面设置有凹槽,凹槽与压电层形成腔体,压电层上设置有叉指电极结构,叉指电极结构包括多个平行间隔的条形...
该专利属于武汉敏声新技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉敏声新技术有限公司授权不得商用。
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