激光模块制造技术

激光模块包括：具备：量子级联激光器，其具有：具有主面和与主面为相反侧的背面的基板、设置于主面上的第1包覆层、设置于第1包覆层的与基板为相反侧的活性层、和设置于活性层的与第1包覆层为相反侧的第2包覆层；和透镜，其具有配置在与活性层的端面相对的位置的透镜面。朝向与基板、第1包覆层、活性层和第2包覆层的层叠方向交叉的方向的活性层的端面，构成使第1频率的光和第2频率的光振荡的谐振器，活性层生成第1频率和第2频率的差频率的太赫兹波。基板与透镜面直接或者间接地接触，活性层的端面相对于透镜面中的、面向端面的部分倾斜。面向端面的部分倾斜。面向端面的部分倾斜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光模块


[0001]本专利技术涉及激光模块。

技术介绍

[0002]目前，已知有具备：包含通过光的振荡生成太赫兹波的活性层的量子级联激光器和包含透镜的光学元件的激光模块(例如，参照专利文献1)。在这样的激光模块中，在活性层生成的太赫兹波被透镜聚光后向激光模块的外部输出。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：美国专利第8619832号说明书

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题
[0007]在上述专利文献1所记载的激光模块中，使量子级联激光器的端面的整体与光学元件(透镜或间隔件)接触。根据本专利技术人的见解，在采用这样的结构的情况下，有时活性层的光的振荡变得不稳定。另一方面，在使量子级联激光器的端面与光学元件分离的情况下，太赫兹波可能在量子级联激光器与光学元件之间的空气层全反射，并且太赫兹波的取出效率降低。
[0008]因此，本专利技术的一个方面的目的在于，提供一种能够使活性层的光的振荡稳定化，并且提高在活性层生成的太赫兹波的取出效率的激光模块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种激光模块，其特征在于：具备：量子级联激光器，其具有：具有主面和与所述主面为相反侧的背面的基板、设置于所述主面上的第1包覆层、设置于所述第1包覆层的与所述基板为相反侧的活性层、和设置于所述活性层的与所述第1包覆层为相反侧的第2包覆层，朝向与所述基板、所述第1包覆层、所述活性层和所述第2包覆层的层叠方向交叉的方向的所述活性层的端面，构成使第1频率的光和第2频率的光振荡的谐振器，所述活性层生成所述第1频率和所述第2频率的差频率的太赫兹波；和透镜，其具有配置在与所述活性层的所述端面相对的位置的透镜面，所述基板与所述透镜面直接或者间接地接触，所述活性层的所述端面相对于所述透镜面中的、面向所述端面的部分倾斜。2.根据权利要求1所述的激光模块，其特征在于：所述透镜的焦点位于所述量子级联激光器的内部。3.根据权利要求1或2所述的激光模块，其特征在于：所述基板与所述透镜面线接触。4.根据权利要求3所述的激光模块，其特征在于：所述基板具有以相对于所述透镜面倾斜的方式从所述背面向所述主面侧延伸的第1面，形成于所述第1面的所述主面侧的端部的角部，与所述透镜面线接触。5.根据权利要求3所述的激光模块，其特征在于：所述基板具有连接所述主面和所述背面并且与所述透镜面相对的侧面，形成于...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤田和上，林昌平，藤原弘康，中西笃司，伊藤昭生，道垣内龙男，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：