本申请涉及一种探温机构及具有该探温机构的镀膜设备，其中探温机构包括探温件、工件架、旋转组件，所述工件架拆卸地连接所述旋转组件且由所述旋转组件驱动旋转，所述工件架设置有至少一个所述探温件。上述方案中通过将探温件连接于工件架，并利用旋转组件带动工件架旋转，以带动与工件架连接的探温件随之转动，使得探温件靠近不同的模块，进而通过探温件探测不同模块的温度，还通过旋转组件与工件架可拆卸地连接，便于探温机构的安装和拆卸。便于探温机构的安装和拆卸。便于探温机构的安装和拆卸。
【技术实现步骤摘要】
探温机构及具有该探温机构的镀膜设备
[0001]本申请涉及镀膜设备
，特别是涉及一种探温机构及具有该探温机构的镀膜设备。
技术介绍
[0002]真空镀膜机应用于在较高真空度下对基材进行镀膜，通过探温机构可以实时获取镀膜腔内的温度。在同一个镀膜腔内，可以包括多个不同工艺的模块。各个模块的功能配置存在差异，所需温度也不相同。在现有技术中，镀膜机的探温机构安装于各个模块上，只能固定地测量某个位置的温度，所需探温机构的数量较多，维护成本较高。
技术实现思路
[0003]基于此，有必要提供一种探温机构及具有该探温机构的镀膜设备，旨在解决现有技术存在的探温机构的数量较多的问题。
[0004]第一方面，本申请提供一种探温机构，包括探温件、工件架、旋转组件，所述工件架拆卸地连接所述旋转组件且由所述旋转组件驱动旋转，所述工件架设置有至少一个所述探温件。
[0005]上述方案中通过将探温件连接于工件架，并利用旋转组件带动工件架旋转，以带动与工件架连接的探温件随之转动，使得探温件靠近不同的模块，进而通过探温件探测不同模块的温度，还通过旋转组件与工件架可拆卸地连接，便于探温机构的安装和拆卸。
[0006]下面对本申请的技术方案作进一步的说明：
[0007]在任意实施方式中，所述旋转组件通过快插件可拆卸地连接所述工件架。
[0008]在任意实施方式中，所述旋转组件包括旋转主轴，所述旋转主轴的轴向上的第一端用于连接驱动件，轴向上的第二端通过快插件可拆卸地连接所述工件架；所述探温机构还包括固定法兰，所述旋转主轴贯穿所述固定法兰并与所述固定法兰转动配合，且所述旋转主轴和所述固定法兰之间通过密封件密封。
[0009]在任意实施方式中，所述固定法兰背对所述工件架的一侧连接有密封装置，所述密封装置与所述固定法兰通过密封件密封，所述密封装置套设于所述旋转主轴外且与所述旋转主轴相对转动配合，所述密封装置与所述旋转主轴通过密封件密封。
[0010]在任意实施方式中，所述快插件包括可拆卸连接的第一快插组件和第二快插组件，所述第一快插组件连接于所述工件架，所述第二快插组件连接于所述旋转主轴。
[0011]在任意实施方式中，所述第一快插组件包括连接座、第一导电件和接线端子，所述第一导电件贯穿所述连接座，且所述第一导电件与所述接线端子相连接，所述接线端子与所述探温件连接。
[0012]在任意实施方式中，所述第一快插组件还包括第一绝缘盖、第二绝缘盖、绝缘套，所述绝缘套套设于所述第一导电件和所述连接座之间以隔离所述第一导电件和所述连接座，所述第一绝缘盖和所述第二绝缘盖分别位于所述第一导电件的两端，所述第二绝缘盖
设有用于所述第一导电件连接所述第二快插组件的开孔。
[0013]在任意实施方式中，所述第二快插组件包括绝缘座和所述第二导电件，所述第二导电件与导线连接，所述第二导电件贯穿所述绝缘座且至少部分凸出于所述绝缘座，以与所述第一导电件连接。
[0014]在任意实施方式中，所述第二快插组件还包括导套、弹性件和第三绝缘盖，所述导套套设于所述第二导电件和所述绝缘座之间，所述第二导电件外部还套设有弹性件，所述弹性件能够带动所述第二导电件相对所述绝缘座移动，所述第三绝缘盖连接于所述绝缘座远离所述第一快插组件的一端，并设有用于所述导线穿过的通孔。
[0015]第二方面，本申请还提供一种镀膜设备，包括镀膜用真空腔，所述真空腔内设有多个模块，还包括如上任一实施方式中所述的探温机构，所述工件架位于所述真空腔内部，所述旋转组件贯穿所述真空腔的底面且与所述底面之间密封设置，所述旋转组件带动所述工件架旋转以使所述探温件朝向不同所述模块。
附图说明
[0016]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施方式及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。
[0017]为了更清楚地说明本申请实施方式中的技术方案，下面将对实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是本申请一实施方式所示的探温机构的俯视图；
[0019]图2是图1中的探温机构的结构示意图；
[0020]图3是图2中的快插件的结构示意图。
[0021]附图标记说明：
[0022]100、探温机构；110、探温件；120、工件架；130、旋转组件；131、旋转主轴；132、固定法兰；133、密封装置；140、驱动件；150、快插件；151、第一快插组件；1511、连接座；1512、第一导电件；1513、接线端子；1514、第一绝缘盖；1515、第二绝缘盖；1516、绝缘套；1517、绝缘端盖；1518；固定盘；152、第二快插组件；1521、绝缘座；1522、第二导电件；1523、导套；1524、弹性件；1525、第三绝缘盖；1526、衬套；160、导线；170、真空电极；180、导电滑环；
[0023]200、真空腔。
具体实施方式
[0024]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施方式的限制。
[0025]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同；本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请；本申请的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包
括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
[0026]在本申请实施方式的描述中，术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0027]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0028]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种探温机构，其特征在于，包括：探温件、工件架、旋转组件，所述工件架拆卸地连接所述旋转组件且由所述旋转组件驱动旋转，所述工件架设置有至少一个所述探温件。2.根据权利要求1所述的探温机构，其特征在于，所述旋转组件通过快插件可拆卸地连接所述工件架。3.根据权利要求2所述的探温机构，其特征在于，所述旋转组件包括旋转主轴，所述旋转主轴的轴向上的第一端用于连接驱动件，轴向上的第二端通过快插件可拆卸地连接所述工件架；所述探温机构还包括固定法兰，所述旋转主轴贯穿所述固定法兰并与所述固定法兰转动配合，且所述旋转主轴和所述固定法兰之间通过密封件密封。4.根据权利要求3所述的探温机构，其特征在于，所述固定法兰背对所述工件架的一侧连接有密封装置，所述密封装置与所述固定法兰通过密封件密封，所述密封装置套设于所述旋转主轴外且与所述旋转主轴相对转动配合，所述密封装置与所述旋转主轴通过密封件密封。5.根据权利要求2所述的探温机构，其特征在于，所述快插件包括可拆卸连接的第一快插组件和第二快插组件，所述第一快插组件连接于所述工件架，所述第二快插组件连接于所述旋转主轴。6.根据权利要求5所述的探温机构，其特征在于，所述第一快插组件包括连接座、第一导电件和接线端子，所述第一导电件贯穿所述连接座，且所述第一导电件与所述接线端子相连接，所述接线端子与所述探...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨恺，林海天，李立升，
申请(专利权)人：东莞市华升真空镀膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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