一种具有高反射率的银反射镜及高精度成像装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种具有高反射率的银反射镜及高精度成像装置，包括基底、粘结膜层、银层、隔离膜层与介质膜层，所述银层设置于所述基底上，所述银层的厚度为180～200nm；所述介质膜层设置于所述银层上背离所述基底的一面，所述介质膜层由多层SiO2膜层与多层Ta2O5膜层循环堆叠而成，所述介质膜层的总厚度为415～510nm；所述粘结膜层位于所述基底与所述银层之间，所述隔离膜层位于所述银层与所述介质膜层之间。本实用新型专利技术采用一定厚度的银层作为主反射层，通过在银层上真空蒸镀得到由多层SiO2膜层与Ta2O5膜层循环堆叠而成的、具有特定厚度的介质膜层，能够支持多角度光线入射，大大提高反射率，同时抑制偏振；此外，整体结构的可靠性高，使用寿命长。使用寿命长。使用寿命长。

【技术实现步骤摘要】
一种具有高反射率的银反射镜及高精度成像装置


[0001]本技术涉及光学成像
，尤其涉及一种具有高反射率的银反射镜及高精度成像装置。

技术介绍

[0002]反射镜是广泛应用于高精度光学成像系统中的元器件，由于处理的入射光线并非平行光，为了保证成像质量，需要光学成像系统中的反射镜在支持多角度光线入射的前提下，还能够具有较高的反射率以及较小的偏振；但是，现有技术中的反射镜无法满足小角度入射光线的反射率需求，并且在对应的工作波段下偏振明显。
[0003]因此，需要一种具有高反射率的银反射镜及高精度成像装置，能够在支持多角度光线入射的前提下，提高反射镜在工作波段的反射率，同时减小偏振。

技术实现思路

[0004]针对上述现有技术中存在的问题，本技术提供了一种具有高反射率的银反射镜及高精度成像装置，能够在支持多角度光线入射的前提下，提高反射镜在工作波段的反射率，同时减小偏振。
[0005]本技术提供的一种具有高反射率的银反射镜，包括基底、银层与介质膜层，所述银层设置于所述基底上，所述银层的厚度为180～200nm；所述介质膜层设置于所述银层上背离所述基底的一面，所述介质膜层由多层SiO2膜层与多层Ta2O5膜层循环堆叠而成，所述介质膜层的总厚度为415～510nm；所述具有高反射率的银反射镜还包括粘结膜层与隔离膜层，所述粘结膜层位于所述基底与所述银层之间，所述隔离膜层位于所述银层与所述介质膜层之间。
[0006]进一步地，所述具有高反射率的银反射镜通过真空蒸发镀膜制备而成。
[0007]进一步地，所述具有高反射率的银反射镜的工作波段为350～750nm。
[0008]进一步地，所述基底为微晶玻璃。
[0009]进一步地，所述基底的表面粗糙度小于1nm，所述基底的PV值不大于0.2λ，并且所述基底的RMS值不大于0.025λ。
[0010]进一步地，所述粘结膜层的材质为铬，所述粘结膜层的厚度为25～35nm。
[0011]进一步地，所述隔离膜层的材质为Al2O3晶体，所述隔离膜层的厚度为15～25nm。
[0012]进一步地，所述介质膜层的第一层为致密膜层，所述致密膜层镀膜于所述隔离膜层的上表面。
[0013]进一步地，所述介质膜层的层数为奇数层，所述介质膜层的第一层与所述介质膜层的最后一层均为SiO2膜层。
[0014]本技术还提供一种高精度成像装置，包括以上所述的具有高反射率的银反射镜。
[0015]实施本技术，具有如下有益效果：
[0016]1、本技术采用一定厚度的银层作为主反射层，通过在银层上真空蒸镀得到由多层SiO2膜层与Ta2O5膜层循环堆叠而成的介质膜层，能够在支持多角度光线入射的前提下，大大提高该具有高反射率的银反射镜在工作波段的反射率，尤其是在短波波段内的反射率，同时极大地抑制偏振现象的出现；此外，在银层两侧分别设置粘结膜层与隔离膜层，有利于提升整体结构的强度与可靠性，使用寿命长。
[0017]2、本技术采用低粗糙度和高面型精度的基底，避免该具有高反射率的银反射镜出现成像误差而影响产品质量。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对实施例中所使用的附图作简单的介绍，其中相同的零部件用相同的附图标记表示。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。
[0019]图1为本技术的一种可能的实施方式中具有高反射率的银反射镜的剖面示意图；
[0020]图2为入射光线的入射角度为0
°
时常规银反射镜的反射率曲线图；
[0021]图3为本技术所提供的一种具有高反射率的银反射镜在入射光线的入射角度为0
°
时的反射率曲线图；
[0022]图4为入射光线的入射角度为50
°
时常规银反射镜的反射率曲线图；
[0023]图5本技术所提供的一种具有高反射率的银反射镜在入射光线的入射角度为50
°
时的反射率曲线图。
[0024]其中，图中附图标记对应为：1
‑
基底，2
‑
粘结膜层，3
‑
银层，4
‑
隔离膜层，5
‑
介质膜层，51
‑
SiO2膜层，52
‑
Ta2O5膜层。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前”、“后”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术，而不是指示或暗示所指的装置或结构必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；并且，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]实施例
[0027]本实施例提供一种高精度成像装置，在该高精度成像装置中设置一种具有高反射率的银反射镜，如说明书附图1所示，该具有高反射率的银反射镜整体通过真空蒸发镀膜制备而成，包括基底1、粘结膜层2、银层3、隔离膜层4与介质膜层5，以图1中所示方向为基准，基底1位于最下方，由此向上，粘结膜层2设置于基底1上表面，以便于后续银层3能够可靠地固定与基底1上，则银层3设置于粘结膜层2上表面，并且，银层3的厚度设置为180～200nm，
而银材料的反射性能优秀，在该厚度下，能够显著提升整体结构的反射率；而介质膜层5设置于银层3上背离基底1的一面，并且，银层3与介质膜层5之间还具有隔离膜层4，以隔离介质膜层5，保证该介质膜层5在制备时不会影响到已经形成的银层3，从而保证得到高质量的具有高反射率的银反射镜；此外，介质膜层5由多层SiO2膜层51与多层Ta2O5膜层52循环堆叠而成，能够显著降低偏振，并且，在本实施例中，介质膜层5的总厚度设置为415～510nm，在该厚度范围内，能够进一步提升反射率，同时能够有效抑制偏振。
[0028]具体地，在本实施例中，基底1为微晶玻璃，并且该微晶玻璃的表面粗糙度较低，而表面粗糙度是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度，表面粗糙度的值越小，说明表面越光滑，以表面粗糙度的一个高度特征参数Ra来表示，则Ra<1nm；而选择低表面粗糙度的基底1表面，能够减小该具有高反射率的银反射镜在近紫外光波段(350～400nm)的散射；同时，低表面粗糙度还有利于降低在基底1表面镀膜的难度，提升真空蒸镀所得膜层的厚度均匀性和平整性，从而全面地提升最终产品的成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有高反射率的银反射镜，其特征在于，包括基底(1)、银层(3)与介质膜层(5)，所述银层(3)设置于所述基底(1)上，所述银层(3)的厚度为180～200nm；所述介质膜层(5)设置于所述银层(3)上背离所述基底(1)的一面，所述介质膜层(5)由多层SiO2膜层(51)与多层Ta2O5膜层(52)循环堆叠而成，所述介质膜层(5)的总厚度为415～510nm；所述具有高反射率的银反射镜还包括粘结膜层(2)与隔离膜层(4)，所述粘结膜层(2)位于所述基底(1)与所述银层(3)之间，所述隔离膜层(4)位于所述银层(3)与所述介质膜层(5)之间。2.根据权利要求1所述的一种具有高反射率的银反射镜，其特征在于，所述具有高反射率的银反射镜通过真空蒸发镀膜制备而成。3.根据权利要求1所述的一种具有高反射率的银反射镜，其特征在于，所述具有高反射率的银反射镜的工作波段为350～750nm。4.根据权利要求1所述的一种具有高反射率的银反射镜，其特征在于，所述基底(1)为微晶玻璃。5.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：樊利花，林达世，侯树军，
申请(专利权)人：苏州厚朴传感科技有限公司，
类型：新型
国别省市：