一种直拉单晶炉底部排气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种直拉单晶炉底部排气装置，属于单晶炉技术领域，包括：水冷管、波纹管、三通管和汇合管；所述水冷管的一端固定连接在单晶炉底板的外底部，所述水冷管的另一端与所述波纹管固定连接，所述波纹管的另一端与所述三通管的第一端口固定连接，所述三通管的第二端口密封，所述三通管的第三管口与所述汇合管的一端固定连接，所述汇合管的另一端与球阀连接；其中，所述水冷管与所述单晶炉底板内的石墨排气管连通。本方案通过将现有现有的侧面排气方式改进为下排的方式，气体从上而下流入，扩大流入面积，增大了排气管口的流量，同时，增大排气口的直径，使管口流量进一步增大。使管口流量进一步增大。使管口流量进一步增大。

A bottom exhaust device for Czochralski single crystal furnace

【技术实现步骤摘要】
一种直拉单晶炉底部排气装置


[0001]本技术涉及单晶炉
，具体涉及一种直拉单晶炉底部排气装置。

技术介绍

[0002]直拉单晶炉排气装置系统是单晶炉设备中非常重要的系统，单晶炉拉制单晶过程中，炉内原料会产生大量的杂质及氧化物，这些产物会对设备及拉制过程产生不良影响，对其造成严重破坏。
[0003]现有的直拉单晶炉排气孔为侧面排气，该结构容易造成管道内部杂质及氧化物堆积，从而造成抽气、排气不畅。这种排气结构，对于生产存在较大风险，炉体内产生的杂质及氧化物不能及时排除，对于炉内设备造成损伤，成晶质量严重下降。
[0004]有鉴于此，设计一种新的排气结构，用以解决此问题。

技术实现思路

[0005]本技术针对上述问题，提供一种直拉单晶炉底部排气装置。
[0006]本技术采用的技术方案为：一种直拉单晶炉底部排气装置，包括：水冷管、波纹管、三通管和汇合管；
[0007]所述水冷管的一端固定连接在单晶炉底板的外底部，所述水冷管的另一端与所述波纹管固定连接，
[0008]所述波纹管的另一端与所述三通管的第一端口固定连接，所述三通管的第二端口密封，所述三通管的第三管口与所述汇合管的一端固定连接，
[0009]所述汇合管的另一端与球阀连接；
[0010]其中，所述水冷管与所述单晶炉底板内的石墨排气管连通。
[0011]进一步地，所述水冷管与所述单晶炉底板通过法兰连接。
[0012]更进一步地，所述水冷管上连接有进水水嘴座和出水水嘴座，所述进水水嘴座和所述出水水嘴座与通过管道与水源连接。
[0013]更进一步地，所述三通管的第二端口固定连接安全阀。
[0014]更进一步地，所述汇合管上固定连接有防爆检测管和测温检测管；
[0015]所述防爆检测管的端口安装有压力检测仪器，所述测温检测管的端口安装有温度检测仪器。
[0016]更进一步地，所述汇合管外形呈T型形状，其中，所述汇合管第一端口和第二端口均连接盲板，所述盲板通过卡箍分别固定连接在所述汇合管第一端口处和第二端口处。
[0017]更进一步地，所述单晶炉底板上的小径排气口通过盲板进行封堵，
[0018]所述单晶炉底板上的两个电极孔直径φ125mm，两个电极孔中心距离 660mm，其中，所述石墨排气管固定连接在所述电极孔上。
[0019]本技术的有益效果：
[0020]本方案通过将现有现有的侧面排气方式改进为下排的方式，气体从上而下流入，
扩大流入面积，增大了排气管口的流量，同时，增大排气口的直径，使管口流量进一步增大。
附图说明
[0021]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。
[0022]图1是本技术实施例的汇和管侧面结构示意图；
[0023]图2是本技术实施例的侧面结构示意图；
[0024]图3是本技术实施例的俯视结构示意图；
[0025]图4是本技术实施例的单晶炉底板；
[0026]图5是本技术实施例的立体结构示意图。
[0027]附图标记：
[0028]1为水冷管，2为波纹管，3为三通管，4为汇合管，5为单晶炉底板， 6为石墨排气管，7为防爆检测管，8为测温检测管，9为电极孔，10为排气口。
具体实施方式
[0029]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0030]参见图1至图5，如图1至图5所示，一种直拉单晶炉底部排气装置，包括：水冷管1、波纹管2、三通管3和汇合管4；
[0031]所述水冷管1的一端固定连接在单晶炉底板5的外底部，所述水冷管1 的另一端与所述波纹管2固定连接，
[0032]所述波纹管2的另一端与所述三通管3的第一端口固定连接，所述三通管3的第二端口密封，所述三通管的第三管口与所述汇合管4的一端固定连接，
[0033]所述汇合管4的另一端与球阀连接；
[0034]其中，所述水冷管1与所述单晶炉底板5内的石墨排气管6连通。
[0035]需要说明的是，本方案的主要专利技术点在于，在现有现有单晶炉的排气系统基础上进行改造，设计新的排气系统，降低炉内排气管道杂质及氧化物堆积，增大排气管道排气流量，从而降低杂质及氧化物的容量和对设备的损害，改善炉内生产环境，提高成晶率。
[0036]其中，现有排气通过石墨管从单晶炉的侧面排气方式，改变为废气下排的方式，且通过增加水冷管对废气降温，通过设置的汇合管可以对废气压力和温度进行检测，从而更加方便控制单晶炉的工作过程。
[0037]另外，波纹管的作用是控制管道内的压力，利用波纹管的收缩性功及可对管道内的压力进行调整。
[0038]其中，波纹管和三通管的连接顺序，可以将波纹管先与水冷管连接，然后波纹管再与三通管连接，亦可三通管先与水冷管连接，然后三通管再与波纹管连接。
[0039]本技术的一实施例中，所述水冷管1与所述单晶炉底板5通过法兰连接。其中，法兰连接水冷管，便于后期的拆卸和维修。
[0040]本技术的一实施例中，所述水冷管1上连接有进水水嘴座和出水水嘴座，所述
进水水嘴座和所述出水水嘴座与通过管道与水源连接。
[0041]其中，水冷管的作用是，对废气进行降温，降低废气对后续流程中管道的损伤。
[0042]本技术的一实施例中，所述三通管3的第二端口固定连接安全阀。
[0043]本技术的一实施例中，所述汇合管4上固定连接有防爆检测管7 和测温检测管8；
[0044]所述防爆检测管7的端口安装有压力检测仪器，所述测温检测管8的端口安装有温度检测仪器。
[0045]其中，防爆检测管的作用是，便于压力检测仪器对废气的压力进行检测，当压力超过设定值时，压力检测元件及时报警。
[0046]温度检检测管的作用是，便于温度检测仪器对废气的温度进行检测，从而及时对水冷管内的水温进行调整。
[0047]本技术的一实施例中，所述汇合管4外形呈T型形状，其中，所述汇合管4第一端口和第二端口均连接盲板，所述盲板通过卡箍分别固定连接在所述汇合管4第一端口处和第二端口处。
[0048]本技术的一实施例中，所述单晶炉底板5上的小径排气口10通过盲板进行封堵，
[0049]所述单晶炉底板5上的两个电极孔9直径φ125mm，两个电极孔中心距离660mm，其中，所述石墨排气管6固定连接在所述电极孔上。
[0050]本技术提供的一种直拉单晶炉底部排气装置，使用时，单晶炉内产生气体进入石墨排气管，然后顺着石墨排气管依次进入水冷管、波纹管、三通管、汇合管，最终从回本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直拉单晶炉底部排气装置，其特征在于，包括：水冷管、波纹管、三通管和汇合管；所述水冷管的一端固定连接在单晶炉底板的外底部，所述水冷管的另一端与所述波纹管固定连接，所述波纹管的另一端与所述三通管的第一端口固定连接，所述三通管的第二端口密封，所述三通管的第三管口与所述汇合管的一端固定连接，所述汇合管的另一端与球阀连接；其中，所述水冷管与所述单晶炉底板内的石墨排气管连通。2.根据权利要求1所述的直拉单晶炉底部排气装置，其特征在于，所述水冷管与所述单晶炉底板通过法兰连接。3.根据权利要求2所述的直拉单晶炉底部排气装置，其特征在于，所述水冷管上连接有进水水嘴座和出水水嘴座，所述进水水嘴座和所述出水水嘴座与通过管道与水源连接。4.根据权利要求1所述的直拉单晶炉底部排气装...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯立学，张玉峰，冯金涛，
申请(专利权)人：西安维柯亿新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：