一种检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及检测装置技术领域，公开了一种检测装置。检测装置包括基座、减振机构、垂向机构和制动机构。基座设有载台；减振机构设置于基座底部；垂向机构连接于基座并位于载台的正上方，垂向机构包括驱动件、导轨和连接件，连接件与竖直设置的导轨滑动连接，驱动件驱动连接件沿导轨滑动，连接件上连接有检测仪器；制动机构包括制动器和连接导轨，制动器连接于基座，连接导轨连接于连接件，连接导轨竖直设置，连接导轨穿设制动器，且制动器能够制动连接导轨。本发明专利技术实现提高检测装置的竖直方向的刚度，提高垂向机构上连接板的定位精度及位置稳定性，有利于实现连接件、载台与基座相对静止，利于实现较高的位置稳定性要求，保证检测结果的准确性。的准确性。的准确性。

A detection device

【技术实现步骤摘要】
一种检测装置


[0001]本专利技术涉及检测装置
，尤其涉及一种检测装置。

技术介绍

[0002]在晶圆或掩模版缺陷检测领域，检测装置的定位精度及位置稳定性直接影响检测的结果。随着半导体芯片制程不断发展，用于检测晶圆或掩模版的检测装置向着更精密、更准确、更高产的方向发展。
[0003]现有技术中的检测装置，其包括基座、减振机构、垂向机构、检测仪器、平移旋转机构。减振机构、垂向机构、平移旋转机构均安装在基座上。平移旋转机构上设置有用于承载晶圆或掩模版的载台，并能够带动载台平移或绕竖直轴线转动。垂向机构设置于载台上方且包括能够沿竖直升降的连接板，连接板连接于检测仪器。基座底部设置有减振机构。
[0004]传统的垂向机构一般是电机驱动精密滚珠丝杆转动，配合导轨实现检测仪器的升降。电机停转时，由于减振机构会使基座振动从而产生残余加速度，而且受到滚珠丝杆自身轴向刚度的制约，连接板会产生相对基座的移动，使得检测仪器相对载台移动，从而垂向机构上连接板的定位精度及位置稳定性不能满足较高的位置稳定性要求，也就降低了检测装置对晶圆和掩模版的检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，包括：基座(1)，所述基座(1)上设置有载台；减振机构(2)，设置于所述基座(1)底部；垂向机构(3)，连接于所述基座(1)并位于所述载台的正上方，所述垂向机构(3)包括驱动件(31)、导轨(32)和连接件(33)，所述连接件(33)与竖直设置的所述导轨(32)滑动连接，所述驱动件(31)用于驱动所述连接件(33)沿所述导轨(32)滑动，所述连接件(33)上连接有检测仪器(10)；制动机构(4)，包括制动器(41)和连接导轨(42)，所述制动器(41)连接于所述基座(1)，所述连接导轨(42)连接于所述连接件(33)，所述连接导轨(42)竖直设置，所述连接导轨(42)穿设于所述制动器(41)，且所述制动器(41)能够制动所述连接导轨(42)。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括第一限位件(51)，所述连接件(33)上连接有上限位件(331)，所述上限位件(331)与所述连接件(33)连接，所述第一限位件(51)位于所述上限位件(331)的正上方，且所述上限位件(331)能够与所述第一限位件(51)抵接。3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括第二限位件(52)，所述连接件(33)上连接有下限位件(332)，所述第二限位件(52)位于所述下限位件(332)的正下方，且所述下限位件(332)能够与所述第二限位件(52)抵接。4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述下限位件(332)为微分头，所述微分头能够沿竖直方向调节所述连接件(33)的位置。5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括限位组件(7)，所述限位组件(7)连接于所述基座(1)，所述限位组件(7)用于限制所述连接件(33)在所述导轨(32)上的最高位置和/或最低位置；和/或，所述检测装置还包括位置检测件(8)，所述位置检测件(8)连接于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：马方波，郑锋标，陈淮阳，
申请(专利权)人：合肥御微半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：