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本发明涉及检测装置技术领域，公开了一种检测装置。检测装置包括基座、减振机构、垂向机构和制动机构。基座设有载台；减振机构设置于基座底部；垂向机构连接于基座并位于载台的正上方，垂向机构包括驱动件、导轨和连接件，连接件与竖直设置的导轨滑动连接，驱...
该专利属于合肥御微半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥御微半导体技术有限公司授权不得商用。

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