【技术实现步骤摘要】
一种防脱模装置及真空贴膜机
[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种防脱模装置及真空贴膜机。
技术介绍
[0002]现有机台薄膜扩展单元由薄膜、切刀和框架平台组成。其中框架平台利用真空吸附晶圆框架，然后将胶带贴合到晶圆框架上，最后由切刀将贴合着薄膜的晶圆框架分离出来。在薄膜供应过程中，如果出现薄膜走向偏离，夹取时薄膜出现折叠黏合，扩展单元夹子的夹取压力不一致，扩展单元夹子的夹取压力降低等因素，都有可能会造成夹取失败，导致脱模。且现有机台的薄膜拓展单元对于薄膜的走向，两边夹子的夹取压力等无法进行侦测，机台报警也只是发生在脱膜之后，而对此的处理往往也只是更换薄膜以及对气缸压力进行手动调节，只能够起到暂时性的作用，无法从根本上解决问题。
[0003]因此，如何提供一种防脱模装置及真空贴膜机，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种防脱模装置及真空贴膜机，以解决现有技术存在的机台的薄膜拓展单元对于薄膜的走向，两边夹...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种防脱模装置，所述防脱模装置用于真空贴膜机中以夹取薄膜，其特征在于，包括：相对设置的第一支撑结构和第二支撑结构、第一夹取单元、第二夹取单元、多个气缸、多个感应单元和多个检测单元；所述第一支撑结构的内侧设置有所述第一夹取单元和多个所述气缸，所述第一支撑结构的外侧设置有多个所述感应单元；其中，所述第一支撑结构的内侧为所述第一支撑结构朝向所述第二支撑结构的一侧，所述第一支撑结构的外侧为所述第一支撑结构远离所述第二支撑结构的一侧；所述第二支撑结构的内侧设置有所述第二夹取单元和多个所述气缸，所述第二支撑结构的外侧设置有多个所述感应单元；其中，所述第二支撑结构的内侧为所述第二支撑结构朝向所述第一支撑结构的一侧，所述第二支撑结构的外侧为所述第二支撑结构远离所述第一支撑结构的一侧；所述第一夹取单元和所述第二夹取单元上分别设有所述检测单元。2.如权利要求1所述的一种防脱模装置，其特征在于，所述第一夹取单元包括第一上端夹取单元和第一下端夹取单元，所述第一上端夹取单元固定在所述第一支撑结构，所述第一下端夹取单元可上下调节的设置在所述第一上端夹取单元下方；所述第二夹取单元包括第二上端夹取单元和第二下端夹取单元，所述第二上端夹取单元固定在所述第二支撑结构，所述第二下端夹取单元可上下调节的设置在所述第二上端夹取单元下方。3.如权利要求2所述的一种防脱模装置，其特征在于，所述第一上端夹取单元与所述薄膜的接触面、所述第一下端夹取单元与所述薄膜的接触面、所述第二上端夹取单元与所述薄膜的接触面以及所述第二下端夹取单元与所述薄膜的接触面为光滑平面，用于夹取薄膜。4.如权利要求2所述的一种防脱模装置，其特征在于，所述检测单元包括：透射式物体检测传感器，所述透射式物体检测传感器包括：透射式物体检测传感器发射端和透射式物体检测传感器接收端；设置在所述第一夹取单元上的所述透射式物体检测传感器有两个，两个所述透射式物体检测传...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵辉，谢宗其，王力，陈耀祖，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。