一种晶圆片用固定装置制造方法及图纸

一种晶圆片用固定装置，至少包括：石英舟；固定架，置于所述石英舟上方，能够在晶圆片立放于所述石英舟内时与所述晶圆片卡接配合，以使所有所述晶圆片放置在所述石英舟和所述固定架之间形成的放置空间内不晃动。本实用新型专利技术通过在晶圆片的上端面设有镂空设置的固定架，固定架可与下置的石英舟共同作用提高晶圆片放置的稳定性，防止晶圆片晃动，降低碎片几率；同时还在每个晶圆片的两侧都设有可用于导流的导板，导板不仅可进一步提高晶圆片的固定，还可使冷风全部沿导流吹进导板形成的导流仓内，加快冷却速度和冷却均匀度，可进一步降低氧施主的产生，提高电阻率测量的准确性；不仅节约退火时间，还可节约能源，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

A fixing device for wafer

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片用固定装置


[0001]本技术属于硅片退火工艺
，尤其是涉及一种晶圆片用固定装置。

技术介绍

[0002]在晶圆片制造过程中，需要对其电阻率进行监控，因其电阻率受温度的影响，会产生氧施主，氧施主对电阻率的影响较大，需要在退火炉中进行快速退火，以降低氧施主量，提高电阻率的准确性。
[0003]但在现有退火炉中的石英舟都是开放式的底盘状结构，晶圆片的下段部的部分立放在石英舟上，其上段部都是悬空放置；在退火过程中，受冷气流速度的影响，晶圆片在石英舟上容易晃动，极易造成碎片。而且，由于风向为发散式吹，直吹至晶圆片表面上的风力较弱，使得其表面温度无法快速降温，为产生氧施主而延长时间，会增大测试晶圆片电阻率的困难；而且，对晶圆片的温度风量利用率交底，能源浪费严重。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种晶圆片用固定装置，尤其是适用于退火炉中的晶圆片的固定，提出如何在退火炉中设置一种放置晶圆片的固定装置，在保证其稳定放置的基础上还能快速将冷风完全吹散到晶圆片的表面的技术问题。
[0005]为解决至少一个上述技术问题，本技术采用的技术方案是：
[0006]一种晶圆片用固定装置，至少包括：
[0007]石英舟；
[0008]固定架，置于所述石英舟上方，能够在晶圆片立放于所述石英舟内时与所述晶圆片卡接配合，以使所有所述晶圆片放置在所述石英舟和所述固定架之间形成的放置空间内不晃动。
[0009]进一步的，所述固定架为中间镂空的长方形结构，其四周设有围杆，且所述围杆配设有用于卡固所述晶圆片的卡槽；且所述卡槽与所述石英舟中放置所述晶圆片的插槽相对应。
[0010]进一步的，每个所述晶圆片与所述围杆的两个连接点的切线为垂直设置。
[0011]进一步的，所述卡槽垂直于较长的所述围杆的轴线设置。
[0012]进一步的，所述固定架的长度与所述石英舟中的支杆长度相同，且其宽度不大于所述石英舟的最大宽度。
[0013]进一步的，还包括若干插值于所述石英舟内并与所述固定架连接的导板；所述导板使所述石英舟被分割成若干底部互通的放置仓，并使所述晶圆片隔离放置在所述放置仓内。
[0014]进一步的，所述导板的上下两端分别与所述固定架上的所述卡槽和所述石英舟上的所述插槽可拆卸连接设置。
[0015]进一步的，所述导板高度小于所述晶圆片的直径。
[0016]进一步的，所述导板均匀地设置在所述石英舟上。
[0017]进一步的，所述导板为方型结构或圆形结构。
[0018]采用本技术设计的一种晶圆片用固定装置，通过在晶圆片的上端面设有镂空设置的固定架，固定架可与下置的石英舟共同作用提高晶圆片放置的稳定性，防止晶圆片晃动，降低碎片几率；同时还在每个晶圆片的两侧都设有可用于导流的导板，导板不仅可进一步提高晶圆片的固定，还可使冷风全部沿导流吹进导板形成的导流仓内，加快冷却速度和冷却均匀度，可进一步降低氧施主的产生，提高电阻率测量的准确性；不仅节约退火时间，还可节约能源，降低生产成本。
附图说明
[0019]图1是本技术一实施例中的一种晶圆片用固定装置的结构示意图；
[0020]图2是本技术一实施例中的一种晶圆片用固定装置的侧视图；
[0021]图3是本技术一实施例中的石英舟的结构示意图；
[0022]图4是本技术一实施例中的固定架的结构示意图；
[0023]图5是本技术另一实施例中的一种晶圆片用固定装置的结构示意图；
[0024]图6是本技术另一实施例中的一种晶圆片用固定装置的侧视图。
[0025]图中：
[0026]10、石英舟
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
11、支杆
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
12、端板
[0027]13、插槽
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
20、固定架
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
21、围杆
[0028]22、卡槽
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
30、导板
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
40、晶圆片
具体实施方式
[0029]下面结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明。
[0030]本实施例提出一种晶圆片用固定装置，如图1所示，至少包括：石英舟10和置于石英舟10上方的固定架20，固定架20能够在晶圆片40立放于石英舟10内时与晶圆片40卡接配合，以使所有晶圆片40放置在石英舟10和固定架20之间形成的放置空间内不晃动。
[0031]如图2所示，石英舟10包括若干支杆11并排错位设置的半弧面结构，支杆11的端面设有端板12，端板12中间设有通孔，便于气流流通；在本实施例中，设有四个对称设置的支杆11，其中，这四个支杆11与晶圆片40连接的点均在晶圆片40的下段部，也即是晶圆片40下半圆内。
[0032]优选地，石英舟10中的最外侧的两个支杆11与晶圆片40的支撑点的切线是垂直设置的，也即是最外侧的两个支杆11与晶圆片40的支撑点的切线的夹角是90
°
，此时，最外侧的两个支杆11对晶圆片40的支撑力最大，且支撑力都直接交汇于晶圆片40的圆心；最外侧的两个支杆11对晶圆片40的支撑力最大，使得其对晶圆片40的支撑最稳。
[0033]进一步的，最内侧的两个支杆11与晶圆片40连接点的切线夹角为45
°
，这两支杆11对晶圆片40的支撑力的交点低于晶圆片40的圆心所在高度，使得该内侧的两个支杆11对晶圆片40的支撑力可进一步提高石英舟10对晶圆片40下段部支撑的稳定性。
[0034]在支杆11的长度方向上设有若干间隔且均匀设置的插槽13，每个支杆11上的插槽13均朝向立放设置的晶圆片40的纵向中心轴线上设置，且均垂直于支杆11的长度轴线设
置。仅用四个支杆11和两个端板12做成的石英舟10，不仅结构简单，易于气流穿过与晶圆片40接触，而且还易于加工，可向晶圆片40提供最少且最稳定的支撑力。
[0035]如图3所示，固定架20为中间镂空的长方形结构，其四周设有围杆21，且在长度方向上的围杆21上配设有用于卡固晶圆片40的卡槽22；且卡槽22与石英舟10中支杆11上设置的插槽12一一对应，并且所有卡槽22均是垂直于较长的围杆21的轴线设置，不仅易于加工，且易于与晶圆片40卡固配合。
[0036]为了保证晶圆片40上端位置放置的稳定性，且使每个晶圆片40所受的固定力是最大且最稳定，优选地，每个晶圆片40与围杆21的两个连接点的切线为垂直设置，如图4所示。而且，这一结构中晶圆片40受固定架20的固定力与石英舟10中最外侧的两个支杆11的支撑力是对称设置且对角设置的支撑力和固定力都贯穿晶圆片40的圆心直径，这样沿每一个晶圆片40的直径上的两个力可相互抵消，从而可降低晶圆片40的受力程度，进一步提高晶圆片40在石英舟10上立放的稳定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片用固定装置，其特征在于，至少包括：石英舟；固定架，置于所述石英舟上方，能够在晶圆片立放于所述石英舟内时与所述晶圆片卡接配合，以使所有所述晶圆片放置在所述石英舟和所述固定架之间形成的放置空间内不晃动。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片用固定装置，其特征在于，所述固定架为中间镂空的长方形结构，其四周设有围杆，且所述围杆配设有用于卡固所述晶圆片的卡槽；且所述卡槽与所述石英舟中放置所述晶圆片的插槽相对应。3.根据权利要求2所述的一种晶圆片用固定装置，其特征在于，每个所述晶圆片与所述围杆的两个连接点的切线为垂直设置。4.根据权利要求2或3所述的一种晶圆片用固定装置，其特征在于，所述卡槽垂直于较长的所述围杆的轴线设置。5.根据权利要求4所述的一种晶圆片用固定装置，其特征在于，所述固定架的长度与所述石英舟中的支杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨强，周宏邦，张恒，贾海洋，娄中士，王淼，甄新雷，许晓玲，
申请(专利权)人：内蒙古中环领先半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：