一种用于微电子材料的短距离移动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及微电子材料生产移动技术领域，且公开了一种用于微电子材料的短距离移动装置，包括覆板，所述覆板的顶部设置有固定齿，所述覆板通过限位块与主体板活动连接，所述主体板上开设有贯穿储物槽，所述主体板通过气动伸缩模块与背板活动连接，所述所述背板上固定连接有握把，所述背板上设置有气压模，所述气压模上开设有气孔一，所述主体板的侧面固定连接有固定模块，所述固定模块与电动机的侧面固定连接。该用于微电子材料的短距离移动装置，通过气压控制按钮控制气压模上的气孔一吸气，在主体板上的储物槽内形成负气压，通过负气压做到将微电子材料吸附固定在储物槽内，提高了微电子材料的良率。高了微电子材料的良率。高了微电子材料的良率。

A short distance mobile device for Microelectronic Materials

【技术实现步骤摘要】
一种用于微电子材料的短距离移动装置


[0001]本技术涉及微电子材料生产移动
，具体为一种用于微电子材料的短距离移动装置。

技术介绍

[0002]微电子材料，就是一种由GeSi合金和宽禁带合成的半导体材料，主要是大直径(400mm)硅晶体及片材技术，大直径(200mm)硅片外延技术，150mmGaAs 和100mmlnP晶片及其以它们为基的半导体超晶格、量子阱异质结构材料制备技术，GeSi合金和宽禁带半导体材料等，当材料进行加工移动运输时较为麻烦。
[0003]现有的微电子材料夹取装备多数采用夹取设备与半导体材料的摩擦力，来将微电子材料夹起，微电子材料极为精密，使用夹取装备夹取时因摩擦力的作用有很大的损坏风险，且仅能单个进行夹取，为此，我们提出了一种用于微电子材料的短距离移动装置。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于微电子材料的短距离移动装置，具备不使用摩擦力，能够起到保护作用，且能多个材料一起移动的优点，解决了现有夹持设备可能因摩擦力对材料进行损伤，且仅能单个夹取的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述不使用摩擦力，能够起到保护作用，且能多个材料一起移动目的，本技术提供如下技术方案：一种用于微电子材料的短距离移动装置，包括覆板，所述覆板的顶部设置有固定齿，固定齿与电动机顶部的齿轮相契合，所述覆板通过限位块与主体板活动连接，覆板可通过限位块完全覆盖在主体板上，所述主体板上开设有贯穿储物槽，储物槽用以存放微电子材料，所述主体板通过气动伸缩模块与背板活动连接，通过气动伸缩模块的伸缩运动，使背板上的气压模在主体板上的储物槽内上下运动，所述背板上固定连接有握把，所述背板上设置有气压模，所述气压模上开设有气孔一，所述主体板的侧面固定连接有固定模块，所述固定模块与电动机的侧面固定连接，所述电动机的顶部活动连接有齿轮，所述握把上固定连接有气管连接模块，气管连接模块与气管二相连，为气动伸缩模块提供气压，为气压模提供气压，所述握把上固定连接有电动机控制按钮，电动机控制按钮控制电动机的正传，反转或者停止，所述握把上固定连接有气压控制按钮，通过气压控制按钮，控制气压模上气孔一的吸气或者吐气，所述握把上固定连接有伸缩控制按钮，伸缩控制按钮通过控制气孔二的吸气或吐气来控制气动伸缩模块的伸缩。
[0008]优选的，所述气动伸缩模块包括气缸和气杆，所述气杆的内部为中空设置有气孔二，所述气孔二通过伸缩控制按钮与气管连接模块相连，气管连接模块提供气压，有伸缩控制按钮控制气缸内的气压，以此来控制气缸与气杆的相对位置，控制整体气动伸缩模块的伸缩状况。
[0009]优选的，所述储物槽与气压模相互契合，所述气动伸缩模块完全压缩时，气压模的顶面与主体板的前平面重合，通过气动伸缩模块的伸缩，调节气压模在储物槽内的位置，当储物槽内成负气压使微电子材料被吸入储物槽内，所述储物槽与微电子材料相契合。
[0010]优选的，所述固定齿与齿轮相契合，所述覆板与主体板相契合，所述电动机通过内部电路与电动机控制按钮相连，当电动机通电时，电动机带动齿轮转动，齿轮与固定齿契合，使覆板整体移动，能够整体覆盖在主体板上，防止微电子材料掉落。
[0011](三)有益效果
[0012]与现有技术相比，本技术提供了一种用于微电子材料的短距离移动装置，具备以下有益效果：
[0013]1、该用于微电子材料的短距离移动装置，通过气压控制按钮控制气压模上的气孔一吸气，在主体板上的储物槽内形成负气压，使微电子材料因气压的作用被吸附在与微电子材料相适配的储物槽内，通过负气压做到将微电子材料吸附固定在储物槽内，通过简单的构造，合理地设计，避免了因摩擦力的作用可能对微电子材料造成的损伤，提高了微电子材料的良率。
[0014]2、该用于微电子材料的短距离移动装置，通过电动机控制按钮控制电动机带动齿轮转动，通过齿轮与固定齿啮合，将覆板移动到主体板的前方，挡住储物槽，防止储物槽内微电子材料掉落，造成损伤，起到保护作用。
[0015]3、该用于微电子材料的短距离移动装置，通过在正面板上开设有5
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5 总共25个储物槽，达到了能够同时抓取25个微电子材料，解决了原有夹持设备仅能单个夹取的问题，提高了工作效率，增加了人员利用率，能够单人进行多个材料的操作。
[0016]4、该用于微电子材料的短距离移动装置，通过气动伸缩模块可控制气压模在储物槽内的位置，来控制运输时储物槽的深度，可对整体结构进行调整，能够适用于形状相同厚度不同的微电子材料，提高了设备的通用性，解决了设备的单一对应问题，使用相对简单的结构设计，满足不同种类的材料要求，设计巧妙。
附图说明
[0017]图1为本技术整体结构示意图；
[0018]图2为本技术反面结构示意图；
[0019]图3为本技术气动伸缩模块结构示意图；
[0020]图4为本技术固定齿结构示意图。
[0021]图中：1、覆板；2、限位块；3、固定齿；4、齿轮；5、电动机；6、背板；7、储物槽；8、主体板；9、气孔一；10、固定模块；11、气压模；12、气管连接模块；13、电动机控制按钮；14、气压控制按钮；15、伸缩控制按钮；16、握把；17、气动伸缩模块；18、气缸；19、气杆；20、气孔二。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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4，一种用于微电子材料的短距离移动装置，包括覆板1，覆板1的顶部设置有固定齿3，固定齿3与电动机5顶部的齿轮4相契合，覆板 1通过限位块2与主体板8活动连接，覆板1可通过限位块2完全覆盖在主体板8上，主体板8上开设有贯穿储物槽7，储物槽7用以存放微电子材料，主体板8通过气动伸缩模块17与背板6活动连接，通过气动伸缩模块17的伸缩运动，使背板6上的气压模11在主体板8上的储物槽7内上下运动，背板 6上固定连接有握把16，背板6上设置有气压模11，气压模11上开设有气孔一9，主体板8的侧面固定连接有固定模块10，固定模块10与电动机5的侧面固定连接，电动机5的顶部活动连接有齿轮4，握把16上固定连接有气管连接模块12，气管连接模块12与气管二20相连，为气动伸缩模块17提供气压，为气压模11提供气压，握把16上固定连接有电动机控制按钮13，电动机控制按钮13控制电动机5的正传，反转或者停止，握把16上固定连接有气压控制按钮14，通过气压控制按钮14，控制气压模11上气孔一9的吸气或者吐气，握把16上固定连接有伸缩控制按钮15，伸缩控制按钮15通过控制气孔二2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于微电子材料的短距离移动装置，包括覆板(1)，其特征在于：所述覆板(1)的顶部设置有固定齿(3)，所述覆板(1)通过限位块(2)与主体板(8)活动连接，所述主体板(8)上开设有贯穿储物槽(7)，所述主体板(8)通过气动伸缩模块(17)与背板(6)活动连接，所述背板(6)上固定连接有握把(16)，所述背板(6)上设置有气压模(11)，所述气压模(11)上开设有气孔一(9)，所述主体板(8)的侧面固定连接有固定模块(10)，所述固定模块(10)与电动机(5)的侧面固定连接，所述电动机(5)的顶部活动连接有齿轮(4)，所述握把(16)上固定连接有气管连接模块(12)，所述握把(16)上固定连接有电动机控制按钮(13)，所述握把(16)上固定连接有气压控制按钮(14)，所述握把(16)上固定连接有伸缩控...

【专利技术属性】
技术研发人员：周川，
申请(专利权)人：深圳市世纪互通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：