一种基于单晶铌酸锂薄膜的偏振滤波型相位调制器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于单晶铌酸锂薄膜的偏振滤波型相位调制器，可应用于光通信、光计算、微波光子技术等，属于集成光学领域。本发明专利技术器件结构主要是铌酸锂薄膜(LNOI)上沉积氮化硅构成加载条型直波导、直波导上前端做金属银覆层构成具有偏振滤波功能的波导结构，以及在波导后端两侧设置相位控制电极结构。本发明专利技术的结构设计可同时实现偏振滤波和相位调制，使整个结构更为紧凑、高效，更有利于实现光路集成。更有利于实现光路集成。更有利于实现光路集成。

【技术实现步骤摘要】
一种基于单晶铌酸锂薄膜的偏振滤波型相位调制器

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[0001]本专利技术属于集成光学领域，涉及一种基于铌酸锂薄膜(LNOI)的偏振滤波型相位控制器，可应用于光通信、光计算、微波光子技术等。

技术介绍

[0002]铌酸锂(LN)作为一种新型材料具有诸多优良的光学特性，包括电光系数大、非线性光学效应、宽光学透明窗口、温度稳定性好，热光系数低等，因此，在过去的十几年中，铌酸锂在集成光学领域得到迅速发展。新发展的新型单晶铌酸锂薄膜，很大程度上保留了铌酸锂的固有优势，整体结构厚度在微米量级，其中铌酸锂薄膜的厚度仅在亚微米量级，加之铌酸锂折射率(n≈2.1)与二氧化硅折射率(n≈1.4)差高达0.7，故利用LNOI结构制作的波导对光的束缚能力很强，可以将光模场限定在很小范围内，从而可以实现器件的小型化和集成化。光波导是集成光学中的基础光学元件，是光信号传输的通道，也是多种复杂光学器件的主要结构之一。铌酸锂薄膜的波导结构主要有铌酸锂脊型波导和加载条脊型波导两种类型。以单晶铌酸锂薄膜为基底，通过刻蚀和沉积等方法在LN的表面形成脊型结构，可以有效地束缚光(Δn≈0本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于单晶铌酸锂薄膜的偏振滤波型相位调制器，包括光波导(8)和相位控制电极(3)，所述的光波导(8)由光波导层(1)制成，光波导层(1)由下至上包括LNOI铌酸锂薄膜以及二氧化硅保护层(4)，其中，所述的LNOI铌酸锂薄膜由下至上包括二氧化硅缓冲层(7)和铌酸锂层(6)，其特征在于：所述相位调制器集成在同一芯片上，具有滤波和相位调制的功能；对光波导层(1)进行了改进，改进之处在于，所述的铌酸锂层(6)采用X切Y传型铌酸锂，并在所述铌酸锂层(6)上面采用沉积氮化硅形成氮化硅加载条层(5)；在光波导(8)的前端上层增加滤波金属银覆层(2)对光波进行滤波；...

【专利技术属性】
技术研发人员：王大勇，于硕，王云新，杨登才，向美华，王卓，杨锋，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：