一种基于石墨烯的太赫兹波段偏振不敏感光调制器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于石墨烯的太赫兹波段偏振不敏感光调制器，包括倒置的“U”型石墨烯层、二氧化硅包层、二氧化硅衬底层、方形GaAs芯层、倒置的“U”型多晶硅电极层和两个金属电极；方形GaAs芯层被二氧化硅包层包裹，位于二氧化硅衬底层上方；倒置的“U”型多晶硅电极层夹杂在二氧化硅包层和二氧化硅衬底层中；倒置的“U”型石墨烯层平放在二氧化硅包层和二氧化硅衬底层上方；两个金属电极分别放置于左边多晶硅电极层上方和右边的石墨烯层上方；通过调节外加电压改变石墨烯的费米能级即改变石墨烯的复介电常数从而影响TE和TM模式的模厂能量分布，做到对两束正交的偏振光进行同时调制。十分紧凑，有利用太赫兹光路的集成。有利用太赫兹光路的集成。有利用太赫兹光路的集成。

【技术实现步骤摘要】
一种基于石墨烯的太赫兹波段偏振不敏感光调制器


[0001]本技术涉及电光调制器
，具体涉及一种基于石墨烯的太赫兹波段偏振不敏感光调制器。

技术介绍

[0002]太赫兹波的光子能量小、穿透性好、带宽宽等独特性质在国家安全、生物医学、太赫兹通讯等方面都有着重要应用。石墨烯(Graphene)，一种碳原子紧密堆积成的具有六边形蜂窝状的二维结构，被认为是一种可以替代贵金属实现中红外到太赫兹波段表面等离子体波激励和传输的新型材料。通过改变石墨烯的化学掺杂、外加电场、磁场、门电路电压等可以实现对石墨烯的复电导率的灵活调节，所以在光调制器中已得到广泛的研究和应用。
[0003]电光调制器作为当代光通信收发模块应用中的核心器件，其性能的好坏将直接决定网络传输的性能。传统的基于铌酸锂的光电调制器虽然技术成熟，但其器件尺寸大不利于集成。硅调制器虽然与CMOS(Complementary Metal OxideSemiconductor)工艺兼容，但是面临光电效率低的问题。基于III
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V的调制器的尺寸虽小，但是插入损耗和热稳定性仍有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于石墨烯的太赫兹波段偏振不敏感光调制器，其特征在于，包括倒置的“U”型石墨烯层、二氧化硅包层、二氧化硅衬底层、方形GaAs芯层、倒置的“U”型多晶硅电极层和两个金属电极；所述方形GaAs芯层被二氧化硅包层包裹，位于二氧化硅衬底层上方；所述倒置的“U”型多晶硅电极层夹杂在二氧化硅包层和二氧化硅衬底层中；所述倒置的“U”型石墨烯层平放在二氧化硅包层和二氧化硅衬底层上方；两个金属电极分别放置于左边多晶硅电极层上方和右边的石墨烯层上方；通过调节外加电压改变石墨烯的费米能级即改变石墨烯的复介电常数从而影响TE和TM模式的模厂能量分布，做到对两束正交的偏振光进行同时调制。2.根据权利要求1所述的基于石墨烯的太赫兹波段偏振不敏感光调制器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王迎来，王子昂，黄旭光，周桂耀，
申请(专利权)人：华南师范大学，
类型：新型
国别省市：