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本发明公开了一种基于单晶铌酸锂薄膜的偏振滤波型相位调制器，可应用于光通信、光计算、微波光子技术等，属于集成光学领域。本发明器件结构主要是铌酸锂薄膜(LNOI)上沉积氮化硅构成加载条型直波导、直波导上前端做金属银覆层构成具有偏振滤波功能的波导...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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