一种X射线荧光分析系统及其分析方法技术方案

本发明专利技术涉及一种X射线荧光分析系统及其分析方法。系统包括：X射线源；单色光学器件用于对X射线源发出的X射线进行单色化，得到单色光束，并利用单色光束对待测样品进行激发；探测器用于探测待测样品受激发后所产生的X射线荧光信号；处理器用于接收X射线荧光信号，并根据X射线荧光信号对待测样品进行元素分析。本发明专利技术将X射线进行单色化，能将X射线中的无用信号滤除掉，有效降低了散射背景，提高检测灵敏度；还能从X射线的有用信号中取一部分能量段，便于后续待测样品的聚焦激发，进一步提高检测灵敏度；能提供前所未有的低检测限，可用于液体样品、固体样品或其他基质样品中痕量元素等低检测限的元素分析，拓宽了适用范围。拓宽了适用范围。拓宽了适用范围。

【技术实现步骤摘要】
一种X射线荧光分析系统及其分析方法


[0001]本专利技术涉及能量色散X射线荧光
，特别涉及一种X射线荧光分析系统及其分析方法。

技术介绍

[0002]X射线荧光分析技术(X Ray Fluorescence，简称XRF)是一种成熟的的元素分析技术，因其具备非破坏性、样品制备量小和动态范围大等优点，被广泛应用于许多工业和研究领域的元素分析中。
[0003]X射线荧光分析技术通常采用X射线源(X射线光管+高压电源)产生X射线，X射线中含有靶材元素的特征谱线和连续的韧致辐射谱线。图1
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1和图1
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2均为钼靶材X射线源发出的谱线，图1
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1中的阴影部分表示了靶材的特征谱线，图1
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2的阴影部分表示韧致辐射谱线的其中一部分。当产生的X射线入射到样品时，会发生三种主要的效应，分别为光电吸收、弹性散射(也称不变质散射或瑞利散射)和非弹性散射(也称变质散射或康普顿散射)，其中光电吸收效应指的是X射线可以激发样品中元素，得到样品中各元素的特征X射线荧光信号，基于各元素的特征本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种X射线荧光分析系统，其特征在于，包括：X射线源；单色光学器件，设于所述X射线源的输出光路上；用于接收所述X射线源发出的X射线，对所述X射线进行单色化，得到单色光束，并利用所述单色光束对待测样品进行激发；探测器，设于所述待测样品附近；用于探测所述待测样品受所述单色光束激发后所产生的X射线荧光信号；处理器，用于接收所述X射线荧光信号，并根据所述X射线荧光信号，对所述待测样品进行元素分析。2.根据权利要求1所述的X射线荧光分析系统，其特征在于，所述单色光学器件由至少一个双曲晶体构成。3.根据权利要求1所述的X射线荧光分析系统，其特征在于，所述单色光束为所述X射线的特征谱线经单色化后的光束，且所述单色光束的能量与能量带宽之比大于100。4.根据权利要求3所述的X射线荧光分析系统，其特征在于，所述单色光束的能量为4.5keV、5.4keV、8.0keV、8.4keV、9.7keV、17.5keV、20keV和22keV中任一种。5.根据权利要求1所述的X射线荧光分析系统，其特征在于，所述单色光束为所述X射线的韧致辐射谱线经单色化后的光束，且所述单色光束的能量带...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈泽武，高志帆，宋硙，张红平，王晶晶，
申请(专利权)人：苏州佳谱科技有限公司，
类型：发明
国别省市：