一种探针架及具有其的测试平台制造技术

本发明专利技术提供了一种探针架及具有其的测试平台，属于芯片测试技术领域，其中，探针架包括主体和调节台，主体通过弹片连接有摆臂，摆臂上装设有探针；调节台设于主体上，调节台上设有适于向摆臂施加压力的调节件，调节件上套设有第一弹性件，第一弹性件具有驱动调节件朝向远离摆臂的方向移动的弹性力，调节件上装设有第二弹性件，调节件通过第二弹性件与摆臂接触。本发明专利技术提供的探针架，能够避免探针在抵接待测件时受到的动作晃动的因素影响，从而利于提升探针的抵接压力。提升探针的抵接压力。提升探针的抵接压力。

【技术实现步骤摘要】
一种探针架及具有其的测试平台


[0001]本专利技术涉及芯片测试
，具体涉及一种探针架及具有其的测试平台。

技术介绍

[0002]在光通信的芯片生产中不会将晶圆直接切割成单个芯片，而是会先切割成若干条状，我们称之为Bar条。Bar条中存在多个芯片，在生产中，需要对其中芯片的参数进行测试，现有的测试bar条中芯片的方式一般是利用测试平台进行，测试平台上的探针接触待测bar条后，通电模拟实际工作情况检测bar条内多个芯片的状态。
[0003]测试平台的探针通过弹性板安装在测试平台上，探针的测试端抵接在待测bar条上时，通过弹性板使探针的测试端与待测bar条之间保持一定的抵接压力。在实际工作中，探针与bar条之间的抵接压力需要进行调整，并且整个测试过程中探针的抵接压力精度要求较高。
[0004]然而，由于探针对bar条的抵接压力容易受到调节件本身动作晃动的因素影响，导致探针抵接压力不能处于可控的小区间范围内，影响测试效果。

技术实现思路

[0005]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的探针测试平台中，探针的抵接压力保持精度较低的缺陷，从而提供一种探针架及具有其的测试平台。
[0006]为了解决上述问题，本专利技术提供了一种探针架，包括：
[0007]主体，通过弹片连接有摆臂，所述摆臂上装设有探针；
[0008]调节台，设于所述主体上，所述调节台上设有适于向所述摆臂施加压力的调节件；
[0009]第一弹性件，套设于所述调节件上，所述第一弹性件具有驱动所述调节件朝向远离所述摆臂的方向移动的弹性力；
[0010]第二弹性件，装设于所述调节件上，所述调节件通过所述第二弹性件与所述摆臂接触。
[0011]进一步地，所述调节件与所述调节台螺纹连接。
[0012]进一步地，所述调节件的朝向所述摆臂的一端具有用于安装所述第二弹性件的中心孔，所述第二弹性件部分安装于所述中心孔内。
[0013]进一步地，所述第二弹性件的一端固定连接于所述调节件的朝向所述摆臂的一端。
[0014]进一步地，还包括：导电板，连接在所述主体上，所述导电板具有朝向所述摆臂的抵接面，所述摆臂上具有朝向所述抵接面的电极；
[0015]在自由状态下，通过所述调节件朝向所述摆臂施加压力，使所述摆臂的电极抵接在所述导电板的抵接面上。
[0016]进一步地，还包括：连接杆，连接在所述调节台和所述导电板之间。
[0017]进一步地，所述连接杆穿过所述摆臂。
[0018]进一步地，所述摆臂上装设有用于连接探针的夹具，所述探针可拆卸地安装在所述夹具上。
[0019]进一步地，所述夹具包括：滑动柱和滑动套设于所述滑动柱上的滑动件，所述滑动柱的自由端设有用于穿过探针的夹持孔；
[0020]所述滑动柱上套设有第三弹性件，所述第三弹性件具有驱动所述滑动件朝向所述滑动柱的自由端移动的弹性力。
[0021]此外，本专利技术还提供了一种测试平台，包括如上任一项所述的探针架。
[0022]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0023]1.本专利技术提供的探针架，在主体上通过弹片连接摆臂，并于主体上设有调节台，调节台上设有向摆臂施加压力的调节件，由于调节件上套设有第一弹性件，调节件在调节台上的状态受到第一弹性件的约束弹性力，从而避免调节件晃动影响对摆臂的施加压力；调节件上装设有第二弹性件，通过第二弹性件与摆臂接触，摆臂受到第二弹性件的弹性力作用，从而使摆臂的抵接压力保持在小的波动区间范围内，有利于保证探针的抵接精度。
[0024]2.本专利技术提供的探针架，将第二弹性件部分安装于中心孔内，第二弹性件的轴向方向受到中心孔约束，从而有利于保持第二弹性件的伸缩位于轴线上，避免第二弹性件偏移变形。
[0025]3.本专利技术提供的探针架，在摆臂上设置有连接探针的夹具，探针可拆卸的安装在夹具上，根据实际测试探针的尺寸不同，可以选用不同的弹性件调节弹性力，从而可以保证探针在夹持孔中被固定，并可避免因弹性力过小无法夹紧或弹性力过大损伤探针。
[0026]4.本专利技术提供的测试平台，由于具有如上所述的探针架，因此具有探针架所有的优点。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0028]图1为本专利技术的实施例中测试平台的立体图；
[0029]图2为图1所示的测试平台的正视图；
[0030]图3为图1所示的测试平台的部分结构爆炸图；
[0031]图4为本专利技术的实施例中调节件和第一弹性件、第二弹性件的装配示意图。
[0032]附图标记说明：
[0033]1、主体；2、调节台；3、第一弹性件；4、第二弹性件；5、摆臂；6、探针；7、调节件；8、导电板；9、连接杆；10、滑动柱；11、滑动件；12、第三弹性件；111、中心孔；112、弹片；113、阻挡部。
具体实施方式
[0034]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术
人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0035]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0036]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0037]此外，下面所描述的本专利技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0038]实施例1
[0039]本实施例提供了一种探针架，其可以应用于bar条检测设备上，或是芯片检测设备上。
[0040]如图1至图3所示，本实施例所述的探针架包括主体1和调节台2，主体1通过弹片112连接有摆臂5，摆臂5上装设有探针6，调节台2设于主体1上，调节台2上设有适于向摆臂5施加压力的调节件7，调节件7上套设有第一弹性件3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针架，其特征在于，包括：主体(1)，通过弹片(112)连接有摆臂(5)，所述摆臂(5)上装设有探针(6)；调节台(2)，设于所述主体(1)上，所述调节台(2)上设有适于向所述摆臂(5)施加压力的调节件(7)；第一弹性件(3)，套设于所述调节件(7)上，所述第一弹性件(3)具有驱动所述调节件(7)朝向远离所述摆臂(5)的方向移动的弹性力；第二弹性件(4)，装设于所述调节件(7)上，所述调节件(7)通过所述第二弹性件(4)与所述摆臂(5)接触。2.根据权利要求1所述的探针架，其特征在于，所述调节件(7)与所述调节台(2)螺纹连接。3.根据权利要求1所述的探针架，其特征在于，所述调节件(7)的朝向所述摆臂(5)的一端具有用于安装所述第二弹性件(4)的中心孔(111)，所述第二弹性件(4)部分安装于所述中心孔(111)内。4.根据权利要求1所述的探针架，其特征在于，所述第二弹性件(4)的一端固定连接于所述调节件(7)的朝向所述摆臂(5)的一端。5.根据权利要求1
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4中任一项所述的探针架，其特征在于，还包括：导电板(8)，连接在所述主体(1)上，所述导电板(8)具有朝向所述摆...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛超凡，郭岩，戎晓红，彭薪元，
申请(专利权)人：河北圣昊光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：