一种全自动双卡盘探针台载片测试系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，包括机架，所述机架上设置有用于载片测试的双卡盘探针台系统和用于载片上下料的自动上下料系统，所述双卡盘探针台系统包括固定设于机架上的底板，底板上固定安装有第一直线电机与直线导轨组件，所述第一直线电机与直线导轨组件通过连扳分别连接有第二直线电机和第三直线电机，所述第二直线电机与第三直线电机上分别设有用于承载载片的卡盘组件。本实用新型专利技术具有高自动化的特点，并且提高了测试效率。高了测试效率。高了测试效率。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动双卡盘探针台载片测试系统


[0001]本技术涉及半导体设备
，特别是涉及一种全自动双卡盘探针台载片测试系统。

技术介绍

[0002]载片是随微组装工艺发展出的新形态产品，通常由载体、裸芯片、匹配电路组成，具有小型化、高集成度、低成本等优点。载片测试点以Pad点形式裸露分布在载片表面上，受物料精度和装配工艺制约，电路烧结到载体上之后，Pad点不像其在晶圆时那样，位置精确一致且呈矩阵式排列，而且Z方向的高度差也超出了探针允许的溃缩量，无法使用传统自动探针台测试，传统的晶圆探针台无法满足使用要求。
[0003]现有技术中，主要采用以下两种方式进行测量，其一是通过手动探针台进行测试，需要操作人员逐个产品、逐个PAD进行对位后测试。这种方式的主要问题是对位和测试时间长，无法应用于大批量生产测试场景，另一个是先将载片键合到测试工装上，再连同测试工装进行测试，测试完成后将载片和工装连接的金丝拔除。这种方式的主要问题是增加了键合和拔除金丝两道工序，以及两道工序所需的设备、操作人员、测试工装等，成本高；同时，拔除金丝可能对产品的外观和质量造成影响。

技术实现思路

[0004]针对上述问题，本技术提供了一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，具有高自动化、高效率的特点。
[0005]本技术的技术方案是：
[0006]一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，包括机架，所述机架上设置有用于载片测试的双卡盘探针台系统和用于载片上下料的自动上下料系统，所述双卡盘探针台系统包括固定设于机架上的底板，底板上固定安装有第一直线电机与直线导轨组件，所述第一直线电机与直线导轨组件通过连扳分别连接有第二直线电机和第三直线电机，所述第二直线电机与第三直线电机上分别设有用于承载载片的卡盘组件；所述底板两侧还设有支撑架，支撑架上设有槽架和针座板，所述针座板位于卡盘组件的上方，所述针座板的中部开孔，孔的四周分布有若干电动针座，孔上方设有视觉识别组件，视觉识别组件安装于所述槽架上；所述卡盘组件包括卡盘和分布于卡盘四周的气管接头，所述卡盘上设置有若干气孔，所述气孔通过真空吸附方式吸附载片于卡盘上。
[0007]上述技术方案的工作原理如下：
[0008]使第二直线电机和第三直线电机分别搭载一组卡盘组件，工作时双卡盘工作方式，自动上下料系统在将待测件料仓内的料盘推出时，由识别取料组件首先识别料盘内的载片，对载片位置进行识别定位，然后由识别取料组件上的吸嘴吸附料盘内的载片，与此同时，通过第二直线电机和第三直线电机的工作，使卡盘组件移动至指定位置，识别取料组件吸附载片依次放置在两个卡盘组件的若干气孔上，当其中一个卡盘组件载片放置完成后，
其移动至指定位置经视觉识别组件识别定位，引导若干电动针座至指定位置，电动针座对位于卡盘上的载片进行测试，需要说明的是，视觉识别组件和识别取料组件为具有视觉识别引导功能的视觉组件，以分别帮助引导电动针座和吸嘴移动至其引导的指定位置，同时，另一卡盘组件处于待命状态，当前一卡盘组件上的载片测试完成，处于待命状态的卡盘组件立即进入测试位置，同时已测试完成的载片被识别取料组件移动至指定位置，再由识别取料组件根据测试结果分别吸附放置在合格品料仓和不合格品料仓，并再次上料，如此往复。同时，通过设置有支撑架，可起到对于装置整体的良好支撑作用，保证其使用稳定性。
[0009]在进一步的技术方案中，所述自动上下料系统包括识别取料组件，识别取料组件包括视觉识别组件和吸嘴，所述识别取料组件固定安装在可移动的运动组件上，所述运动组件包括直线模组与直线导轨，所述运动组件固定在撑板上，所述撑板固定安装在机架上，所述撑板的下部固定有上下料组件，撑板上开有供上下料组件通过的孔。
[0010]通过设置自动上下料系统，可起到自动上下料的功能，使第二直线电机和第三直线电机分别搭载一组卡盘组件，工作时双卡盘工作方式，自动上下料系统在将待测件料仓内的料盘推出时，由识别取料组件首先识别料盘内的载片，对载片位置进行识别定位，然后由识别取料组件上的吸嘴吸附料盘内的载片，可稳定提高工作效率。
[0011]本系统装置采用双卡盘方式，自动上下料系统在将待测件料仓内的料盘推出，识别取料组件识别吸附料盘内的载片后，依次放置在两个卡盘组件的气孔上，当其中一个卡盘组件移动至指定位置并被若干电动针座测试时，另一卡盘组件处于待命状态，前一卡盘上的载片测试完成，处于待命状态的卡盘组件立即进入测试位置，同时已测试完成的载片被识别取料组件移动至指定位置，再由识别取料组件吸附放置在合格品料仓和不合格品料仓，并再次上料，如此往复，相比现有技术，本技术高自动化、并提高了测试效率。
[0012]在进一步的技术方案中，所述上下料组件包括并排分布的待测件料仓、合格品料仓与不合格品料仓，所述待测件料仓、合格品料仓与不合格品料仓内分别设置有可装载载片的料盘，所述待测件料仓、合格品料仓与不合格品料仓固定安装在可上下移动的料仓运动组件上，所述待测件料仓、合格品料仓与不合格品料仓的前后两侧分别设置有推杆机构和夹取机构，所述推杆机构包括第一气缸和推杆组件，所述夹取机构固定在可上下移动的夹取运动组件上，所述夹取机构包括第二气缸与夹爪。
[0013]通过设置上下料组件，可在待测件料仓、合格品料仓与不合格品料仓内存放不同的产品，分别包括待测件、合格件与不合格件，可实现品类件的分批分类储存，不易混淆，区分性强，通过设置推杆机构，可实现送料的自动推送，同时设置的夹取机构，可用于料品的稳定夹取。
[0014]本技术的有益效果是：
[0015]1、具有高自动化、高效率的特点；
[0016]2、采用双卡盘方式，自动上下料系统在将待测件料仓内的料盘推出，识别取料组件识别吸附料盘内的载片后，依次放置在两个卡盘组件的气孔上，当其中一个卡盘组件移动至指定位置并被若干电动针座测试时，另一卡盘组件处于待命状态，前一卡盘上的载片测试完成，处于待命状态的卡盘组件立即进入测试位置，同时已测试完成的载片被识别取料组件移动至指定位置，再由识别取料组件吸附放置在合格品料仓和不合格品料仓，并再次上料，如此往复；
[0017]3、实现了高自动化、提高了测试效率。
附图说明
[0018]图1是本技术的整体俯视图；
[0019]图2是本技术的立体结构示意图；
[0020]图3是本技术的主视图；
[0021]图4是本技术中自动上下料系统的立体结构示意图；
[0022]图5是本技术中上下料组件的结构示意图；
[0023]图6是本技术中料盘的结构示意图；
[0024]图7是本技术的工作流程示意图。
[0025]附图标记说明：
[0026]1、机架；2、底板；3、第一直线电机；4、直线导轨组件；5、第二直线电机；6、第三直线电机；7、卡盘组件；8、支撑架；9、视觉识别组件；10、槽架；11、电动针座；12、针座板；13、识别取料组件；14、运动组件；15本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)上设置有用于载片测试的双卡盘探针台系统和用于载片上下料的自动上下料系统，所述双卡盘探针台系统包括固定设于机架(1)上的底板(2)，底板(2)上固定安装有第一直线电机(3)与直线导轨组件(4)，所述第一直线电机(3)与直线导轨组件(4)通过连扳分别连接有第二直线电机(5)和第三直线电机(6)，所述第二直线电机(5)与第三直线电机(6)上分别设有用于承载载片的卡盘组件(7)；所述底板(2)两侧还设有支撑架(8)，支撑架(8)上设有槽架(10)和针座板(12)，所述针座板(12)位于卡盘组件(7)的上方，所述针座板(12)的中部开孔，孔的四周分布有若干电动针座(11)，孔上方设有视觉识别组件(9)，视觉识别组件(9)安装于所述槽架(10)上；所述卡盘组件(7)包括卡盘(26)和分布于卡盘(26)四周的气管接头(27)，所述卡盘(26)上设置有若干气孔(28)，所述气孔(28)通过真空吸附方式吸附载片于卡盘(26)上。2.根据权利要求1所述的一种全自动双卡盘探针台载片测试系统，其特征在于，所述自动上下料系...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗伟，廖凤斌，雷旭，窦国珍，
申请(专利权)人：成都云绎智创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：