一种真空吸附式晶圆测试探针座制造技术

本实用新型专利技术涉及测试探针技术领域，且公开了一种真空吸附式晶圆测试探针座，包括安装座，所述安装座的左侧开设有空腔，所述安装座的左侧固定有吸盘，所述安装座的底部固定有排气管，所述排气管的顶端与空腔相连通，所述排气管的中部安装有单向阀，所述安装座的顶部固定有进气管，所述进气管的底端与空腔相连通，所述进气管的外侧固定有挡环。该真空吸附式晶圆测试探针座，通过设置安装座、空腔、吸盘、排气管、单向阀、进气管、挡环、通气口、螺纹部、密封盖、第一密封环、第二密封环、固定块、安装槽、第一防护垫、测试探针本体、压板、第二防护垫、螺纹柱、转柄、插杆和套杆，以便于对测试探针本体进行拆卸更换。体进行拆卸更换。体进行拆卸更换。

【技术实现步骤摘要】
一种真空吸附式晶圆测试探针座


[0001]本技术涉及测试探针
，具体为一种真空吸附式晶圆测试探针座。

技术介绍

[0002]测试探针的种类主要有晶圆探针、PCB探针、ICT功能测试探针(如汽车线束测试探针、电池针、电流电压针、开关针、电容极性针、高频针)和BGA 测试探针等，根据产地不同又分为美国QA探针、美国ECT探针、美国IDI探针、德国INGUN探针、德国PTR探针、韩国LEENON探针等。其中，晶圆探针应用较为广泛。
[0003]目前市场上的一些测试探针：
[0004]在使用时，测试探针通常是固定在测试装置上的，不便于对测试探针进行拆卸更换。
[0005]所以我们提出了一种真空吸附式晶圆测试探针座，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0006](一)解决的技术问题
[0007]针对上述
技术介绍
中现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种真空吸附式晶圆测试探针座，以解决上述
技术介绍
中提出的目前市场上的一些真空吸附式晶圆测试探针座，存在使用时，测试探针通常是固定在测试装置上的，不便于对测试探针进行拆卸更换的问题。
[0008](二)技术方案
[0009]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0010]一种真空吸附式晶圆测试探针座，包括安装座，所述安装座的左侧开设有空腔，所述安装座的左侧固定有吸盘，所述安装座的底部固定有排气管，所述排气管的顶端与空腔相连通，所述排气管的中部安装有单向阀，所述安装座的顶部固定有进气管，所述进气管的底端与空腔相连通，所述进气管的外侧固定有挡环，所述进气管的外侧上端开设有通气口，所述进气管的外侧上端设置有螺纹部，所述螺纹部的外侧螺纹连接有密封盖，所述密封盖的底部粘接有第二密封环，所述挡环的顶部粘接有第一密封环，所述第一密封环的顶部与第二密封环的底部相接触，所述安装座的右端固定有固定块，所述固定块的右侧开设有安装槽，所述安装槽的内底壁粘接有第一防护垫，所述安装槽的内侧插接有测试探针本体，所述固定块的顶部右端螺纹连接有螺纹柱，所述螺纹柱的底端活动连接有压板，所述压板的底部粘接有第二防护垫，所述压板的顶部左端固定有插杆，所述插杆的顶部套接有套杆，所述套杆的顶部与安装槽的内顶壁固定。
[0011]优选的，所述通气口的数量设置为四个，四个所述通气口呈环形排列分布在进气管的外侧，可以通过进气管外侧的四个通气口，以达到在不完全将密封盖拧下的情况下使进气管进气的目的，以避免密封盖出现丢失的现象。
[0012]优选的，所述第一密封环的顶部设置有第一环形凸起和第一环形槽，所述第二密封环的底部设置有第二环形槽和第二环形凸起，所述第一环形凸起与第二环形槽的内侧插接，所述第二环形凸起与第一环形槽的内侧插接，可以通过第一环形凸起与第二环形槽插接、第二环形凸起与第一环形槽插接，以增强第一密封环和第二密封环之间的密封性能。
[0013]优选的，所述第一防护垫的顶部与测试探针本体的底部相接触，所述第二防护垫的底部与测试探针本体的顶部相接触，可以通过第一防护垫和第二防护垫，以达到对测试探针本体进行保护的目的，以避免在安装测试探针本体的过程中造成测试探针本体的损坏。
[0014]进一步的，所述螺纹柱的顶端固定有转柄，所述转柄的外侧设置有防滑螺纹，可以通过转柄外侧的防滑螺纹，以达到对转柄进行防滑的目的。
[0015]进一步的，所述第一密封环的内径值等于第二密封环的内径值，所述第一密封环的内径值大于进气管的外径值。
[0016](三)有益效果
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该真空吸附式晶圆测试探针座：
[0018]在使用时，通过设置安装座、空腔、吸盘、排气管、单向阀、进气管、挡环、通气口、螺纹部、密封盖、第一密封环、第二密封环、固定块、安装槽、第一防护垫、测试探针本体、压板、第二防护垫、螺纹柱、转柄、插杆和套杆，以便于对测试探针本体进行拆卸更换。
附图说明
[0019]图1为本技术真空吸附式晶圆测试探针座的主视剖面结构示意图；
[0020]图2为本技术真空吸附式晶圆测试探针座的进气管的主视剖面结构示意图；
[0021]图3为本技术真空吸附式晶圆测试探针座的进气管的立体结构示意图；
[0022]图4为本技术真空吸附式晶圆测试探针座的图1中A处的放大结构示意图。
[0023]图中：1、安装座；2、空腔；3、吸盘；4、排气管；5、单向阀；6、进气管；7、挡环；8、通气口；9、螺纹部；10、密封盖；11、第一密封环；12、第二密封环；13、第一环形凸起；14、第一环形槽；15、第二环形槽；16、第二环形凸起；17、固定块；18、安装槽；19、第一防护垫；20、测试探针本体；21、压板；22、第二防护垫；23、螺纹柱；24、转柄；25、插杆；26、套杆。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
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4所示，本技术提供一种真空吸附式晶圆测试探针座；包括安装座1，安装座1的左侧开设有空腔2，安装座1的左侧固定有吸盘3，安装座1的底部固定有排气管4，排气管4的顶端与空腔2相连通，排气管4 的中部安装有单向阀5，安装座1的顶部固定有进气管6，进气管6的底端与空腔2相连通，进气管6的外侧固定有挡环7，进气管6的外侧上端开设有通气口8，进气管6的外侧上端设置有螺纹部9，螺纹部9的外侧螺纹连接有密封盖10，密封盖10的底部粘接有第二密封环12，挡环7的顶部粘接有第一密封环11，第一密封环11的
顶部与第二密封环12的底部相接触，安装座1 的右端固定有固定块17，固定块17的右侧开设有安装槽18，安装槽18的内底壁粘接有第一防护垫19，安装槽18的内侧插接有测试探针本体20，固定块17的顶部右端螺纹连接有螺纹柱23，螺纹柱23的底端活动连接有压板21，压板21的底部粘接有第二防护垫22，压板21的顶部左端固定有插杆25，插杆25的顶部套接有套杆26，套杆26的顶部与安装槽18的内顶壁固定；
[0026]作为本技术的一种优选技术方案：通气口8的数量设置为四个，四个通气口8呈环形排列分布在进气管6的外侧，可以通过进气管6外侧的四个通气口8，以达到在不完全将密封盖10拧下的情况下使进气管6进气的目的，以避免密封盖10出现丢失的现象；
[0027]作为本技术的一种优选技术方案：第一密封环11的顶部设置有第一环形凸起13和第一环形槽14，第二密封环12的底部设置有第二环形槽15和第二环形凸起16，第一环形凸起13与第二环形槽15的内侧插接，第二环形凸起16与第一环形槽14的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空吸附式晶圆测试探针座，包括安装座(1)，其特征在于，所述安装座(1)的左侧开设有空腔(2)，所述安装座(1)的左侧固定有吸盘(3)，所述安装座(1)的底部固定有排气管(4)，所述排气管(4)的顶端与空腔(2)相连通，所述排气管(4)的中部安装有单向阀(5)，所述安装座(1)的顶部固定有进气管(6)，所述进气管(6)的底端与空腔(2)相连通，所述进气管(6)的外侧固定有挡环(7)，所述进气管(6)的外侧上端开设有通气口(8)，所述进气管(6)的外侧上端设置有螺纹部(9)，所述螺纹部(9)的外侧螺纹连接有密封盖(10)，所述密封盖(10)的底部粘接有第二密封环(12)，所述挡环(7)的顶部粘接有第一密封环(11)，所述第一密封环(11)的顶部与第二密封环(12)的底部相接触，所述安装座(1)的右端固定有固定块(17)，所述固定块(17)的右侧开设有安装槽(18)，所述安装槽(18)的内底壁粘接有第一防护垫(19)，所述安装槽(18)的内侧插接有测试探针本体(20)，所述固定块(17)的顶部右端螺纹连接有螺纹柱(23)，所述螺纹柱(23)的底端活动连接有压板(21)，所述压板(21)的底部粘接有第二防护垫(22)，所述压板(21)的顶部左端固定有插杆(25)，所述插杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮永红，
申请(专利权)人：贵州中芯微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：