前体胶囊、容器和方法技术

本公开涉及保持用于气相沉积过程的前体的前体胶囊。前体胶囊包括蒸汽可渗透的外壳，外壳配置成限定前体空间，并允许蒸汽形式的前体在蒸发条件下离开前体胶囊。本公开还涉及包含根据本公开的胶囊的前体容器、气相沉积设备和方法。和方法。和方法。

【技术实现步骤摘要】
前体胶囊、容器和方法


[0001]本公开总体涉及包括半导体处理设备的系统和方法，并且具体涉及用于化学蒸汽输送的蒸发系统。

技术介绍

[0002]用于气相沉积过程的典型前体或源反应物输送系统包括固体或液体源容器。该容器可以包括待蒸发的化学反应物。载气将反应物蒸汽连同其一起扫过容器出口，并最终到达反应室中的衬底，或者前体在低压下蒸发。蒸发效率部分取决于暴露于载气的前体表面积。因此，现有技术中存在旨在更有效地在前体容器中分配前体组合物或以其他方式增加蒸发面积的解决方案。此外，过程控制可能具有挑战性，尤其是对于固体前体。在许多情况下，实现足够高的前体蒸发需要将前体加热到环境温度以上。将固体前体组合物在高温下保持较长的时间可能导致前体组合物聚集，导致可用于蒸发的前体表面积减少。这可能导致前体组合物的剂量行为的改变，并因此导致沉积材料的性质的改变。
[0003]前体耗尽后，再填充前体容器。除了严格的清洁要求之外，前体组合物的处置还必须与前体组合物的水分敏感性、毒性或其他可能具有挑战性的特征相容。他们可能需要在严格控制的环境中工作。因此，前体容器的填本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种保持用于气相沉积过程的前体的前体胶囊，其中，前体胶囊包括：配置成限定前体空间的外壳，并且其中，外壳是蒸汽可渗透的，以允许蒸汽形式的前体在蒸发条件下离开前体胶囊。2.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳配置为将未蒸发的前体基本保持在所述前体空间中。3.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳包括用于蒸发的前体离开所述前体胶囊的开口。4.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述前体胶囊配置为可装载在前体容器中以执行气相沉积过程。5.根据权利要求3所述的前体胶囊，其中，所述开口的最大横截面为50μm至50mm。6.根据权利要求3所述的前体胶囊，其中，所述外壳的至少50％的表面积是蒸汽可渗透的。7.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳包括金属。8.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳包括涂层。9.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述前体空间的体积为约1cm3至约20cm3。10.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳包括朝向所述前体空间的内部延伸的突起。11.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳具有基本球形的形状。12.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳具有宽度和长度，并且所述外壳的宽度与长度之比为约1:1至约1:20。13.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳具有基本球圆柱形的形状。14.根据权利要求1所述的前体胶囊，其中，所述外壳具有基本圆柱形的形状。15.根据权利要求1所述的前体胶囊，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱驰宇，J安蒂拉，
申请(专利权)人：ASMIP私人控股有限公司，
类型：发明
国别省市：