一种横向连续递进式气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种横向连续递进式气相沉积炉，涉及复合材料制造设备领域。本实用新型专利技术包括横向设置的炉体、安装于炉体外前后两端侧部位置的推拉式夹持机构、由至少一个推拉式夹持机构进行夹持使保持横向布置的承载轴、套设于承载轴中部位置的感应线圈、推进机构、取下冷却机构；第一推拉机构和第二推拉机构的顶举头端部均设有与承载轴外弧面相贴合挤压夹持的第一夹持板。本实用新型专利技术能够使预制体连续性的完成准备、沉积和冷却动作后，由末端的取下冷却机构进行取出，完成由预制体至复合材料的制备过程，具有整体过程连续、递进、采用一个炉体即可完成，速度快，效率高的优点。效率高的优点。效率高的优点。

A horizontal continuous progressive vapor deposition furnace

【技术实现步骤摘要】
一种横向连续递进式气相沉积炉


[0001]本技术属于复合材料制造设备领域，特别是涉及一种横向连续递进式气相沉积炉以及一种横向连续递进式气相沉积炉的工作方法。

技术介绍

[0002]复合材料是碳纤维增强碳基体的一种高性能复合材料，具有强度高、耐腐蚀、可设计性强等特点，在航天、航空、交通等诸多领域已得到广泛应用，并随着社会的发展和科技的进步，对复合材料产品的质量有了更高的要求。
[0003]化学气相沉积是一种被广泛应用于生产复合材料的工艺方法。现有的气相沉积炉或沉积系统，大多是从沉积炉的底部通过多路进气管路向沉积炉内通入碳源气体，碳源气体以一定的流量、流速直接通入到炉体内的沉积室的底部，并发生热解后形成基体碳沉积于坯体产品的内部或表面。由于现有的沉积炉的这种进气结构，碳源气体从进气管路直接进入沉积室底部的料盘，并以1～3m/s的速度快速进入沉积炉中部的高温区，造成沉积炉最底端的产品温度过低，达不到沉积温度，而且碳源气体迅速通过底部的产品，还未来得及在底部产品上沉积就跑到了中部产品，从而导致沉积炉内底端产品的沉积效果不佳，使得沉积炉内不同位置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，包括：横向设置的炉体(1)、安装于炉体(1)外前后两端侧部位置的推拉式夹持机构、由至少一个推拉式夹持机构进行夹持使保持横向布置的承载轴(2)、套设于承载轴(2)中部位置的感应线圈(3)、位于炉体(1)外前端或后端用于对环装的预制体(A)从承载轴(2)上进行推进的推进机构(6)；所述炉体(1)内位于炉体的推进方向由前至后依次形成准备区、沉积区、冷却区，所述炉体(1)的前后两端分别设有对开式的第一封闭门(101)和第二封闭门(102)。2.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述感应线圈(3)采用由感应加热电源(301)驱动的中/高频型感应加热线圈，所述感应线圈(3)设置于炉体(1)内的炉壁内侧并与炉壁内表面形成间距，且感应线圈(3)内部依次设置有炉壁保温层(106)以及马弗层(105)，并且炉壁保温层(106)与马弗层(105)之间设置有间距。3.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述承载轴(2)为内中空且一端为密封的绝缘管状结构，所述承载轴(2)的另一端设置有带电磁阀(204)的通气管(203)，所述通气管(203)的一端侧部设置有通气口(205)，所述承载轴(2)上与感应线圈(3)相对应的位置环绕均布开设有出气孔(201)；所述承载轴(2)外表面横向设置有若干凸条(202)，所述凸条(202)对预制体(A)内侧壁与进行支撑；所述第二封闭门(102)的上下两部分分别开设有与通气管(203)相对应形成贴合密闭通孔的半圆开口(1021)。4.据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述炉体(1)外部设置有与通气口(205)相匹配的伸缩式接气结构；所述伸缩式接气结构包括伸缩机构(8)以及位于伸缩机构(8)顶举头一端与通气口(205)相配合的带有密封圈的连接帽(801)，所述连接帽(801)上设置有第一通气连接管(802)。5.根据权利要求1所述的一种横向连续递进式气相沉积炉，其特征在于，所述推拉式夹持机构包括位于炉体(1)外...

【专利技术属性】
技术研发人员：申富胜，申富强，申钰静，
申请(专利权)人：上海骐碳复合材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：