成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种成膜装置，其能够不降低功能膜的性能而在基材上形成功能膜。具体而言，该成膜装置具备：成膜室(7)，其在以卷对卷方式输送的基材(2)的膜形成面侧形成薄膜；引导部件(8)，其通过与基材(2)的膜形成面侧或其相反侧接触而引导基材(2)的输送方向，从而形成基材(2)的输送路径；保护部件贴合部(9a)，其位于基材(2)的输送路径中的成膜室(7)的下游侧且设置于最先与基材(2)的膜形成面侧接触的引导部件(8)与成膜室(7)之间，将具有挠性的保护部件(B)贴合在基材(2)的膜形成面侧。件(B)贴合在基材(2)的膜形成面侧。件(B)贴合在基材(2)的膜形成面侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】成膜装置


[0001]本专利技术涉及一种成膜装置，其用于利用真空成膜法在带状的基材上形成具有规定功能的功能膜。

技术介绍

[0002]近年来，通过在塑料膜等产品的表面上涂布作为薄膜的功能膜而提高产品的功能的方法被应用于多领域中。在塑料膜上形成以抗氧化、防止水分渗入等为目的的阻隔膜而成的阻挡膜是其中一例，也可以将其他透明导电膜、防反射膜等在基材上成膜。
[0003]这样的成膜基材例如利用下述专利文献1所示的成膜装置来形成。专利文献1记载的成膜装置的示意图示于图9。该成膜装置100中，利用作为真空成膜法之一的等离子体CVD法在基材101上形成作为功能膜之一的阻隔膜。具体地说，供给至成膜室102内的阻隔膜的原料气体被等离子体所分解，该分解后的原料气体沉积在基材101上，由此在基材101上形成作为阻隔膜的薄膜。
[0004]另外，图9的成膜装置100中，从卷出辊105卷出并被卷取辊106卷取的长条带状基材101沿着由主辊103和引导辊104形成的输送路径进行输送。特别是，在沿着主辊103输送基材101时，利用与主辊103相向设置的成膜室本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种成膜装置，其特征在于，其具备：成膜室，在以卷对卷方式输送的基材的膜形成面侧形成薄膜；引导部件，通过与基材的膜形成面侧或其相反侧接触而引导基材的输送方向，从而形成基材的输送路径；保护部件贴合部，位于基材的输送路径中的所述成膜室的下游侧且设置于最先与基材的膜形成面侧接触的所述引导部件与所述成膜室之间，将具有挠性的保护部件贴合在基材的膜形成面侧。2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述保护部件的与基材对置的一侧的面中，在基材的宽度方向上与基材的两端部对置的部分的粘合力比两端部之间的部分的粘合力高。3.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：恩地卓也，小森常范，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：