化学气相沉积设备腔体维护用开合机构制造技术

本实用新型专利技术是化学气相沉积设备腔体维护用开合机构，其结构包括顶部带有腔体盖的腔体本体，腔体盖后侧边缘通过转动支架转动连接腔体本体，转动支架包括腔体盖后侧边缘的转动条和与转动条转动连接的腔体本体对应位置两侧的连接条；腔体本体两侧分别设有电机，电机连接丝杆螺母副，丝杆螺母副通过升降支架组件连接腔体盖两侧面，腔体本体一侧面还设有遥控器，遥控器与电机信号连接。本实用新型专利技术的优点：结构设计合理，改善了开关腔体的方式，实现了轻松开关腔体上方结构，且有效降低腔体开关的危险性，降低安全隐患，保护工作人员和腔体安全。全。全。

【技术实现步骤摘要】
化学气相沉积设备腔体维护用开合机构


[0001]本技术涉及的是化学气相沉积设备腔体维护用开合机构。

技术介绍

[0002]化学气相沉积设备使用时，经常需要将腔体打开，对腔体内进行维护。
[0003]现有技术中，在开合腔体的时候，通过气缸来辅助开关(如图1
‑
3所示，通过推举扶手13
’
来开关腔体)，但是腔体上部分重量大约100KG，仅靠气缸辅助，需要2名工作人员合作向上推动。操作危险性很高，在开关的过程中容易造成腔体上部分落下，对工作人员和腔体都会造成伤害，具有很大安全隐患。

技术实现思路

[0004]本技术提出的是化学气相沉积设备腔体维护用开合机构，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，通过重新设计的腔体开合机构降低安全隐患。
[0005]本技术的技术解决方案：化学气相沉积设备腔体维护用开合机构，其结构包括顶部带有腔体盖的腔体本体，腔体盖上装有远程射频电源、射频隔离圈、气柜和远程射频电源承载台，腔体盖后侧边缘通过转动支架转动连接腔体本体，转动支架包括腔体盖后侧边缘的转动条和与转动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.化学气相沉积设备腔体维护用开合机构，其结构包括顶部带有腔体盖(27)的腔体本体(28)，腔体盖(27)上装有远程射频电源(10)、射频隔离圈(11)、气柜(12)和远程射频电源承载台(26)，腔体盖(27)后侧边缘通过转动支架转动连接腔体本体(28)，转动支架包括腔体盖(27)后侧边缘的转动条(24)和与转动条(24)转动连接的腔体本体(28)对应位置两侧的连接条(25)；其特征在于，所述的腔体本体(28)两侧分别设有电机(1)，电机(1)连接丝杆螺母副，丝杆螺母副通过升降支架组件连接腔体盖(27)两侧面，腔体本体(28)一侧面还设有遥控器(29)，遥控器(29)与电机(1)信号连接。2.如权利要求1所述的化学气相沉积设备腔体维护用开合机构，其特征在于，所述的腔体本体(28)两侧分别设固定块(19)，固定块(19)底面连接底座(18)，底座(18)表面中上部设滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔凡涛，贾云霄，孙海兵，
申请(专利权)人：无锡吉易特半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：