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本实用新型是化学气相沉积设备腔体维护用开合机构，其结构包括顶部带有腔体盖的腔体本体，腔体盖后侧边缘通过转动支架转动连接腔体本体，转动支架包括腔体盖后侧边缘的转动条和与转动条转动连接的腔体本体对应位置两侧的连接条；腔体本体两侧分别设有电机，电...
该专利属于无锡吉易特半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡吉易特半导体科技有限公司授权不得商用。

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